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公开(公告)号：WO2014042418A1
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：PCT/KR2013/008204
申请日：2013-09-11
Applicant: 주식회사 아이엠헬스케어 , 전자부품연구원
IPC: G01N27/414
CPC classification number: G01N27/4145 , G01N27/4146
Abstract: 본 발명의 고감도 FET 기반 바이오 센서는, 기판, 상기 기판 상에 형성되는 절연층, 상기 절연층 상에 일정한 두께로 형성되고, 양측의 소스-드레인 영역, 및 상기 소스-드레인 영역을 연결하는 감지 채널 영역을 포함하는 박막 패턴, 및 상기 소스-드레인 영역 상에 각각 오믹 접합을 형성하는 소스-드레인 전극을 포함하고, 상기 박막 패턴은 p형 이고, 상기 소스-드레인 영역은 중심 영역과 주변 영역을 포함하고, 상기 중심 영역은 상기 주변 영역의 p형보다 상대적으로 고농도의 p+형인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 금속 전극과 접촉하는 실리콘 영역을 고농도로 도핑함으로써, n채널과 p채널에서 모두 온 커런트가 개선될 수 있다. 또한 바이오 센서가 앰비폴러로 작동함으로써, 채널 변화에 관계없이 작동되는 노이즈에 의한 전계 효과와 구별될 수 있다.
Abstract translation: 本发明的高灵敏度的基于FET的生物传感器包括：基板; 形成在所述基板上的绝缘层; 形成在绝缘层上的，具有恒定厚度并且包括其两侧的源极和漏极区域以及连接源极和漏极区域的检测沟道区域的薄膜图案; 以及用于在源极和漏极区域上分别形成欧姆结的源极和漏极，其中薄膜图案是ap型，源极和漏极区包括中心区域和周围区域，并且中心区域是p + 类型比p型周围区域的密度要高。 根据本发明，由于与金属电极接触的硅区域以高密度被掺杂，所以在n沟道和p沟道都可以改善导通电流。 此外，生物传感器操作为双极性，从而与由于噪声而产生的场效应区分开，无论频道变化如何，都可以进行操作。
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公开(公告)号：WO2011078595A2
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：PCT/KR2010/009252
申请日：2010-12-23
CPC classification number: G01L9/0042 , H04R19/016
Abstract: 본 발명은 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1 채널 마이크로폰 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱부인 실리콘 나노와이어가 중앙부에 형성되어 있는 제 1 기판; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 제 1 기판 상에 형성된 전극층; 상기 제 1 기판 상에 형성되고, 상기 전극층을 노출시키는 구조로 코팅되어 있는 멤브레인 막; 상기 멤브레인 막 상에 형성되고, 상기 전극층 및 센싱부에 대응되는 부분은 사진식각공정을 통해 제거된 플렉서블 기판; 및 상기 중앙 센싱부의 멤브레인 막이 드러날 때까지 마모된 제 1 기판 하부에 형성되고, 상기 센싱부에 진공 또는 기준압력을 위한 캐비티 형성을 위해 부착된 캡을 포함하는 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1채널 마이크로폰의 제조방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及使用柔性基板的压力传感器以及使用该方法的5.1声道麦克风的制造方法。 更具体地，本发明涉及使用柔性基板的压力传感器和使用其的5.1声道麦克风的制造方法，其中压力传感器包括：形成有作为感测单元的硅纳米线的中心的第一基板 ; 形成在第一基板上的电极层，由感测单元分成两部分; 膜，其形成在所述第一基板上，并且被涂覆到用于暴露所述电极层的结构中; 柔性基板，其形成在膜上，其部分对应于电极层和感测单元，其中所述部分通过光刻工艺去除; 以及形成在第一基板下方并且被磨损直到感测单元的膜被暴露的盖，以便在感测单元中形成用于真空或参考压力的空腔。
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公开(公告)号：WO2015156475A1
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：PCT/KR2014/011375
申请日：2014-11-25
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/414
CPC classification number: G01N27/414
Abstract: FET 이온센서 및 이를 이용한 시스템이 개시된다. 반도체로 구성된 채널 및 상기 채널의 상부에 배치되는 게이트 절연체층을 포함하는 본 발명의 FET 이온센서는, 이온분자가 상기 채널의 표면에 흡착되는 것에 의해 상기 게이트 절연체층이 대전되어, 상기 채널의 전기전도도가 변경된다.
Abstract translation: 公开了一种场效应晶体管（FET）离子传感器和使用其的系统。 本发明的FET离子传感器包括由半导体形成的沟道和设置在沟道顶部的栅极绝缘层，其中离子分子吸附到沟道的表面，从而允许栅极绝缘层带电 使得通道的电导率改变。
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公开(公告)号：WO2013032049A1
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：PCT/KR2011/006483
申请日：2011-08-31
IPC: H01L29/73 , H01L21/331 , H01L27/04
CPC classification number: H01L29/7613 , B82Y10/00 , G01N27/4146 , H01L27/0629 , H01L29/0673
Abstract: 신뢰성 높은 실리콘 나노와이어 소자가 제안된다. 제안된 실리콘 나노와이어 소자는 제1도전형 실리콘 기판과 제1도전형 실리콘 기판 상에 이격되어 형성되되, 양단이 제1도전형 실리콘 기판과 연결된 제2도전형 나노와이어를 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及具有高可靠性的硅纳米线器件。 硅纳米线器件包括：第一导电型硅衬底; 以及第二导电型纳米线，其形成在第一导电型硅基板上以彼此分离，并且其两端连接到第一导电型硅基板。
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公开(公告)号：WO2011078594A3
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：PCT/KR2010/009251
申请日：2010-12-23
IPC: H04R17/00
Abstract: 본 발명은 나노와이어를 이용하는 압저항 방식의 마이크로폰 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱부인 실리콘 나노와이어가 중앙부에 형성되어 있고, 상기 나노와이어 하부 실리콘 몸체는 식각되어 있는 제 1 기판; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 제 1 기판 상에 형성된 전극층; 상기 제 1 기판 상에 형성되고, 상기 전극층을 노출시키는 구조로 코팅되어 있는 멤브레인 막; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 기판 상의 멤브레인 막에 형성되는 접착층; 상기 접착층 상에 부착되며, 상기 전극 및 중앙 센싱부가 외부로 노출되도록 식각된 제 2 기판을 포함하는 나노와이어를 이용한 압저항 방식의 마이크로폰에 관한 것이다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101845139B1
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：KR1020150188463
申请日：2015-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/107 , H01L31/02 , H01L31/0392 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/035227 , H01L27/0248 , H01L27/1443 , H01L31/022408 , H01L31/028 , H01L31/107 , H01L31/1804 , H01L31/1864
Abstract: 본발명은실리콘(Si)으로형성되는제1 실리콘나노와이어, 상기제1 실리콘나노와이어의일면에, 제1 도펀트가도핑되어형성되는제1 도전성영역, 및상기제1 실리콘나노와이어의일면에, 상기제1 도전성영역으로부터길이방향으로연속하도록, 상기제1 도펀트와상이한도전형을갖는제2 도펀트가도핑되어형성되는제2 도전성영역을포함하며, 상기제1 실리콘나노와이어는양단에인가되는역전압의크기가기설정된항복전압이상인경우, 외부로부터의광 입사에의한내부전류의애벌런치증배가발생하는발생하는실리콘나노와이어를이용한애벌런치포토다이오드를제공한다.
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公开(公告)号：KR101761128B1
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：KR1020160047189
申请日：2016-04-18
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N21/6402 , G01N21/6458 , G02B27/141 , G02B27/30
Abstract: 본발명의일 실시예에따른바이오센서용형광광학계는여기광을출력하는광원, 상기광원에서출력되는여기광을평행광으로만드는콜리메이팅렌즈, 상기여기광을측정시료상에결상시키는대물렌즈, 상기여기광에의해상기측정시료에서발생되는형광을측정하는광검출기, 상기광원으로부터출력되는여기광을반사하여상기대물렌즈로진행시키고, 상기측정시료에서발생되는형광을투과하여상기광검출기로진행시키는제1빔스플리터, 및상기빔스플리터와상기광검출기사이에배치되고, 상기형광을상기광검출기상에결상시키는결상렌즈를포함할수 있다.
Abstract translation: 用于根据本发明的一个实施例的生物传感器的荧光光学系统的物镜被成像在光源上，准直透镜使从光源输出的激发光为平行光，激发测量光样品到输出的激发光， 以反映用于测量由从样品中产生的激发光的荧光的激发光的光检测器进行测量，这是从光源输出，然后进到物镜，通过从待测量的样本产生的荧光发射进入光检测器 以及设置在分束器和光电探测器之间并在光电探测器上形成荧光图像的成像透镜。
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公开(公告)号：KR1020170078188A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：KR1020150188468
申请日：2015-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L27/146 , H01L29/06
CPC classification number: H04N5/374 , H01L27/14607 , H01L27/1461 , H01L27/14689 , H01L29/4916 , H01L31/022408 , H01L31/035227
Abstract: 본발명의나노와이어를이용한이미지센서는기판, 입사광을감지하여입사광의세기에따라크기가변화하는광전류를생성하는광검출소자, 광전류의발생여부및 크기에기초하여, 입사광의발생여부및 세기정보를포함하는광검출전류를출력하는신호처리모듈및 광검출소자와신호처리모듈을전기적으로연결하며, 광검출소자와신호처리모듈상에형성되는전극을포함하며, 광검출소자와상기신호처리모듈은동일한기판상에형성되며, 광검출소자는적어도하나이상의실리콘나노와이어로형성된다.
Abstract translation: 使用本发明的纳米线的图像传感器包括基板，检测入射光和光学检测的基础上，以产生一光电流，其大小是根据入射光强度chulsoja改变时，如果产生的光电流和大小，发生和强度信息入射光 和电连接所述光检测信号处理，用于输出当前的模块和光学检测chulsoja以及信号处理模块，包括，它包括一个在光学检测chulsoja以及信号处理模块，所述光学检测chulsoja和信号处理模块形成的电极是在同一基板 并且光电探测器由至少一个硅纳米线形成。
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