Abstract:
본 발명은 가스 분자 검출 센서 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 가스 분자 검출 센서는, 가스 분자를 흡착하는 센싱 영역; 센싱 영역 아래에 배치되어, 센싱 영역에 상기 가스 분자가 흡착될 경우, 전하량이 변하게 되는 플로팅 게이트; 플로팅 게이트 아래에 배치되어, 플로팅 게이트의 전하량이 변하게 될 경우, 전계효과에 따라 저항이 변화하는 나노 전계효과 트랜지스터 채널; 및 나노 전계효과 트랜지스터 채널 아래에 배치되어, 게이트 전극을 제어하는 기판 게이트를 포함한다.
Abstract:
본 발명의 고감도 FET 기반 바이오 센서는, 기판, 상기 기판 상에 형성되는 절연층, 상기 절연층 상에 일정한 두께로 형성되고, 양측의 소스-드레인 영역, 및 상기 소스-드레인 영역을 연결하는 감지 채널 영역을 포함하는 박막 패턴, 및 상기 소스-드레인 영역 상에 각각 오믹 접합을 형성하는 소스-드레인 전극을 포함하고, 상기 박막 패턴은 p형 이고, 상기 소스-드레인 영역은 중심 영역과 주변 영역을 포함하고, 상기 중심 영역은 상기 주변 영역의 p형보다 상대적으로 고농도의 p+형인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 금속 전극과 접촉하는 실리콘 영역을 고농도로 도핑함으로써, n채널과 p채널에서 모두 온 커런트가 개선될 수 있다. 또한 바이오 센서가 앰비폴러로 작동함으로써, 채널 변화에 관계없이 작동되는 노이즈에 의한 전계 효과와 구별될 수 있다.
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본 발명의 제1 실시예에 따른 압력센서는, 베이스 기재, 상기 베이스 기재의 상면과 하면을 관통하도록 형성되는 관통홀 및 상기 관통홀을 통과하는 전도사가 포함된 전도사센서를 포함한다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 전도사와 베이스 기재의 구조적인 결합을 통해 압력센서를 구현함으로써, 최근들어 웨어러블한 다양한 플렉서블한 소재의 적용에 설계자유도를 효과적으로 높일 수 있는 효과가 있다.
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FET 이온센서 및 이를 이용한 시스템이 개시된다. 반도체로 구성된 채널 및 상기 채널의 상부에 배치되는 게이트 절연체층을 포함하는 본 발명의 FET 이온센서는, 이온분자가 상기 채널의 표면에 흡착되는 것에 의해 상기 게이트 절연체층이 대전되어, 상기 채널의 전기전도도가 변경된다.
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본 발명은 나노와이어를 이용하는 압저항 방식의 마이크로폰 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱부인 실리콘 나노와이어가 중앙부에 형성되어 있고, 상기 나노와이어 하부 실리콘 몸체는 식각되어 있는 제 1 기판; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 제 1 기판 상에 형성된 전극층; 상기 제 1 기판 상에 형성되고, 상기 전극층을 노출시키는 구조로 코팅되어 있는 멤브레인 막; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 기판 상의 멤브레인 막에 형성되는 접착층; 상기 접착층 상에 부착되며, 상기 전극 및 중앙 센싱부가 외부로 노출되도록 식각된 제 2 기판을 포함하는 나노와이어를 이용한 압저항 방식의 마이크로폰에 관한 것이다.
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본 발명은 전기화학신호 측정원리로 혈액, 배뇨, 타액 등 체액에 포함된 바이오마커를 검출하는 전기화학식 바이오 센서의 측정방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전기화학식 바이오 센서를 이용한 체외 진단기기에서 시간전류법 또는 시간전하법으로 측정함에 있어서 측정의 정확성 및 재현성을 개선할 수 있는 전기화학식 바이오 센서의 측정방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 바이오마커를 측정하기 위한 전기화학식 바이오 센서를 시간전류법 또는 시간전하법으로 측정함에 있어서, 전극을 측정용액에 담그고 일정시간 전극에 전압을 걸어주지 않은 후 전하값을 측정하거나 일정시간 전압을 걸어준 후 전류값을 측정함으로써 측정의 정확성 및 재현성을 개선할 수 있는 우수한 효과가 있다.
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본 발명은 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1 채널 마이크로폰 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱부인 실리콘 나노와이어가 중앙부에 형성되어 있는 제 1 기판; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 제 1 기판 상에 형성된 전극층; 상기 제 1 기판 상에 형성되고, 상기 전극층을 노출시키는 구조로 코팅되어 있는 멤브레인 막; 상기 멤브레인 막 상에 형성되고, 상기 전극층 및 센싱부에 대응되는 부분은 사진식각공정을 통해 제거된 플렉서블 기판; 및 상기 중앙 센싱부의 멤브레인 막이 드러날 때까지 마모된 제 1 기판 하부에 형성되고, 상기 센싱부에 진공 또는 기준압력을 위한 캐비티 형성을 위해 부착된 캡을 포함하는 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1채널 마이크로폰의 제조방법에 관한 것이다.