-
公开(公告)号：EP1966597A1
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：EP06845170.7
申请日：2006-12-08
Applicant: Honeywell International Inc.
Inventor： KY, Hughes, Michael , TIXIER, Sebastien
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/021 , G01N21/86 , G01N21/8901 , G01N33/34 , G01N2021/3595 , G01N2021/8917 , G01N2201/104
Abstract: An optical scanner for use in conjunction with an infrared spectrometer is disclosed. The optical scanner translates a beam of radiation to a stationary spot on a traveling sheet of material so that ample integration time within the spectrometer is achieved. The beam path impinges on the traveling web and the radiation is reflected off the traveling web back through the optical scanner and recombined at an interferometer. The beam of radiation is kept stationary with respect to both the traveling sheet and the carriage which houses the spectrometer.
-
公开(公告)号：KR1020150036214A
公开(公告)日：2015-04-07
申请号：KR1020157002125
申请日：2013-06-25
Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션
IPC: G01N21/956 , G01N21/95 , G01N21/55 , G01B9/02 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/55 , G01B11/00 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/06113 , G01N2201/104 , G01B9/02 , H01L22/12
Abstract: 간섭성광원과; 수집동공에서광 분포의실현을산출하기위해상기광원으로부터의간섭성광의스폿을이용하여타겟패턴을스캐닝- 상기스폿은타겟패턴의일부를커버하고상기스캐닝은스캐닝패턴에따라광학적으로또는기계적으로수행되는것임 -하도록구성된광학시스템과; 동공이미지를결합함으로써수집동공분포의복합이미지를발생하도록구성된처리유닛을포함한각도분해형반사율계및 반사율측정방법이제공된다. 개구사이즈에대한측정파라미터의함수종속성을양적으로산정하고측정조건과관련한측정파라미터의보정항을상기개구사이즈에관한함수종속성의식별된회절성분으로부터도출함으로써회절오차를감소시키는계측시스템및 방법이제공된다.
-
公开(公告)号：KR100668323B1
公开(公告)日：2007-01-12
申请号：KR1020050005023
申请日：2005-01-19
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N21/25
CPC classification number: B01L3/502715 , B01L3/5025 , B01L2300/0636 , B01L2300/0654 , B01L2300/0803 , B01L2300/0864 , B01L2300/168 , B01L2400/0409 , G01N21/07 , G01N21/553 , G01N2201/0637 , G01N2201/101 , G01N2201/104 , G02B5/04 , G02B7/1805 , G02B26/0833
Abstract: 본 발명은 회전하는 프리즘 디스크와 마이크로 스캐닝 미러를 채용함으로써 다채널 측정이 가능한 소형의 휴대용 바이오칩 스캐너를 개시한다. 본 발명에 따른 휴대용 바이오칩 스캐너는, 회전 가능한 디스크 형상의 표면 플라즈몬 공명 유닛; 및 소정의 각도 범위 내에서 상기 표면 플라즈몬 공명 유닛에 광이 입사하도록 광을 주사하고, 상기 표면 플라즈몬 공명 유닛으로부터 전반사된 광을 검출하는 광헤드;를 포함하며, 상기 광헤드는 상기 디스크 형상의 표면 플라즈몬 공명 유닛의 반경 방향을 따라 이동이 가능한 것을 특징으로 한다.
-
公开(公告)号：KR1020060084499A
公开(公告)日：2006-07-24
申请号：KR1020050005023
申请日：2005-01-19
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N21/25
CPC classification number: B01L3/502715 , B01L3/5025 , B01L2300/0636 , B01L2300/0654 , B01L2300/0803 , B01L2300/0864 , B01L2300/168 , B01L2400/0409 , G01N21/07 , G01N21/553 , G01N2201/0637 , G01N2201/101 , G01N2201/104 , G02B5/04 , G02B7/1805 , G02B26/0833
Abstract: A portable biochip scanner that enables multi-channel measurement includes a surface plasmon resonance unit (44) formed in a rotational disk-shape and an optical head (50) projecting light to the surface plasmon resonance unit (44) at an angle within a predetermined range and detecting light totally-reflected from the surface plasmon resonance unit (44). The optical head (50) is movable in a radial direction of the surface plasmon resonance unit (44). Preferably, the surface plasmon resonance unit (44) comprises a prism disk (42) formed in a ring-shape, and a micro-fluidic disk (43) coupled to a bottom of the prism disk (42). The micro-fluidic disk (42) being provided at a top surface with a plurality of micro-fluidic channels. Preferably, the optical head includes a micro-scanning mirror (52) projecting light from a light source (51) via a reflecting mirror (53) to the surface plasmon resonance unit (44).
-
115.发明专利影像檢查系統及使用其之被檢查體的檢查方法 VISION INSPECTION SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING WORKPIECE USING THE SAME 审中-公开影像检查系统及使用其之被检查体的检查方法 VISION INSPECTION SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING WORKPIECE USING THE SAME
公开(公告)号：TW200839221A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：TW096126180
申请日：2007-07-18
Applicant: SNU精密科技股份有限公司 SNU PRECISION CO., LTD.
Inventor： 安祐正 AHN, WOO-JUNG , 金正煥 KIM, JUNG-HWAN , 柳希昱 YOU, HEE-WOOK
IPC: G01N
CPC classification number: G01N21/88 , G01N21/8901 , G01N21/8903 , G01N2201/104
Abstract: 本發明係提供一種可檢查多種被檢查體之影像檢查系統,以及利用該系統之被檢查體檢查方法者。本系統包含有定盤、第1移動機構、相機、第2移動機構及電腦。第1移動機構配設於定盤上面,具有用以載置被檢查體之載台,可使載台於定盤之第1位置與第2位置間進行直線運動。相機配設於定盤上方,可拍攝被檢查體之圖像以擷取圖像資料。第2移動機構配設於定盤上面,可使相機在第1位置與第2位置間進行直線運動。電腦可控制第1移動機構之作動,以將載台自第1位置移動至第2位置,同時可控制第2移動機構之作動,以將相機自第2位置移動至第1位置。
Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种可检查多种被检查体之影像检查系统,以及利用该系统之被检查体检查方法者。本系统包含有定盘、第1移动机构、相机、第2移动机构及电脑。第1移动机构配设于定盘上面,具有用以载置被检查体之载台,可使载台于定盘之第1位置与第2位置间进行直线运动。相机配设于定盘上方,可拍摄被检查体之图像以截取图像数据。第2移动机构配设于定盘上面,可使相机在第1位置与第2位置间进行直线运动。电脑可控制第1移动机构之作动,以将载台自第1位置移动至第2位置,同时可控制第2移动机构之作动,以将相机自第2位置移动至第1位置。
-
Patent Agency Ranking116.发明专利影像檢查系統及使用其之被檢查體的檢查方法 VISION INSPECTION SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING WORKPIECE USING THE SAME 有权影像检查系统及使用其之被检查体的检查方法 VISION INSPECTION SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING WORKPIECE USING THE SAME
公开(公告)号：TWI340242B
公开(公告)日：2011-04-11
申请号：TW096126180
申请日：2007-07-18
Applicant: SNU精密科技股份有限公司
IPC: G01N
CPC classification number: G01N21/88 , G01N21/8901 , G01N21/8903 , G01N2201/104
Abstract: 本發明係提供一種可檢查多種被檢查體之影像檢查系統，以及利用該系統之被檢查體檢查方法者。
本系統包含有定盤、第1移動機構、相機、第2移動機構及電腦。第1移動機構配設於定盤上面，具有用以載置被檢查體之載台，可使載台於定盤之第1位置與第2位置間進行直線運動。相機配設於定盤上方，可拍攝被檢查體之圖像以擷取圖像資料。第2移動機構配設於定盤上面，可使相機在第1位置與第2位置間進行直線運動。電腦可控制第1移動機構之作動，以將載台自第1位置移動至第2位置，同時可控制第2移動機構之作動，以將相機自第2位置移動至第1位置。Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种可检查多种被检查体之影像检查系统，以及利用该系统之被检查体检查方法者。 本系统包含有定盘、第1移动机构、相机、第2移动机构及电脑。第1移动机构配设于定盘上面，具有用以载置被检查体之载台，可使载台于定盘之第1位置与第2位置间进行直线运动。相机配设于定盘上方，可拍摄被检查体之图像以截取图像数据。第2移动机构配设于定盘上面，可使相机在第1位置与第2位置间进行直线运动。电脑可控制第1移动机构之作动，以将载台自第1位置移动至第2位置，同时可控制第2移动机构之作动，以将相机自第2位置移动至第1位置。
-
公开(公告)号：TWI609169B
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：TW102122771
申请日：2013-06-26
Applicant: 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
Inventor： 薩賓恩斯 娜安 , SAPIENS, NOAM , 色林格森 喬爾 , SELIGSON, JOEL , 朗維司基 維拉得摩 , LEVINSKI, VLADIMIR , 堪德爾 丹尼爾 , KANDEL, DANIEL , 飛勒 亞爾 , FELER, YOEL , 布蘭歐里茲 巴瑞克 , BRINGOLTZ, BARAK , 馬那森 阿農 , MANASSEN, AMNON , 班尼斯堤 伊利維 , BENISTY, ELIAV
CPC classification number: G01N21/55 , G01B11/00 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/06113 , G01N2201/104
-
公开(公告)号：TW201408988A
公开(公告)日：2014-03-01
申请号：TW102122771
申请日：2013-06-26
Applicant: 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
Inventor： 薩賓恩斯 娜安 , SAPIENS, NOAM , 色林格森 喬爾 , SELIGSON, JOEL , 朗維司基 維拉得摩 , LEVINSKI, VLADIMIR , 堪德爾 丹尼爾 , KANDEL, DANIEL , 飛勒 亞爾 , FELER, YOEL , 布蘭歐里茲 巴瑞克 , BRINGOLTZ, BARAK , 馬那森 阿農 , MANASSEN, AMNON , 班尼斯堤 伊利維 , BENISTY, ELIAV
CPC classification number: G01N21/55 , G01B11/00 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/06113 , G01N2201/104
Abstract: 本發明提供量測系統及方法，該等量測系統包括定位於該系統之一物鏡與一目標之間之一光學元件。該光學元件經配置以增強由該目標反射之輻射的消散模態。本發明揭示各種組態，該光學元件可包括一固態浸沒透鏡、莫爾元件與固態浸沒光學器件之一組合、具有不同設計之介電質-金屬-介電質堆疊，及放大照明輻射之消散模態的共振元件。該等量測系統及方法可被組態成各種量測類型，包含成像及散射量測方法。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供量测系统及方法，该等量测系统包括定位于该系统之一物镜与一目标之间之一光学组件。该光学组件经配置以增强由该目标反射之辐射的消散模态。本发明揭示各种组态，该光学组件可包括一固态浸没透镜、莫尔组件与固态浸没光学器件之一组合、具有不同设计之介电质-金属-介电质堆栈，及放大照明辐射之消散模态的共振组件。该等量测系统及方法可被组态成各种量测类型，包含成像及散射量测方法。
-
公开(公告)号：TW201643413A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW105114193
申请日：2016-05-06
Applicant: 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
Inventor： 蘇立文 傑米M , SULLIVAN, JAMIE M. , 雀倫 亞維傑尼 , CHURIN, YEVGENIY
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2201/0635 , G01N2201/104 , G01N2201/105 , G01N2201/106 , G02B26/101 , G02B27/1086 , G02B27/123 , G02F1/33
Abstract: 本發明揭示一種在一傾斜角多光束點掃描晶圓檢測系統中產生多個光束線之系統，其包含：一光束掃描器件，其經組態以掃描一照明光束；一物鏡，其相對於一樣本之表面定向成一傾斜角，且具有垂直於該樣本上之一第一掃描方向之一光軸；及一或多個光學元件，其等經定位於該物鏡與該光束掃描器件之間。該一或多個光學元件將該光束分割為兩個或兩個以上偏移光束，使得該兩個或兩個以上偏移光束在垂直於該第一方向之至少一第二方向上分離。該一或多個光學元件進一步修改該兩個或兩個以上偏移光束之相位特性，使得該兩個或兩個以上偏移光束在一掃描期間同時聚焦於該樣本上。
Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种在一倾斜角多光束点扫描晶圆检测系统中产生多个光束线之系统，其包含：一光束扫描仪件，其经组态以扫描一照明光束；一物镜，其相对于一样本之表面定向成一倾斜角，且具有垂直于该样本上之一第一扫描方向之一光轴；及一或多个光学组件，其等经定位于该物镜与该光束扫描仪件之间。该一或多个光学组件将该光束分割为两个或两个以上偏移光束，使得该两个或两个以上偏移光束在垂直于该第一方向之至少一第二方向上分离。该一或多个光学组件进一步修改该两个或两个以上偏移光束之相位特性，使得该两个或两个以上偏移光束在一扫描期间同时聚焦于该样本上。
-
公开(公告)号：TW201418661A
公开(公告)日：2014-05-16
申请号：TW102122770
申请日：2013-06-26
Applicant: 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
Inventor： 馬那森 阿農 , MANASSEN, AMNON , 希爾 安迪 , HILL, ANDY , 堪德爾 丹尼爾 , KANDEL, DANIEL , 賽拉 伊連 , SELA, ILAN , 貝洽爾 歐哈德 , BACHAR, OHAD , 布蘭歐里茲 巴瑞克 , BRINGOLTZ, BARAK
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01N21/55 , G01B11/00 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/06113 , G01N2201/104
Abstract: 本發明提供角度解析反射計及反射量測方法，該反射計包括：一同調光源；一光學系統，其經組態以使用來自該光源之一同調光點來掃描一目標型樣以產生集光瞳徑中之光分佈的實現，其中該點覆蓋該目標型樣之一部分，且該掃描係根據一掃描型樣而光學或機械地實施；及一處理單元，其經配置以藉由組合瞳徑影像來產生該集光瞳徑分佈之一合成影像。本發明提供量測系統及方法，其藉由定量估計測量參數對孔徑尺寸之一函數相依性，及自關於孔徑尺寸之函數相依性之經識別的繞射分量導出該等測量參數相對於測量條件的校正項來減少繞射誤差。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供角度解析反射计及反射量测方法，该反射计包括：一同调光源；一光学系统，其经组态以使用来自该光源之一同调光点来扫描一目标型样以产生集光瞳径中之光分布的实现，其中该点覆盖该目标型样之一部分，且该扫描系根据一扫描型样而光学或机械地实施；及一处理单元，其经配置以借由组合瞳径影像来产生该集光瞳径分布之一合成影像。本发明提供量测系统及方法，其借由定量估计测量参数对孔径尺寸之一函数相依性，及自关于孔径尺寸之函数相依性之经识别的绕射分量导出该等测量参数相对于测量条件的校正项来减少绕射误差。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
120
records
(took 0.017 seconds)
