-
公开(公告)号：KR100493203B1
公开(公告)日：2005-06-02
申请号：KR1020030037078
申请日：2003-06-10
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 나노 리소그래피용 병렬 프로브 제조 방법에 관한 것으로, 내부에 전도성 금속이 채워진 비아홀 그룹들을 제 1 웨이퍼를 관통하여 일정간격으로 형성하는 단계와; 상기 제 1 웨이퍼의 비아홀 그룹들 각각의 사이에 위치하는 영역에 탐침을 갖는 캔틸레버를 형성하여 어레이시키고, 상기 각각의 캔틸레버를 구동시키는 신호선을 상기 비아홀 그룹들의 전도성 금속과 전기적으로 연결하는 단계와; 상기 각각의 캔틸레버들을 구동시키기 위한 CMOS 회로부들을 제 2 웨이퍼에 형성하는 단계와; 상기 제 2 웨이퍼의 CMOS 회로부들의 신호선과 상기 비아홀 그룹들의 전도성 금속이 전기적으로 연결되도록, 상기 제 2 웨이퍼 상부에 상기 제 1 웨이퍼를 본딩 또는 언더필(Underfill)하는 단계를 포함하여 구성된다.
따라서, 본 발명은 CMOS 회로가 집적화된 기판과 병렬프로브 어레이가 형성된 기판을 전기적으로 접착시켜, 종래 기술보다 제한된 면적에 많은 개수의 프로브를 형성할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 많은 개수의 프로브가 어레이되어, 나노리소그래피의 시간 효율 및 생산성 향상에 크게 기여할 수 있는 효과가 있다.
또한, 각각의 캔틸레버의 변위센서와 압전 엑츄에이터를 각각 구동할 수 있는 CMOS 회로부가 인터커넥션 되어 있으므로, 각각의 프로브(탐침)를 독립적으로 구동 및 제어 할 수 있는 효과가 있다.-
-
-
公开(公告)号：KR101834049B1
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：KR1020150188468
申请日：2015-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L27/146 , H01L29/06
CPC classification number: H04N5/374 , H01L27/14607 , H01L27/1461 , H01L27/14689 , H01L29/4916 , H01L31/022408 , H01L31/035227
Abstract: 본발명의나노와이어를이용한이미지센서는기판, 입사광을감지하여입사광의세기에따라크기가변화하는광전류를생성하는광검출소자, 광전류의발생여부및 크기에기초하여, 입사광의발생여부및 세기정보를포함하는광검출전류를출력하는신호처리모듈및 광검출소자와신호처리모듈을전기적으로연결하며, 광검출소자와신호처리모듈상에형성되는전극을포함하며, 광검출소자와상기신호처리모듈은동일한기판상에형성되며, 광검출소자는적어도하나이상의실리콘나노와이어로형성된다.
-
公开(公告)号：KR101809359B1
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：KR1020160039482
申请日：2016-03-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 휴대용분자진단시스템이제공된다. 본발명의실시예에따른진단시스템은, 타겟물질이포함된용액이담겨지는제1 용기, 제1 용기에서타겟물질을포획하는스트립, 스트립에포획된타겟물질을용리하기위한용액이담겨지는제2 용기및 제2 용기가안착되며제2 용기의용액에광을조사하는거치대를포함한다. 이에의해, 현장에서간단하고빠르게핵산을추출하고분석까지가능하게된다.
Abstract translation: 提供便携式分子诊断系统。 根据本发明实施例的诊断系统包括：第一容器，容纳含有目标材料的溶液;条带，捕获第一容器中的目标材料;第二容器，容纳用于洗脱捕获在条带中的目标材料的溶液; 2容器和用于保持第二容器并且将光照射到第二容器的溶液的保持器。 因此，可以在现场简单快速地提取核酸并进行分析。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101800515B1
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：KR1020150188462
申请日：2015-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L29/06 , G01D21/00 , H01L21/8238 , H01L21/02 , H01L27/04
Abstract: 본발명의일실시예는, 나노와이어센서의제조공정과 CMOS 회로의제조공정을통합하여, 하나의기판상에나노와이어센서및 CMOS 회로를동시에집적함으로써, 제조공정이간단하고, 잡음성능이개선되며, 신뢰성이향상되는 CMOS 회로가집적된나노와이어센서칩의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明的一个实施例中，通过集成在生产过程的生产步骤和纳米线传感器的CMOS电路和通过集成纳米线传感器，并在同一时间在一个衬底上的CMOS电路，和制造工艺被简化，从而提高噪声性能 并且提供一种制造纳米线传感器芯片的方法，所述纳米线传感器芯片与具有提高的可靠性的CMOS电路集成。
-
公开(公告)号：KR1020170112440A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：KR1020160039482
申请日：2016-03-31
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: B01L7/00 , C12N15/1003 , C12Q1/6806 , C12Q1/6844 , C12Q2531/119 , G01N15/14 , G06Q50/10 , G08C17/02
Abstract: 휴대용분자진단시스템이제공된다. 본발명의실시예에따른진단시스템은, 타겟물질이포함된용액이담겨지는제1 용기, 제1 용기에서타겟물질을포획하는스트립, 스트립에포획된타겟물질을용리하기위한용액이담겨지는제2 용기및 제2 용기가안착되며제2 용기의용액에광을조사하는거치대를포함한다. 이에의해, 현장에서간단하고빠르게핵산을추출하고분석까지가능하게된다.
-
公开(公告)号：KR1020160139731A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：KR1020150075129
申请日：2015-05-28
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 질량감지센서에관한것으로,상기와같은기술적과제를해결하기위해, 본발명의일실시예에따른질량감지센서는기준센서를포함한하나이상의측정센서를포함하는 QCM 센서어레이; 상기기준센서와다른측정센서간의주파수차이를비교하는주파수비교부; 및상기주파수비교부의출력값을전압으로변환하는주파수전압변환부를포함할수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020160138669A
公开(公告)日：2016-12-06
申请号：KR1020150072804
申请日：2015-05-26
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/26 , G01N27/30 , G01N27/327
Abstract: 다종의바이오마커를측정할수 있는프로브및 이를적용한플랫폼이제공된다. 본발명의실시예에따른프로브는, 카운터전극이장착되고, 기준전극이장착되며, 적어도하나의작업전극들이선택적으로장착가능하다. 하나의프로브에다수의작업전극들을장착할수 있어, 측정작업을효율적이고빠르게수행할수 있으며, 작업전극이기준전극및 카운터전극과구분되므로, 소형화할필요가없어, 전극제작이용이하고, 미세구동장비가필요없으며, 전극물질도입측면에서도편의성이증대된다.
-
140.发明授权
公开(公告)号：KR101647346B1
公开(公告)日：2016-08-23
申请号：KR1020130168413
申请日：2013-12-31
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/30 , G01N27/333 , C23C14/00
Abstract: 본발명은타겟물질분석용금속전극, 이를포함하는타겟물질분석용센서및 면역크로마토그래피분석센서에대한것으로, 다공성멤브레인(membrane) 내부에스퍼터링(sputtering) 방법으로증착된금속성분을포함하여이루어진금속섬유멤브레인을타겟물질분석용금속전극으로이용하는것이특징이다. 이러한본 발명은다공성멤브레인내부에금속을증착시킴으로서표면적대 부피비가극대화된전극을제조할수 있고, 대면적다공성멤브레인에금속을증착시킨후 절단하는것만으로도간단하고용이하게전극을제조할수 있으며, 다공성멤브레인을기반으로하기때문에멤브레인의측류(lateral flow)를이용하는 LFA 진단스트립에서다양하게응용가능한효과가있다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
158
records
(took 0.026 seconds)
