公开(公告)号：KR100819098B1

公开(公告)日：2008-04-03

申请号：KR1020070036817

申请日：2007-04-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정재우 ,  최상국

IPC: H01L21/677

CPC classification number: G05B19/41865 ,  G05B2219/32097 ,  G05B2219/32275 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67769 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/20 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67781

Abstract: A vertical furnace semiconductor manufacturing apparatus having a function of transferring a wafer carrier in lot unit and a transfer method thereof are provided to reduce a standby time of a wafer by transferring the wafer carrier in a rot unit and charging/discharging the wafer before the wafer carrier is filled by the lot numbers corresponding to one batch. An operator interface server(10) inputs process conditions for performing each process, checks whether a monitor wafer is used, and generates a command for appointing the number of input rots and a lot position. A host computer(14) receives the command from the operator interface server to control a process apppratus(16), collects the data generated during the process in real time to send the data to the operator interface server, and controls the process chamber to transfer a wafer carrier in a lot unit before all of the wafer carriers are accommodated.

Abstract translation: 提供具有转移批量单元中的晶片载体的功能的立式炉半导体制造装置及其传送方法，以通过将晶片载体转移到腐烂单元中并在晶片之前进行晶片的放电/放电来减少晶片的待机时间 承运人由对应一批的批号填写。 操作者接口服务器（10）输入用于执行每个处理的处理条件，检查是否使用监视器晶片，并且生成用于指定输入粗细数和批次位置的命令。 主计算机（14）从操作员接口服务器接收命令以控制处理程序（16），实时收集在处理过程中产生的数据，以将数据发送到操作员界面服务器，并且控制处理室传送 所有的晶片载体都被容纳在批量单元中的晶片载体。

公开(公告)号：KR1020060106394A

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：KR1020050029517

申请日：2005-04-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정재우 ,  정준 ,  서행룡 ,  강영호

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02 ,  G05B2219/32422 ,  G05B2219/45031

Abstract: 본 발명은 반도체 설비의 보수 주기 관리 시스템으로, 가동 중인 반도체 설비에 대한 보수 주기 내에서 보수 공정을 진행하면서 생산량을 일정하게 유지하기 위해서 반도체 설비의 보수 시기를 조절할 수 있는 반도체 설비의 보수 주기 관리 시스템을 제공한다. 즉 반도체 설비는 반도체 제조 공정에 따른 사용현황 정보를 데이터베이스에 전송한다. 데이터베이스는 반도체 설비별 관리 주기 스펙과 사용현황 정보를 저장/갱신한다. 관리 서버는 데이터베이스로부터 관리 주기 스펙을 전송받아 반도체 설비별 보수 주기를 산출하고, 산출된 보수 주기와 사용현황 정보를 토대로 반도체 설비별 보수 일정을 산출한다. 그리고 작업자 인터페이스는 반도체 제조 공정에 필요한 정보를 반도체 설비에 전송하고, 반도체 설비별 관리 주기 스펙을 데이터베이스에 입력하며, 관리 서버로부터 보수 일정을 전송받아 보수 여부를 결정한다.
반도체 설비, 보수, 주기, 관리, 인터록

公开(公告)号：KR1020060093778A

公开(公告)日：2006-08-25

申请号：KR1020050014512

申请日：2005-02-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성규 ,  홍영기 ,  김동균 ,  정재우

IPC: B41J2/145 ,  B41J2/155

Abstract: 인쇄 매체 상에 잉크 액적을 토출하여 화상을 인쇄하기 위한 프린트헤드 어레이를 가진 잉크젯 헤드가 개시된다. 개시된 잉크젯 헤드에 있어서, 프린트헤드 어레이는 인쇄 매체의 이송 방향과 직교하는 방향에 대해 제1의 각도(β)로 경사지게 배열된 복수의 프린트헤드를 가지며, 복수의 프린트헤드 각각은 인쇄 매체의 이송 방향에 대해 제2의 각도(α)로 경사지게 배치된다. 그리고, 상기 프린트헤드 어레이는 인쇄 매체의 이송 방향과 직교하는 방향으로 다수개가 배열될 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 프린트헤드 각각의 길이가 종래에 비해 짧아질 수 있으므로, 프린트헤드의 제조 과정에서 수율이 높아지게 된다.

公开(公告)号：KR100612841B1

公开(公告)日：2006-08-18

申请号：KR1020040013642

申请日：2004-02-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김종범 ,  임성택 ,  정재우 ,  이광호

IPC: B41J2/045

Abstract: 잉크젯 프린트헤드의 구동 방법이 개시된다. 개시된 프린트헤드의 구동 방법에 있어서, 액츄에이터에 인가되는 구동 펄스는, 잉크 액적을 토출시킬 수 있는 정도의 주 전위(Vm)로 인가되는 주 펄스와, 주 펄스보다 소정 시간 전에 주 전위(Vm)보다 낮은 예비 전위(Vp)로 인가되는 예비 펄스를 구비한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 예비 펄스의 T1, T2 및 T3 구간과, 예비 펄스와 주 펄스 사이의 T4 구간을 적절히 조절함으로써, 노즐을 통해 토출되는 액적의 속도와 체적을 효과적으로 증가 또는 감소시킬 수 있다.

Abstract translation: 公开了一种驱动喷墨打印头的方法。 在所公开的打印头中，施加到致动器，比主脉冲的驱动波形，和一个主电压（VM）的比施加到一定程度的初级电压（VM），其能够喷出墨滴的主脉冲的预定时间之前的驱动方法 并且以低初始电势Vp施加初步脉冲。 因此，根据作为本发明中，通过T1，T2和T3的时间间隔，预脉冲和预脉冲的主脉冲之间的T4时间间隔的适当的调整，并且可以增加或有效地减少微滴速度和体积，以通过喷嘴排出 。

公开(公告)号：KR100612888B1

公开(公告)日：2006-08-14

申请号：KR1020050008003

申请日：2005-01-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 홍영기 ,  김태균 ,  정재우

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2002/14491 ,  Y10T29/49401

Abstract: 온도 센서를 가진 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드와 잉크젯 프린트헤드에 온도 센서를 부착하는 방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 다수의 압력 챔버와 다수의 노즐을 포함하는 잉크 유로가 형성된 유로형성판과, 다수의 압력 챔버 각각에 잉크 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터와, 잉크 유로 내부의 잉크의 온도를 검출하는 서미스터 칩을 구비한다. 상기 압전 액츄에이터는 유로형성판 위에 형성된 하부 전극과, 하부 전극 위에 형성된 압전막과, 압전막 위에 형성된 상부 전극을 포함한다. 상기 하부 전극 위에는 압전막으로부터 이격되도록 절연막이 형성되며, 절연막 위에 온도 검출용 전극이 형성되고, 이 온도 검출용 전극 위에 온도 센서인 상기 서미스터 칩이 솔더를 사용하여 부착된다. 그리고, 상기 상부 전극과 온도 검출용 전극에는 플렉시블 인쇄 회로에 함께 마련된 구동 신호선과 온도 검출용 신호선이 각각 본딩된다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 솔더링 공정에 의해 온도 센서인 서미스터 칩을 프린트헤드에 용이하게 직접 부착할 수 있으므로, 프린트헤드 내부의 잉크의 온도를 보다 정확하게 검출할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020060087141A

公开(公告)日：2006-08-02

申请号：KR1020050008003

申请日：2005-01-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 홍영기 ,  김태균 ,  정재우

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2002/14491 ,  Y10T29/49401

Abstract: 온도 센서를 가진 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드와 잉크젯 프린트헤드에 온도 센서를 부착하는 방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 다수의 압력 챔버와 다수의 노즐을 포함하는 잉크 유로가 형성된 유로형성판과, 다수의 압력 챔버 각각에 잉크 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터와, 잉크 유로 내부의 잉크의 온도를 검출하는 서미스터 칩을 구비한다. 상기 압전 액츄에이터는 유로형성판 위에 형성된 하부 전극과, 하부 전극 위에 형성된 압전막과, 압전막 위에 형성된 상부 전극을 포함한다. 상기 하부 전극 위에는 압전막으로부터 이격되도록 절연막이 형성되며, 절연막 위에 온도 검출용 전극이 형성되고, 이 온도 검출용 전극 위에 온도 센서인 상기 서미스터 칩이 솔더를 사용하여 부착된다. 그리고, 상기 상부 전극과 온도 검출용 전극에는 플렉시블 인쇄 회로에 함께 마련된 구동 신호선과 온도 검출용 신호선이 각각 본딩된다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 솔더링 공정에 의해 온도 센서인 서미스터 칩을 프린트헤드에 용이하게 직접 부착할 수 있으므로, 프린트헤드 내부의 잉크의 온도를 보다 정확하게 검출할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020060083582A

公开(公告)日：2006-07-21

申请号：KR1020050004454

申请日：2005-01-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이재창 ,  정재우 ,  강성규

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1637 ,  B41J2002/14306 ,  B41J2002/14411 ,  B41J2002/14419

Abstract: 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드는 두 개의 단결정 실리콘 기판 상에 구현된다. 상부 기판에는 잉크 인렛이 관통 형성되고, 상부 기판의 저면에는 잉크 인렛과 연결되는 매니폴드와 매니폴드의 적어도 일측에 배열되는 다수의 압력 챔버가 형성된다. 하부 기판의 상면에는 매니폴드와 다수의 압력 챔버 각각의 일단부를 연결하는 다수의 리스트릭터가 형성되고, 하부 기판에는 다수의 압력 챔버 각각의 타단부에 대응되는 위치에 다수의 노즐이 수직으로 관통 형성된다. 상부 기판 상에는 다수의 압력 챔버 각각에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터가 형성된다. 그리고, 상기 하부 기판 상에 상부 기판이 적층되어 서로 접합됨으로써, 잉크 인렛과 매니폴드로 이루어진 공통 유로와 리스트릭터, 압력 챔버 및 노즐로 이루어진 개별 유로가 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 종래에 비해 사용되는 기판의 수가 감소하므로 제조 공정이 단순화되고 제조 원가가 감소할 뿐만 아니라 잉크 토출 성능이 향상되어 구동 주파수가 높아질 수 있다.

公开(公告)号：KR1020060067671A

公开(公告)日：2006-06-20

申请号：KR1020040106519

申请日：2004-12-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이화선 ,  정재우 ,  임승모

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/125

CPC classification number: B41J2/16579 ,  B41J2/0451 ,  B41J2/04581 ,  B41J2002/14354

Abstract: Disclosed a defect detection device of a printer head and a method of detection defect thereof, the defect detection device of a printer head comprising: first to a Nth (N is a positive integer) actuators providing a driving force for ejecting ink to ink chambers; a vibration signal generator generating vibration signals for vibrating the first to Nth actuators; a first switch receiving the generated vibration signals and outputting the vibration signals to the Kth (K is any integer ranging from 1 to N) actuator among the first to Nth actuators; a second switch receiving vibration signals of one or more among the first to Nth actuators vibrating concurrently with the vibration of the Kth actuator and outputting the Lth vibration signal that corresponds to a vibration signal of the Lth actuator (L is any integer ranging from 1 to N) adjacent to the Kth actuator among the received vibration signals; and a defect detector comparing the Lth vibration signal output from the second switch with the specific vibration signal of the Lth actuator when there is no defect in a printer head and detecting defects in the printer head. Therefore, it is possible to detect defects such as a crack or adhesion failure of the printer head with simple elements.

公开(公告)号：KR1020060062718A

公开(公告)日：2006-06-12

申请号：KR1020040101655

申请日：2004-12-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김종범 ,  임승모 ,  정재우

IPC: B41J2/165

Abstract: 잉크젯 프린터의 와이핑 블레이드가 개시된다. 개시된 와이핑 블레이드는, 잉크를 토출하는 다수의 노즐이 형성된 프린트 헤드의 노즐면을 클리닝하기 위한 것으로, 그 선단부 일측 모서리 부위에 경사면이 형성되고, 상기 경사면이 프린트 헤드의 노즐면에 면접촉된 상태로 노즐면을 클리닝하도록 된 것을 특징으로 한다. 상기 와이핑 블레이드의 선단면에 대한 경사면의 경사 각도는, 30°내지 60°인 것이 바람직하며, 40°내지 50°인 것이 더 바람직하다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 프린트 헤드의 노즐면에 형성된 소수성 코팅막에 가해지는 압력이 낮아짐으로써 노즐면과 와이핑 블레이드의 마찰에 의한 마모가 감소하여 소수성 코팅막의 내구성이 높아지게 된다.

公开(公告)号：KR1020060031075A

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：KR1020040079959

申请日：2004-10-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신수호 ,  강성규 ,  정재우 ,  이유섭 ,  정창훈

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14419

Abstract: 크로스토크를 감소시킬 수 있는 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드와 그 제조방법이 개시되어 있다. 개시되어 있는 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드는 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터; 상기 압전 액츄에이터가 상면에 설치되고, 잉크가 도입되는 잉크 도입구가 관통 형성되며, 토출될 잉크가 채워지는 압력 챔버와 상기 압력 챔버의 폭보다 작은 폭으로 상기 압력 챔버에서 연장되는 제 1 리스트릭터가 그 저면에 형성되는 상부 기판; 상기 잉크 도입구와 연결되어 유입된 잉크가 저장되는 매니폴드가 그 저면으로부터 소정 깊이로 형성되고, 상기 제 1 리스트릭터와 연계하여 상기 매니폴드로부터 상기 압력 챔버로 잉크가 유입되도록 하는 제 2 리스트릭터가 상기 제 1 리스트릭터와 연결 형성되며, 상기 압력 챔버의 타단부에 대응되는 위치에 댐퍼가 관통 형성된 중간 기판; 및 상기 댐퍼와 대응되는 위치에 잉크를 토출하기 위한 노즐이 관통 형성된 하부 기판;을 구비하며, 상기 하부 기판, 중간 기판 및 상부 기판은 순차적으로 적층되어 서로 접합되며, 모두 단결정 실리콘 기판으로 이루어진다. 개시되어 있는 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법에 의하면, 중간 기판의 저면을 가공하여 매니폴드를 형성하고 이를 압력 챔버의 하부에 설치함으로써 매니폴드의 폭을 용이하게 증가시킬 수 있다. 따라서, 매니폴드의 체적이 증가되어 다수 노즐에서 동시에 잉크가 토출될 때 인접한 리스트릭터 사이에 발생되는 크로스토크가 저감될 수 있는 효과가 있다. 또한, 매니폴드의 단면적이 증가되어 재충전 과정에서 잉크 공급 유량이 증 대되므로 고주파수의 토출 시에도 안정적인 작동이 가능한 장점이 있다.