公开(公告)号：CN101840160B

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201010143056.4

申请日：2010-03-19

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 小池雄辉 ,  冈野达广 ,  佐藤善彦

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种曝光装置，即使工件从工件搬运机构落下，也不会损伤工件本身或工件台的部件，并且，与现有技术相比，生产节拍不变长。本发明的曝光装置，将通过机械手所搬运的工件载置在工件台，对载置在该工件台的工件通过掩模来照射光，在上述工件上对形成在上述掩模的图案进行曝光，在机械手搬运工件的区域，即从机械手搬运工件的搬运高度(搬运位级)至工件台的吸附平台表面高度之间的空间，铺设横穿工件台的缆线。

公开(公告)号：CN101840160A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN201010143056.4

申请日：2010-03-19

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 小池雄辉 ,  冈野达广 ,  佐藤善彦

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种曝光装置，即使工件从工件搬运机构落下，也不会损伤工件本身或工件台的部件，并且，与现有技术相比，生产节拍不变长。本发明的曝光装置，将通过机械手所搬运的工件载置在工件台，对载置在该工件台的工件通过掩模来照射光，在上述工件上对形成在上述掩模的图案进行曝光，在机械手搬运工件的区域，即从机械手搬运工件的搬运高度(搬运位级)至工件台的吸附平台表面高度之间的空间，铺设横穿工件台的缆线。