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公开(公告)号：CN104075168A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410020593.8
申请日：2014-01-16
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 美浓部猛
Abstract: 提供一种即使在具备特别长条的光源的情况下也容易维护、并且不使用较大的空间的光照射器的构造。用光源保持框（11）保持长条的光源（1）的光源单元（10）、用反射镜保持框（21）保持从背后覆盖光源（1）的长条的反射镜（2）的反射镜单元（20）、反射镜单元（20）的上侧的上部单元（4）、和光源单元（10）的下侧（照射侧）的元件单元（30）能够通过移动机构（8）朝上移动。由选择机构（9）选择仅使上部单元（4）移动、或使上部单元（4）及反射镜单元（20）移动、或使上部单元（4）、反射镜单元（20）及光源单元（10）移动。
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公开(公告)号：CN104062856A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410109020.2
申请日：2014-03-21
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 松岛竹夫
Abstract: 以与加工对象物的形状无关、且不发生对应于位置的处理不匀的方式实现能够实施针对加工对象物的压印加工的光源装置。光源装置（1）具有：光源（2），包括第1发光部及第2发光部；控制部（4），能够对第1发光部及第2发光部分别进行光量调整；柱型积分仪组（3），具备多个柱型积分仪。柱型积分仪组（3）包括第1柱型积分仪（11）以及以包围第1柱型积分仪（11）的外周的方式而形成的第2柱型积分仪（12）。第1柱型积分仪（11）将从第1发光部射出的光取入，对被照射物（6）的第1照射区域（15）照射光；第2柱型积分仪（12）将从第2发光部射出的光取入，对被照射物（6）的第2照射区域（16）照射光。
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公开(公告)号：CN102032476B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201010284920.2
申请日：2010-09-16
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 竹添法隆
Abstract: 本发明涉及具有基座的放电灯以及紫外线照射装置，是针对具有在内部填充放电用气体的电介质构成的发光管，在该发光管的外面将一对电极相对置且在该发光管的一端部设置所述电极的供电机构的具有基座的放电灯，为了提供一种使长型的放电灯能顺利且容易地插入紫外线照射装置的冷却管内的构造。在所述发光管的与供电机构侧端部相反侧的非供电侧端部安装基座，在该基座设置沿发光管进行滑动、导引的导引机构。
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公开(公告)号：CN101794704B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN200910253766.X
申请日：2009-12-17
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/06
CPC classification number: H01J61/0737
Abstract: 本发明提供一种放电灯，具有作为易电子放射性材料含有氧化镧(La2O3)的阴极，促进氧化镧(La2O3)的还原，增加镧(La)的供应量，寿命长。该放电灯在放电容器(1)的内部具有在该放电容器(1)的管轴方向相对配置的阳极(4)与阴极(5)，通过在钨金属(W)基体中含有镧的金属氧化物(La2O3)和锆的金属氧化物(ZrO2)的材料形成上述阴极(5)，其特征为：在构成上述阴极(5)的钨金属(W)基体中固溶有碳(C)。
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公开(公告)号：CN101742790B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN200910206181.2
申请日：2009-10-21
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H05B41/2928 , H05B41/2888 , Y02B20/202 , Y02B20/208
Abstract: 一种超高压放电灯，水银封入量为0.20mg/mm3以上，当小功率点灯时，使电弧亮点的位置稳定，防止闪光的发生。从具有降压斩波电路(1)和全桥电路(2)的供电电路向高压放电灯(10)提供交流电压并使之点灯。在以超过额定功率的80％的功率点灯的正常点灯中，以半个周期以上5个周期以下的长度、0.01秒～120秒的间隔交替提供60～1000Hz的正常点灯频率的交流电流、及5～200Hz的频率的低频的交流电流并进行点灯。并且，额定功率的80％以下的小功率点灯时，交替提供60～1000Hz的小功率点灯频率的交流电流、及直流点灯期间为0.2～5秒范围且直流点灯间隔为1～100秒间隔的直流电流，使灯点灯。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103959431A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201280059471.9
申请日：2012-11-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/00
CPC classification number: H01J61/06 , C02F1/325 , C02F2201/3223 , C09K11/7777 , C09K11/778 , H01J5/54 , H01J7/183 , H01J61/26 , H01J61/34 , H01J61/42 , H01J61/44 , H01J61/92 , H01J65/04 , H01J65/046
Abstract: 本发明第一目的在于提供一种准分子灯，其在任何的使用环境中电极均不会产生腐蚀，能够得到高的安全性，并且通过对在形成有气密密封构造的发光管的端部产生破损进行抑制而能够得到较长的使用寿命。本发明的第一准分子灯具有封入有准分子发光用气体的石英玻璃制的发光管、和用于产生介质阻挡放电的一对电极，其特征在于，所述一对电极的一方的电极在所述发光管的内部空间以沿着发光管的管轴方向延伸的方式配置，所述一对电极的另一方的电极在所述发光管的管壁的内部以沿着发光管的管轴方向延伸的方式埋设，所述一方的电极与气密地埋设在发光管的端部的导电箔电连接。
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公开(公告)号：CN101930897B
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201010193397.2
申请日：2010-05-27
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/073
Abstract: 本发明提供一种高压放电灯，该高压放电灯由在发光部内相对配置的电极的电极轴与埋设在封固部内的金属箔接合而成，发光部内的高压不会影响金属箔部分，并且能够保持电极轴的强度，防止电极轴和封固部的热膨胀的不同导致的封固部的损伤、破损。所述电极轴的、至少与封固部相对的外表面区域形成有点状的多个微小凹部。
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公开(公告)号：CN101740316B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN200910225921.7
申请日：2009-11-23
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 远藤真一
Abstract: 一种准分子灯装置，提高表面处理效率和真空紫外光的发光效率。具备：灯壳(10)；准分子灯(20)；具有气体喷出口(12a)的气体供给管(12A)；及搬送机构(38)；在该对被处理体(W)照射准分子光的准分子灯装置(10)中，在上述灯壳(10)内相互分离地设置有多个气体供给管，相邻的气体供给管彼此具备设置在一个气体供给管上的气体喷出口与设置在另一个气体供给管上的气体喷出口成为一对的关系的至少一对气体喷出口；该一对气体喷出口形成为，一个气体喷出口的喷出方向与另一个气体喷出口的喷出方向，在该相邻的气体供给管所夹着的空间(A)内相对或交叉，准分子灯配置在该空间(A)的铅直下方。
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公开(公告)号：CN102196645B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201110025182.4
申请日：2011-01-20
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: G03B21/14 , G03B21/2026 , G03B21/206 , H04N9/3114 , H04N9/3155 , H05B41/2928
Abstract: 本发明提供一种光源装置，将灯水平以及垂直配置时，都能够在电极不出现损坏问题的情况下使灯点灯。从供电装置(20)向高压放电灯(10)供给交流电来使灯(10)点灯。灯(10)的配置状态例如由检测电路(30)检测，控制部(50)在灯被水平配置时使从灯(10)的一侧的电极流向另一侧的电极的电量与从另一侧的电极流向一侧的电极的电量大致相同来使灯点灯。另外，在灯被垂直配置时，保持与所述水平配置的状态下的极性切换周期相同的周期，使从配置在上侧的电极流向配置在下侧的电极的电量小于从配置在下侧的电极流向配置在上侧的电极的电量，来使灯点灯。
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公开(公告)号：CN101840160B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201010143056.4
申请日：2010-03-19
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种曝光装置，即使工件从工件搬运机构落下，也不会损伤工件本身或工件台的部件，并且，与现有技术相比，生产节拍不变长。本发明的曝光装置，将通过机械手所搬运的工件载置在工件台，对载置在该工件台的工件通过掩模来照射光，在上述工件上对形成在上述掩模的图案进行曝光，在机械手搬运工件的区域，即从机械手搬运工件的搬运高度(搬运位级)至工件台的吸附平台表面高度之间的空间，铺设横穿工件台的缆线。
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