蚀刻液组合物以及蚀刻方法

    公开(公告)号:CN108028198B

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN201680049206.0

    申请日:2016-08-23

    Abstract: 本发明的目的在于,提供一种蚀刻液组合物以及包括使用该蚀刻液的步骤的蚀刻方法,所述蚀刻液组合物能够对具有包含钛系层以及铜系层的层叠体的被蚀刻材料的钛系层以及铜系层一并进行蚀刻,即使连续使用,也能得到所期望的剖面形状的细线。为了达成上述目的,本发明提供一种蚀刻液组合物以及包括使用该蚀刻液组合物的步骤的蚀刻方法,所述蚀刻液组合物包含:(A)过氧化氢0.1~15质量%;(B)氟化物离子供给源0.01~1质量%;(C)以有机磺酸换算计,由下述通式(I)表示的有机磺酸化合物或其盐0.1~20质量%;(D)由唑系化合物以及结构中具有含有一个以上的氮原子且具有三个双键的六元杂环的化合物中选择的至少一种化合物0.01~5质量%以及(E)水。(式中,R表示碳原子数1~4的烷基、碳原子数1~4的羟基烷基、碳原子数6~10的芳基、碳原子数6~10的羟基芳基。)。

    阻燃剂组合物、阻燃性合成树脂组合物和成型体

    公开(公告)号:CN115175965A

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202180016383.X

    申请日:2021-03-31

    Abstract: 提供能够得到阻燃性和成型收缩率的纵横平衡优异的阻燃性合成树脂组合物的阻燃剂组合物、使用其的阻燃性合成树脂组合物及其成型体。一种阻燃剂组合物,其相对于下述(A)成分100质量份含有0.005~5质量份的下述下述(B)成分。(A)成分:磷酸盐系阻燃剂。(B)成分:1种以上的具有下述通式(1)所示的结构的化合物。式中,R1~R4分别独立地表示氢原子或碳原子数1~8的烷基,R5表示直接键合或碳原子数1~4的烷二基,M1表示碱金属、碱土金属、锌、铝和氢原子中的任意者,M1为碱金属或氢原子的情况下,n为1且m为0,M1为碱土金属或锌的情况下,n为2且m为0,M1为铝的情况下,n为1、2或3且m为3‑n所表示的整数。

    蚀刻液组合物和蚀刻方法
    135.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108780747B

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN201780019215.X

    申请日:2017-03-16

    Abstract: 一种蚀刻液组合物,其即使不含有氯化氢,也对于能形成下述细线的氧化铟系层的蚀刻有用,所述细线由蚀刻导致的变细宽度少、直线性良好且具有期望的宽度,所述蚀刻液组合物含有:(A)过氧化氢0.01~15质量%;(B)硫酸1~40质量%;(C)(C‑1)下述通式(1)(R1、R2和R3:氢、碳原子数1~8的烷基等)所示的酰胺化合物0.01~10质量%、或(C‑2)氨基酸化合物0.01~20质量%;及水。

    树脂添加剂组合物及使用其的合成树脂组合物

    公开(公告)号:CN113174144B

    公开(公告)日:2022-08-26

    申请号:CN202110403719.X

    申请日:2016-07-29

    Abstract: 本发明涉及一种树脂添加剂组合物及使用其的合成树脂组合物。本发明提供树脂添加剂组合物及使用其的合成树脂组合物,所述树脂添加剂组合物含有特定的磷酸酯金属盐,即使制成颗粒形状时在树脂中的分散性也优异,配混于树脂时可得到期望的物性改良效果。一种树脂添加剂组合物,其相对于2,2’‑亚甲基双(4,6‑二叔丁基苯基)磷酸酯钠(A)100质量份,含有通式(1)所示的磷酸酯锂盐化合物(B)25~400质量份和通式(2)所示的脂肪酸金属盐(C)10~300质量份。相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份,(C)成分的配混量为10质量份~50质量份。

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