双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体

    公开(公告)号:CN102899630A

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201210268890.5

    申请日:2012-07-30

    CPC classification number: C23C14/562 Y10T428/31678

    Abstract: 本发明提供双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体,该成膜方法能够通过利用简单的装置结构适当地实施加热处理等,有效地制造在双面实施了真空成膜的层积体。卷成卷筒状的长基体的第一面作为被成膜面,沿从第一辊室朝向第二辊室的第一方向从第一辊室输出卷筒状的长基体,使沿第一方向输出的基体脱气,在第二成膜室在基体第一面将第二膜材料成膜,在第二辊室将使第二膜材料成膜的基体卷绕成卷筒状,沿从第二辊室朝第一辊室的第二方向从第二辊室输出,在第一成膜室在第二膜材料上将第一膜材料成膜,在第一辊室将在第二膜材料上层积第一膜材料的基体卷绕成卷筒状,将与第一辊室卷绕的基体的第一面相反侧的第二面作为被成膜面,重复上述全部处理。

    触摸面板
    138.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101063922B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200710097120.8

    申请日:2007-04-17

    Abstract: 本发明提供一种使用在薄膜基材上设置有导电性薄膜的面板的触摸面板,所述导电性薄膜的耐久性优良,所述触摸面板具有第一面板和第二面板,所述第一面板具有透明的第一薄膜基材和设在该第一薄膜基材的单面的透明的第一导电性薄膜;所述第二面板具有透明的第二薄膜基材和设在该第二薄膜基材的单面的透明的第二导电性薄膜,第一面板和第二面板通过隔离件对置配置以使第一导电性薄膜和第二导电性薄膜对置,其特征在于,第一导电性薄膜的表面硬度为1GPa以上,弹性模量为5GPa以上,第二导电性薄膜的表面的中心线平均粗糙度(Ra)为0.3~1.0nm,并且,第二导电性薄膜的表面的中心线平均粗糙度(Ra)的值比第一导电性薄膜的表面的中心线平均粗糙度(Ra)的值小。

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