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公开(公告)号：WO2020075889A1
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：PCT/KR2018/012009
申请日：2018-10-12
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/414 , H01L51/05
Abstract: 본 발명은 가스 분자 검출 센서 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 가스 분자 검출 센서는, 가스 분자를 흡착하는 센싱 영역; 센싱 영역 아래에 배치되어, 센싱 영역에 상기 가스 분자가 흡착될 경우, 전하량이 변하게 되는 플로팅 게이트; 플로팅 게이트 아래에 배치되어, 플로팅 게이트의 전하량이 변하게 될 경우, 전계효과에 따라 저항이 변화하는 나노 전계효과 트랜지스터 채널; 및 나노 전계효과 트랜지스터 채널 아래에 배치되어, 게이트 전극을 제어하는 기판 게이트를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2014042418A1
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：PCT/KR2013/008204
申请日：2013-09-11
Applicant: 주식회사 아이엠헬스케어 , 전자부품연구원
IPC: G01N27/414
CPC classification number: G01N27/4145 , G01N27/4146
Abstract: 본 발명의 고감도 FET 기반 바이오 센서는, 기판, 상기 기판 상에 형성되는 절연층, 상기 절연층 상에 일정한 두께로 형성되고, 양측의 소스-드레인 영역, 및 상기 소스-드레인 영역을 연결하는 감지 채널 영역을 포함하는 박막 패턴, 및 상기 소스-드레인 영역 상에 각각 오믹 접합을 형성하는 소스-드레인 전극을 포함하고, 상기 박막 패턴은 p형 이고, 상기 소스-드레인 영역은 중심 영역과 주변 영역을 포함하고, 상기 중심 영역은 상기 주변 영역의 p형보다 상대적으로 고농도의 p+형인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 금속 전극과 접촉하는 실리콘 영역을 고농도로 도핑함으로써, n채널과 p채널에서 모두 온 커런트가 개선될 수 있다. 또한 바이오 센서가 앰비폴러로 작동함으로써, 채널 변화에 관계없이 작동되는 노이즈에 의한 전계 효과와 구별될 수 있다.
Abstract translation: 本发明的高灵敏度的基于FET的生物传感器包括：基板; 形成在所述基板上的绝缘层; 形成在绝缘层上的，具有恒定厚度并且包括其两侧的源极和漏极区域以及连接源极和漏极区域的检测沟道区域的薄膜图案; 以及用于在源极和漏极区域上分别形成欧姆结的源极和漏极，其中薄膜图案是ap型，源极和漏极区包括中心区域和周围区域，并且中心区域是p + 类型比p型周围区域的密度要高。 根据本发明，由于与金属电极接触的硅区域以高密度被掺杂，所以在n沟道和p沟道都可以改善导通电流。 此外，生物传感器操作为双极性，从而与由于噪声而产生的场效应区分开，无论频道变化如何，都可以进行操作。
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公开(公告)号：WO2021045365A1
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：PCT/KR2020/008574
申请日：2020-07-01
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명의 제1 실시예에 따른 압력센서는, 베이스 기재, 상기 베이스 기재의 상면과 하면을 관통하도록 형성되는 관통홀 및 상기 관통홀을 통과하는 전도사가 포함된 전도사센서를 포함한다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 전도사와 베이스 기재의 구조적인 결합을 통해 압력센서를 구현함으로써, 최근들어 웨어러블한 다양한 플렉서블한 소재의 적용에 설계자유도를 효과적으로 높일 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：WO2015156475A1
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：PCT/KR2014/011375
申请日：2014-11-25
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/414
CPC classification number: G01N27/414
Abstract: FET 이온센서 및 이를 이용한 시스템이 개시된다. 반도체로 구성된 채널 및 상기 채널의 상부에 배치되는 게이트 절연체층을 포함하는 본 발명의 FET 이온센서는, 이온분자가 상기 채널의 표면에 흡착되는 것에 의해 상기 게이트 절연체층이 대전되어, 상기 채널의 전기전도도가 변경된다.
Abstract translation: 公开了一种场效应晶体管（FET）离子传感器和使用其的系统。 本发明的FET离子传感器包括由半导体形成的沟道和设置在沟道顶部的栅极绝缘层，其中离子分子吸附到沟道的表面，从而允许栅极绝缘层带电 使得通道的电导率改变。
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公开(公告)号：WO2013032049A1
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：PCT/KR2011/006483
申请日：2011-08-31
IPC: H01L29/73 , H01L21/331 , H01L27/04
CPC classification number: H01L29/7613 , B82Y10/00 , G01N27/4146 , H01L27/0629 , H01L29/0673
Abstract: 신뢰성 높은 실리콘 나노와이어 소자가 제안된다. 제안된 실리콘 나노와이어 소자는 제1도전형 실리콘 기판과 제1도전형 실리콘 기판 상에 이격되어 형성되되, 양단이 제1도전형 실리콘 기판과 연결된 제2도전형 나노와이어를 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及具有高可靠性的硅纳米线器件。 硅纳米线器件包括：第一导电型硅衬底; 以及第二导电型纳米线，其形成在第一导电型硅基板上以彼此分离，并且其两端连接到第一导电型硅基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2011078594A3
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：PCT/KR2010/009251
申请日：2010-12-23
IPC: H04R17/00
Abstract: 본 발명은 나노와이어를 이용하는 압저항 방식의 마이크로폰 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱부인 실리콘 나노와이어가 중앙부에 형성되어 있고, 상기 나노와이어 하부 실리콘 몸체는 식각되어 있는 제 1 기판; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 제 1 기판 상에 형성된 전극층; 상기 제 1 기판 상에 형성되고, 상기 전극층을 노출시키는 구조로 코팅되어 있는 멤브레인 막; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 기판 상의 멤브레인 막에 형성되는 접착층; 상기 접착층 상에 부착되며, 상기 전극 및 중앙 센싱부가 외부로 노출되도록 식각된 제 2 기판을 포함하는 나노와이어를 이용한 압저항 방식의 마이크로폰에 관한 것이다.
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公开(公告)号：WO2020116743A1
公开(公告)日：2020-06-11
申请号：PCT/KR2019/010455
申请日：2019-08-19
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/416 , G01N27/327 , G01N33/543 , G01N33/58 , C12Q1/42
Abstract: 본 발명은 전기화학신호 측정원리로 혈액, 배뇨, 타액 등 체액에 포함된 바이오마커를 검출하는 전기화학식 바이오 센서의 측정방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전기화학식 바이오 센서를 이용한 체외 진단기기에서 시간전류법 또는 시간전하법으로 측정함에 있어서 측정의 정확성 및 재현성을 개선할 수 있는 전기화학식 바이오 센서의 측정방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 바이오마커를 측정하기 위한 전기화학식 바이오 센서를 시간전류법 또는 시간전하법으로 측정함에 있어서, 전극을 측정용액에 담그고 일정시간 전극에 전압을 걸어주지 않은 후 전하값을 측정하거나 일정시간 전압을 걸어준 후 전류값을 측정함으로써 측정의 정확성 및 재현성을 개선할 수 있는 우수한 효과가 있다.
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公开(公告)号：WO2011078595A2
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：PCT/KR2010/009252
申请日：2010-12-23
CPC classification number: G01L9/0042 , H04R19/016
Abstract: 본 발명은 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1 채널 마이크로폰 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱부인 실리콘 나노와이어가 중앙부에 형성되어 있는 제 1 기판; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 제 1 기판 상에 형성된 전극층; 상기 제 1 기판 상에 형성되고, 상기 전극층을 노출시키는 구조로 코팅되어 있는 멤브레인 막; 상기 멤브레인 막 상에 형성되고, 상기 전극층 및 센싱부에 대응되는 부분은 사진식각공정을 통해 제거된 플렉서블 기판; 및 상기 중앙 센싱부의 멤브레인 막이 드러날 때까지 마모된 제 1 기판 하부에 형성되고, 상기 센싱부에 진공 또는 기준압력을 위한 캐비티 형성을 위해 부착된 캡을 포함하는 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1채널 마이크로폰의 제조방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及使用柔性基板的压力传感器以及使用该方法的5.1声道麦克风的制造方法。 更具体地，本发明涉及使用柔性基板的压力传感器和使用其的5.1声道麦克风的制造方法，其中压力传感器包括：形成有作为感测单元的硅纳米线的中心的第一基板 ; 形成在第一基板上的电极层，由感测单元分成两部分; 膜，其形成在所述第一基板上，并且被涂覆到用于暴露所述电极层的结构中; 柔性基板，其形成在膜上，其部分对应于电极层和感测单元，其中所述部分通过光刻工艺去除; 以及形成在第一基板下方并且被磨损直到感测单元的膜被暴露的盖，以便在感测单元中形成用于真空或参考压力的空腔。
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公开(公告)号：KR102083421B1
公开(公告)日：2020-03-02
申请号：KR1020180051873
申请日：2018-05-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N33/574 , G01N33/543 , G01N27/327
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