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公开(公告)号:TWI492906B
公开(公告)日:2015-07-21
申请号:TW099145799
申请日:2010-12-24
Applicant: 信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. , 信越石英股份有限公司 , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
Inventor: 每田繁 , MAIDA, SHIGERU , 大塚久利 , OTSUKA, HISATOSHI , 上田哲司 , UEDA, TETSUJI , 江崎正信 , EZAKI, MASANOBU
CPC classification number: G03F7/2008 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/36 , C03C3/06 , C03C2201/06 , G03F1/24
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132.摻雜二氧化鈦石英玻璃及其製造方法 TITANIA-DOPED QUARTZ GLASS AND MAKING METHOD 审中-公开
Simplified title: 掺杂二氧化钛石英玻璃及其制造方法 TITANIA-DOPED QUARTZ GLASS AND MAKING METHOD公开(公告)号:TW201134775A
公开(公告)日:2011-10-16
申请号:TW099145799
申请日:2010-12-24
Applicant: 信越化學工業股份有限公司 , 信越石英股份有限公司
CPC classification number: G03F7/2008 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/36 , C03C3/06 , C03C2201/06 , G03F1/24
Abstract: 本發明之摻雜二氧化鈦石英玻璃,其特徵在於:以900℃、100小時之熱處理所產生的OH基濃度之減少量為100ppm以下。若依本發明,可得到以900℃、100小時之熱處理所產生的OH基濃度之變化小,且適宜作為EUV光微影蝕刻用構件之摻雜二氧化鈦石英玻璃。
Abstract in simplified Chinese: 本发明之掺杂二氧化钛石英玻璃,其特征在于:以900℃、100小时之热处理所产生的OH基浓度之减少量为100ppm以下。若依本发明,可得到以900℃、100小时之热处理所产生的OH基浓度之变化小,且适宜作为EUV光微影蚀刻用构件之掺杂二氧化钛石英玻璃。
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133.含有二氧化矽之經過燒結的高純度粒狀材料 SINTERED, HIGH-PURITY GRANULAR MATERIAL CONTAINING SILICON DIOXIDE 失效
Simplified title: 含有二氧化硅之经过烧结的高纯度粒状材料 SINTERED, HIGH-PURITY GRANULAR MATERIAL CONTAINING SILICON DIOXIDE公开(公告)号:TW200918470A
公开(公告)日:2009-05-01
申请号:TW097124959
申请日:2008-07-02
Applicant: 贏創德固賽有限責任公司 EVONIK DEGUSSA GMBH
Inventor: 莫尼卡 奧斯沃 OSWALD, MONIKA , 克莉絲汀 舒瑟依斯佛 SCHULZE-ISFORT, CHRISTIAN , 凱伊 舒曼契爾 SCHUMACHER, KAI , 瑞夫 霍夫曼 HOFMANN, RALPH , 柯里那 奇斯納 KISSNER, CORINNA
CPC classification number: C03B19/1005 , C03C1/006 , C03C3/06 , C03C3/083 , C03C12/00 , C03C2201/06 , C03C2201/14 , C03C2201/28 , C03C2201/31 , C03C2201/32 , C03C2201/34 , C03C2201/40 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2203/20 , C04B35/14 , C04B35/62655 , C04B2235/72
Abstract: 一種用於製造經燒結的粒狀材料之方法,該經燒結的粒狀材料含有二氧化矽且具有小於1 m^2/g的BET表面積及小於50 ppm的雜質比例,其中含有二氧化矽粉末及金屬化合物的混合物係在具有10至100%相對環境溼度的環境中在0至50℃的溫度下藉由分散裝置徹底混合,該易碎體係分裂為多件,其後乾燥,純化且燒結。
Abstract in simplified Chinese: 一种用于制造经烧结的粒状材料之方法,该经烧结的粒状材料含有二氧化硅且具有小于1 m^2/g的BET表面积及小于50 ppm的杂质比例,其中含有二氧化硅粉末及金属化合物的混合物系在具有10至100%相对环境湿度的环境中在0至50℃的温度下借由分散设备彻底混合,该易碎体系分裂为多件,其后干燥,纯化且烧结。
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134.玻璃組成物與玻璃製品的製造方法 GLASS COMPOSION AND METHOD OF FABRICATING GLASS PRODUCTS 失效
Simplified title: 玻璃组成物与玻璃制品的制造方法 GLASS COMPOSION AND METHOD OF FABRICATING GLASS PRODUCTS公开(公告)号:TW200517352A
公开(公告)日:2005-06-01
申请号:TW093131624
申请日:2004-10-19
Applicant: 日本電氣硝子股份有限公司 NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD.
Inventor: 青木重明 AOKI, SHIGEAKI , 永井裕樹 NAGAI, HIROKI , 高木雅隆 TAKAGI, MASATAKA
IPC: C03C
CPC classification number: C03C3/00 , C03B5/16 , C03B5/193 , C03B5/235 , C03B2201/20 , C03C1/00 , C03C13/00 , C03C2201/06 , C03C2203/10 , C03C2203/52 , C03C2203/54
Abstract: 本發明的玻璃組成物是一種無機玻璃的玻璃組成物,在玻璃中所含的氦內,質量數為3的氦與質量數為4的氦之體積比^3He/^4He的值(0℃ 1atm)小於大氣中的^3He/^4He的值。另外,本發明的玻璃製品的製造方法是一種含有將玻璃原料加熱熔融製程,使得熔融玻璃均勻化的製程,使均勻化的熔融玻璃成為一定形狀的成形製程的玻璃製品製造方法,該方法使得玻璃中所含的氦達到一定的質量比,藉以製成本發明的玻璃製品。
Abstract in simplified Chinese: 本发明的玻璃组成物是一种无机玻璃的玻璃组成物,在玻璃中所含的氦内,质量数为3的氦与质量数为4的氦之体积比^3He/^4He的值(0℃ 1atm)小于大气中的^3He/^4He的值。另外,本发明的玻璃制品的制造方法是一种含有将玻璃原料加热熔融制程,使得熔融玻璃均匀化的制程,使均匀化的熔融玻璃成为一定形状的成形制程的玻璃制品制造方法,该方法使得玻璃中所含的氦达到一定的质量比,借以制成本发明的玻璃制品。
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