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公开(公告)号：CN105493521A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480047541.8
申请日：2014-08-28
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R7/08 , H04R7/20 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2201/003 , H04R2307/027
Abstract: 所保护的发明致力于使用CMOS基技术而制造的MEMS麦克风裸片。更具体地，权利要求致力于具有各向异性弹簧、背板、膜片、机械阻挡件以及支撑结构的MEMS麦克风裸片的各种方面，其全部使用CMOS制造技术制造为由过孔分离的堆叠的金属层。
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公开(公告)号：CN105493519A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480037351.8
申请日：2014-08-27
Applicant: 歌尔声学股份有限公司
IPC: H04R19/00
CPC classification number: H04R1/083 , H04R1/023 , H04R3/007 , H04R19/005 , H04R19/016 , H04R19/04 , H04R2201/003
Abstract: 本公开提供了一种MEMS器件，包括：印刷电路板；盖子，附接至印刷电路板从而形成壳体；形成在所述壳体中的至少一个声孔；位于所述壳体内部的具有振膜的声电转换芯片；以及，至少一个快门结构，位于所述壳体内部，每个快门结构可围绕相对应的声孔安装到壳体上。每个快门结构包括：衬底，具有形成在其中的至少一个通风孔；可移动部件，具有形成在其中的至少一个空气间隙和可移动部分。可移动部件连接在衬底和壳体之间；其中，所述可移动部分在常规压力下保持在打开位置使得从声孔经过所述可移动部件的至少一个空气间隙到所述衬底的至少一个通风孔的空气流路径被打开，在高外部压力下移动到第一关闭位置以阻塞所述衬底的至少一个通风孔并因而关闭空气流路径。
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公开(公告)号：CN103347808B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201180007059.8
申请日：2011-12-29
Applicant: 歌尔声学股份有限公司
CPC classification number: H04R1/02 , B81B7/0061 , B81B2201/0257 , H01L2924/1461 , H04R1/086 , H04R7/04 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2201/003 , H04R2201/02 , H04R2207/00
Abstract: 一种硅基MEMS麦克风包括硅基底（100）和支撑在该硅基底上的声学传感部（11），其中，在所述基底中形成有网络结构背孔（140），并且该网络结构背孔与所述声学传感部对齐；所述网络结构背孔包括多个网梁（141），该多个网梁彼此互联并且支撑在所述网络结构背孔的侧壁（142）上；所述多个网梁和所述侧壁界定了多个网孔（143），该多个网孔都具有锥形形状并且在所述硅基底的上部在所述声学传感部的附近汇合成一个孔。网状结构背孔有助于使例如抛掷试验中所产生的空气压力脉冲流线型化，从而减小对麦克风的声学传感部的冲击，并且也可以用作保护性过滤器以防止诸如颗粒等外部物质进入麦克风。
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公开(公告)号：CN105049992A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510310291.9
申请日：2011-03-10
Applicant: 奥迪欧彼塞尔斯有限公司
Inventor： 尤沃·科恩 , 莎伊·卡普兰 , 丹尼尔·勒温 , M·本西蒙 , 埃里克·安德里斯·哈伯
CPC classification number: H02P31/00 , H02N1/002 , H04R1/005 , H04R1/403 , H04R3/002 , H04R3/007 , H04R3/12 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R29/002 , H04R2201/003 , H04R2201/401 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明涉及移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法，该致动器包括：至少一个致动器装置，每一个致动器装置包括：一个移动元件阵列，其中每一单独的移动元件操作而受约束以响应于作用其上的一个单独的第一静电力而沿着一条对应轴线来回交替地行进，其中每一个移动元件具有一个静止位置并且仅被该第一静电力驱动远离其静止位置；以及至少一个电极，该至少一个电极操作以对来自该移动元件阵列当中的至少一个单独的移动元件施加一个受控的电位差时间序列，从而可选择地产生该第一静电力；以及一个控制器，该控制器操作以接收该数字输入信号，并且控制该至少一个电极和该单独的移动元件中的至少一者以施加该电位差序列。
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公开(公告)号：CN104918195A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510111785.4
申请日：2015-03-13
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 奥川晃宏
IPC: H04R23/00
CPC classification number: H04R19/005 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R19/016 , H04R19/04 , H04R23/006 , H04R31/00 , H04R2201/003 , H01L2924/00014
Abstract: 一种静电容量型转换器，可提高隔膜的耐粘附性和耐破损性。本发明的静电容量型转换器在具有空洞(35)的基板(32)上配设有隔膜(33)。从隔膜(33)的外周延伸的脚片(36)通过锚固件(38)固定在基板(32)上。隔膜(33)的上方通过保持固定电极板(40)的背板(34)覆盖。在背板(34)的下面，向隔膜(33)突出有多个止动件(43a、43b)。止动件由突出长度不同的两种止动件构成，在与隔膜(33)的固定部附近或隔膜(33)的外周部相对的区域设置的止动件(43b)的突出长度比设于其以外的区域的止动件(43a)长。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104918178A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510103582.0
申请日：2015-03-10
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R3/00
CPC classification number: G10L15/285 , G06F3/162 , G06F3/165 , H04R1/08 , H04R3/00 , H04R19/005 , H04R29/004 , H04R2201/003 , H04R2420/05
Abstract: 本发明涉及用于带有唤醒检测的换能器系统的系统和方法。依据在本文中描述的实施例，电路包含：接口电路，配置成被耦合到换能器；和检测电路。接口电路被配置成向处理电路的信号输入端子提供数字输出信号。检测电路被配置成接收数字输出信号并且向处理电路的低功率启用端子提供低功率启用信号。在各种实施例中，数字输出信号基于来自换能器的换能信号并且低功率启用信号通过将数字输出信号与第一阈值比较来确定。
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公开(公告)号：CN104902415A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510290375.0
申请日：2015-05-29
Applicant: 歌尔声学股份有限公司
Inventor： 郑国光
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/04 , H04R1/04 , H04R3/005 , H04R7/04 , H04R19/005 , H04R2201/003 , H04R2307/025 , H04R2410/01
Abstract: 本发明公开了一种差分电容式MEMS麦克风，包括：线路板、第一MEMS芯片、以及第二MEMS芯片；第一MEMS芯片包括设置在线路板上的第一基底，设置在第一基底上的第一电容，包括位于上方的第一背极板、位于下方的第一振膜、以及设置在第一背极板和第一振膜之间的第一隔离层；第二MEMS芯片包括设置在线路板上的第二基底，设置在第二基底上的第二电容，包括位于下方的第二背极板、位于上方的第二振膜、以及设置在第二背极板和第二振膜之间的第二隔离层；第一电容和第二电容构成一对差分电容。本发明的差分电容式MEMS麦克风可以滤除外界的噪声信号，提高信噪比，提高麦克风产品的性能。
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公开(公告)号：CN104902414A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510288675.5
申请日：2015-05-29
Applicant: 歌尔声学股份有限公司
Inventor： 郑国光
CPC classification number: H04R19/04 , H04R3/005 , H04R7/04 , H04R7/16 , H04R19/005 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2410/01
Abstract: 本发明公开了一种MEMS麦克风元件，包括：基底，基底上设置有上下贯通的第一开孔和第二开孔；并列设置于基底上方的第一电容和第二电容，第一电容设置在第一开孔之上，第二电容设置在第二开孔之上；第一电容包括位于下方的第一背极板以及位于上方的与第一背极板相对的第一振膜，第二电容包括位于上方的第二背极板以及位于下方的与第二背极板相对的第二振膜；第一电容和第二电容构成一对差分电容。本发明实现了差分电容式MEMS麦克风，有利于滤除外界电磁和噪声干扰，提高输出信号的信噪比和收音质量。本发明还公开了一种制造MEMS麦克风元件的方法。
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公开(公告)号：CN104902411A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510093841.6
申请日：2015-03-03
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R1/08 , B81B7/0061 , B81B7/02 , B81B2201/0257 , B81B2207/012 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H04R1/028 , H04R1/04 , H04R3/00 , H04R2201/003 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提出一种用于成本上有利地以及节省空间地实现具有声学上高品质的麦克风功能并且具有至少一个另外的需要介质加载的传感器功能的多传感器模块的方案。所述部件包括至少一个MEMS麦克风构件，其在壳体内安装在至少一个构造在壳体壁中的声孔之上，从而MEMS麦克风构件的麦克风结构的声压加载通过声孔实现并且壳体内部空间作为用于麦克风结构的背侧容积起作用。在麦克风结构中构造有至少一个用于麦克风结构的前侧与背侧之间的缓慢的压力均衡的泄漏路径。根据本发明，在壳体内设置有至少一个另外的MEMS传感器构件，其传感器功能需要介质加载。介质加载通过MEMS麦克风构件的麦克风结构中的至少一个泄漏路径实现。
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公开(公告)号：CN104902400A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510098315.9
申请日：2015-03-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·德厄
CPC classification number: H04R1/08 , H04R17/02 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R2201/003 , H04R2207/00 , H04R2499/11
Abstract: 本发明的各个实施例涉及用于感测压力波以及环境压力的变化的MEMS传感器结构。该传感器结构包括：第一膜片结构、电极元件、以及布置在电极元件的与第一膜片结构相对之侧的第二膜片结构。传感器结构还可以包括由第一膜片结构和第二膜片结构形成的腔室，其中腔室中的压力低于腔室外的压力。同样地公开了一种用于形成该传感器结构的方法。
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