成膜装置以及成膜方法
    125.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104209239A

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201410265714.5

    申请日:2014-05-30

    CPC classification number: B05D1/005 G03F7/162 H01L21/6715 H01L21/67253

    Abstract: 本发明涉及成膜装置以及成膜方法。实施方式的成膜装置为,从移动的喷嘴向旋转的基板的表面供给处理液,在上述基板的表面上螺旋状地涂布上述处理液,通过上述基板的旋转由所涂布的上述处理液形成膜。该成膜装置具备保持上述基板的保持部、使上述保持部旋转的驱动部、向上述保持部所保持的上述基板的表面供给上述处理液的处理液供给部以及至少控制上述驱动部的控制部。而且,上述控制部使上述保持部以比涂布上述处理液时的第一转速慢的第二转速旋转,而由所涂布的上述处理液形成膜。

    涂敷处理方法
    130.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101647089B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200880008386.3

    申请日:2008-02-28

    Abstract: 本发明提供涂敷处理方法、涂敷处理装置和计算机能够读取的存储介质。在涂敷工序中,使基板高速旋转,在此状态下从第一喷嘴向基板的中心部喷出抗蚀剂液,在基板上涂敷抗蚀剂液。接着,在平坦化工序中,使基板的旋转减速,使基板以低速旋转,使基板上的抗蚀剂液平坦化。此时,涂敷工序中的第一喷嘴进行的抗蚀剂液的喷出持续进行至平坦化工序的中途,在该平坦化工序中在使抗蚀剂液的喷出结束时,使第一喷嘴移动,使抗蚀剂液的喷出位置从基板的中心部移动。采用本发明,能够在基板面内均匀地涂敷抗蚀剂液。

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