公开(公告)号：JP2011509418A

公开(公告)日：2011-03-24

申请号：JP2010538106

申请日：2008-12-10

Applicant: リサーチ・ファウンデーション・オブ・ザ・シティー・ユニヴァーシティー・オブ・ニュー・ヨーク

Inventor： デイヴィッド・トーマス・クローズ ,  パヴァン・クマール・レディ・ケシャヴァレディ

IPC: G02B5/30

CPC classification number: G02B5/3058 ,  B82Y20/00 ,  G01J4/00 ,  G01J2004/001 ,  G02B5/008 ,  G02B5/1809 ,  H01L31/054

Abstract: 所定の波長における入射電磁放射の透過を増強するための装置が、薄膜中のアパーチャアレイ構造を含んで提供される。 この構造は、第一のアパーチャ及び第二のアパーチャを含む二つ以上のアパーチャを有する繰り返しユニットセルを含み、第一のアパーチャのパラメータが第二のアパーチャのパラメータと異なる。 ユニットセルは、所定の波長のオーダ又はそれ未満の周期で繰り返す。 構造パラメータは、所定の波長における所定の偏光状態に結合し透過を増強するためのキャビティモードを優先的にサポートするように構成されている。 寸法、高さ、アパーチャを充填する物質の誘電率、形状、向きのうち少なくとも一つが適切な程度で異なるアパーチャを備えたユニットセルを構造化することによって、本装置を、偏光及び／又は波長フィルタリング、及び／又は光循環、ウィービング若しくはチャネリング用に構成することができる。

公开(公告)号：JP2010271310A

公开(公告)日：2010-12-02

申请号：JP2010114083

申请日：2010-05-18

Applicant: Hon Hai Precision Industry Co Ltd ,  Qinghua Univ ,  ツィンファ ユニバーシティ ,  鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司

Inventor： XIAO LIN ,  ZHANG YU-YING ,  JIANG KAILI ,  LIU LIANG ,  FAN FENG-YAN

IPC: G01J4/04 ,  C01B31/02

CPC classification number: G01J4/00

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic wave polarization direction detection device and its detection method.
SOLUTION: The electromagnetic wave polarization direction detection device includes a first step of installing a carbon nanotube structure containing a plurality of carbon nanotubes arranged in the same direction in a vacuum environment; a second step of providing an electromagnetic wave emission source and radiating an electromagnetic wave having a polarization direction perpendicular to the plane of the carbon nanotube structure; and a third step of rotating the carbon nanotube structure in the plane perpendicular to the radiation direction of the electromagnetic wave and measuring the polarization direction of the electromagnetic wave by the change in the light radiated from the carbon nanotube structure.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种电磁波偏振方向检测装置及其检测方法。 解决方案：电磁波偏振方向检测装置包括在真空环境中安装包含沿相同方向布置的多个碳纳米管的碳纳米管结构的第一步骤; 提供电磁波发射源并辐射具有与碳纳米管结构的平面垂直的偏振方向的电磁波的第二步骤; 以及在垂直于电磁波的辐射方向的平面中旋转碳纳米管结构并通过从碳纳米管结构辐射的光的变化来测量电磁波的偏振方向的第三步骤。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2010522327A

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：JP2009554537

申请日：2008-03-14

Applicant: ジェイ・エイ・ウーラム・カンパニー・インコーポレイテッドJ.A.Woollam Co.,Inc.

Inventor： エル． ファイファー，ガレン ,  エム． リファード，マーチン

IPC: G01J4/04 ,  G01J3/447 ,  G01N21/21 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01J3/10 ,  G01J3/447 ,  G01J4/00 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213

Abstract: 制御偏光子（Ｐ２）及びビーム偏光子（Ｐ）を、任意に介在する制御補償子（Ｃ）と併用して適用することにより、電磁ビームの強度を波長スペクトルにわたって制御する、エリプソメーター又はポラリメーターのシステム及びその方法。

公开(公告)号：JP4455024B2

公开(公告)日：2010-04-21

申请号：JP2003389419

申请日：2003-11-19

Applicant: キヤノン株式会社

Inventor： 康宏 岸川 ,  晃宏 畑田 ,  誠二 竹内

IPC: G01N21/23 ,  G01J4/00

CPC classification number: G01J4/00 ,  G01N21/23

公开(公告)号：JP2005005521A

公开(公告)日：2005-01-06

申请号：JP2003168037

申请日：2003-06-12

Applicant: Nikon Corp ,  株式会社ニコン

Inventor： KUDO YUJI

IPC: G03F7/20 ,  G01J4/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G01J4/00 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/70591

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an aligner capable of determining the appropriate polarization state of illuminating light to a mask and obtaining a desired polarization state with appropriate optical adjustment as required.
SOLUTION: The aligner having illuminating systems (1 to 8) for illuminating the mask (M) and exposing a pattern formed on the mask to a photosensitive plate (W) has a polarized state measuring means (9) for measuring the polarized state of the illuminating light to at least either of the mask or the photosensitive plate. The illuminating system also has a polarized state variable means (3) for varying the polarized state of the illuminating light to the mask.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够根据需要通过适当的光学调整来确定照明光对掩模的适当偏振状态并获得期望的偏振状态的对准器。 解决方案：具有用于照射掩模（M）并将形成在掩模上的图案曝光到感光板（W）的照明系统（1至8）的对准器具有用于测量偏振光的偏振状态测量装置（9） 照明光的状态到掩模或感光板中的至少一个。 照明系统还具有用于改变照射光到掩模的偏振状态的偏振状态可变装置（3）。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：KR1020170004947A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：KR1020167006664

申请日：2015-01-20

Applicant: 제이.에이. 울램 컴퍼니, 인코퍼레이티드

Inventor： 리파드,마틴,엠. ,  헤일,제프리,에스. ,  허,핑 ,  파이퍼,게일런,엘.

IPC: G01J4/04 ,  G01J1/04 ,  G01J4/00 ,  G02B19/00

CPC classification number: G02B17/0621 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0414 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0076 ,  G02B27/0012 ,  G02B27/286

Abstract: 빔반사표면들을갖는볼록미러(M3) 및오목미러(M4) 모두의존재를바람직하게는요구하는반사광학장치시스템(RFO)에관한것으로, 이시스템의사용은관여하는다양한미러들(M1)(M2)(M3)(M4)로의입사각들및 이로부터의반사각들의조절에기초하여서입사빔의편광상태에대한영향을최소화하면서, (입사빔(IB)의궤적과는상이한궤적을따를수 있는) 샘플상으로의전자기방사선의빔의집속을달성한다.

Abstract translation: 一种反射光学系统，其优选地需要存在具有光束反射表面的凸面镜和凹面镜，其应用实现将电磁辐射束聚焦到样品上（其可以沿着不同于 输入光束），基于调整的入射角和来自各种反射镜的反射，对输入光束偏振态的偏振状态的影响最小化。

公开(公告)号：KR1020160116019A

公开(公告)日：2016-10-06

申请号：KR1020167026238

申请日：2010-09-21

Applicant: 보로텍 리미티드

Inventor： 보로비트치크슬로모

IPC: G01J4/00 ,  G01J4/04

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01C17/34 ,  G01C21/02 ,  G01J2004/005 ,  G01J4/00

Abstract: 천체의위치판정에사용하기위한방법으로서, 제1 편광방향을갖는필터셀 및상기제1 편광방향과상이한제2 편광방향을갖는필터셀을포함하는적어도두 개의편광필터셀 어레이를통과하도록주변광을지향하는단계; 적어도두 개의광 센서엘리먼트를포함하는광 센서유닛에의하여상기제1 및제2 편광방향의상기적어도두 개의필터셀을통과하는광 성분을탐지하고, 상기탐지된광 성분의강도에있어서의차이를탐지하여상기주변광의편광패턴을나타내는탐지데이터를산출하는단계; 및상기편광패턴을나타내는데이터를프로세싱하고, 상기천체의방위각및 고도중 적어도하나를확인하는단계를포함하는천체의위치판정에사용하기위한방법이개시된다.

公开(公告)号：KR1020150086955A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：KR1020140007230

申请日：2014-01-21

Applicant: 주식회사 나노텍 ,  한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 차동호 ,  남윤석

IPC: G01B11/06 ,  F21S2/00

CPC classification number: F21K99/00 ,  F21S2/005 ,  F21W2131/40 ,  F21Y2115/10 ,  G01B11/06 ,  G01J3/00 ,  G01J4/00 ,  G01N21/8806 ,  H01L22/12

Abstract: 본발명의일 측면에따르면, 박막이형성된시편에광원이생성한빛을조사하여간섭이일어나는반사광의파장을측정하여상기시편상에형성된상기박막의두께를측정하는박막두께측정장치(Spectral Reflectometor)에있어서, 서로다른파장을가진 n(단, n은 1 이상의정수)가지종류의 LED를포함하는광원부;및상기광원부에인가되는전류를조절하여각 파장별로동일한밝기로발광하도록제어하는제어부; 를포함하는것을특징으로하는박막두께측정장치를제공한다. 본발명에따르면, 다양한파장의 LED에흐르는전류량을각각제어함으로써, 파장별빛의세기를균일하게제어하는효과가있다.

Abstract translation: 薄膜厚度测量装置（光谱反射计）本发明涉及一种薄膜厚度测量装置（光谱反射计），该薄膜厚度测量装置通过将由光源产生的光照射到具有薄膜的样品上来测量形成在样本上的薄膜的厚度，以测量反射的波长 光。 薄膜厚度测量装置包括：具有彼此不同波长的n种（这里n为1以上的整数）的光源单元; 以及控制单元，其调节施加到光源单元的电流，以便控制各个波长的亮度相同。 因此，薄膜厚度测量装置可以通过分别控制流过具有各种波长的LED的电流量来一致地通过波长控制光的强度。

公开(公告)号：KR100873531B1

公开(公告)日：2008-12-11

申请号：KR1020070008207

申请日：2007-01-26

Applicant: 캐논 가부시끼가이샤

Inventor： 시오데요시히로

IPC: G01J4/04 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/706 ,  G01J4/00 ,  G01J2009/0261 ,  G03F7/70566

Abstract: 피검광학계에 편광방향이 서로 다른 복수의 직선 편광의 광을 조사하고, 상기 피검광학계의 복굴절량(R)과 진상축(φ)을 포함한 편광특성을 측정하는 방법은, 상기 피검광학계에 편광방향(θ)을 가진 직선편광의 광을 조사하는 스텝과, 상기 피검광학계를 투과한 광의 중심량(P)를 취득하는 스텝과, P=－R·cos(2θ-φ) 또는 P=R·cos(2θ-φ)로부터 상기 복굴절량(R)과 상기 진상축(φ)을 취득하는 스텝을 포함하고 있다.

公开(公告)号：KR100818995B1

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：KR1020060026699

申请日：2006-03-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김동완 ,  이동근 ,  방경윤

IPC: G01J4/02

CPC classification number: G01J4/00 ,  G01N21/211 ,  G01N21/8422

Abstract: 편광 측정 장치가 제공된다. 편광 측정 장치는 빛의 편광 상태를 알 수 있도록 입사되는 빛을 회절시키는 회절 격자 및 회절 격자에서 회절된 빛을 수광하여 빛의 편광 상태를 검출하는 검출기를 포함한다.
타원 분광기, 원형 회절 격자