公开(公告)号：TWI492906B

公开(公告)日：2015-07-21

申请号：TW099145799

申请日：2010-12-24

Applicant: 信越化學工業股份有限公司 ,  SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. ,  信越石英股份有限公司 ,  SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.

Inventor： 每田繁 ,  MAIDA, SHIGERU ,  大塚久利 ,  OTSUKA, HISATOSHI ,  上田哲司 ,  UEDA, TETSUJI ,  江崎正信 ,  EZAKI, MASANOBU

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  G03F1/00

CPC classification number: G03F7/2008 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/36 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/06 ,  G03F1/24

公开(公告)号：TW201134775A

公开(公告)日：2011-10-16

申请号：TW099145799

申请日：2010-12-24

Applicant: 信越化學工業股份有限公司 ,  信越石英股份有限公司

Inventor： 每田繁 ,  大塚久利 ,  上田哲司 ,  江崎正信

IPC: C03B ,  C03C ,  G03F

CPC classification number: G03F7/2008 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/36 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/06 ,  G03F1/24

Abstract: 本發明之摻雜二氧化鈦石英玻璃，其特徵在於：以900℃、100小時之熱處理所產生的OH基濃度之減少量為100ppm以下。若依本發明，可得到以900℃、100小時之熱處理所產生的OH基濃度之變化小，且適宜作為EUV光微影蝕刻用構件之摻雜二氧化鈦石英玻璃。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之掺杂二氧化钛石英玻璃，其特征在于：以900℃、100小时之热处理所产生的OH基浓度之减少量为100ppm以下。若依本发明，可得到以900℃、100小时之热处理所产生的OH基浓度之变化小，且适宜作为EUV光微影蚀刻用构件之掺杂二氧化钛石英玻璃。

公开(公告)号：TW200918470A

公开(公告)日：2009-05-01

申请号：TW097124959

申请日：2008-07-02

Applicant: 贏創德固賽有限責任公司 EVONIK DEGUSSA GMBH

Inventor： 莫尼卡 奧斯沃 OSWALD, MONIKA ,  克莉絲汀 舒瑟依斯佛 SCHULZE-ISFORT, CHRISTIAN ,  凱伊 舒曼契爾 SCHUMACHER, KAI ,  瑞夫 霍夫曼 HOFMANN, RALPH ,  柯里那 奇斯納 KISSNER, CORINNA

IPC: C03B ,  C03C

CPC classification number: C03B19/1005 ,  C03C1/006 ,  C03C3/06 ,  C03C3/083 ,  C03C12/00 ,  C03C2201/06 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/20 ,  C04B35/14 ,  C04B35/62655 ,  C04B2235/72

Abstract: 一種用於製造經燒結的粒狀材料之方法,該經燒結的粒狀材料含有二氧化矽且具有小於1 m^2/g的BET表面積及小於50 ppm的雜質比例,其中含有二氧化矽粉末及金屬化合物的混合物係在具有10至100%相對環境溼度的環境中在0至50℃的溫度下藉由分散裝置徹底混合,該易碎體係分裂為多件,其後乾燥,純化且燒結。

Abstract in simplified Chinese: 一种用于制造经烧结的粒状材料之方法,该经烧结的粒状材料含有二氧化硅且具有小于1 m^2/g的BET表面积及小于50 ppm的杂质比例,其中含有二氧化硅粉末及金属化合物的混合物系在具有10至100%相对环境湿度的环境中在0至50℃的温度下借由分散设备彻底混合,该易碎体系分裂为多件,其后干燥,纯化且烧结。

公开(公告)号：TW200517352A

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：TW093131624

申请日：2004-10-19

Applicant: 日本電氣硝子股份有限公司 NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD.

Inventor： 青木重明 AOKI, SHIGEAKI ,  永井裕樹 NAGAI, HIROKI ,  高木雅隆 TAKAGI, MASATAKA

IPC: C03C

CPC classification number: C03C3/00 ,  C03B5/16 ,  C03B5/193 ,  C03B5/235 ,  C03B2201/20 ,  C03C1/00 ,  C03C13/00 ,  C03C2201/06 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54

Abstract: 本發明的玻璃組成物是一種無機玻璃的玻璃組成物，在玻璃中所含的氦內，質量數為3的氦與質量數為4的氦之體積比^3He／^4He的值(0℃ 1atm)小於大氣中的^3He／^4He的值。另外，本發明的玻璃製品的製造方法是一種含有將玻璃原料加熱熔融製程，使得熔融玻璃均勻化的製程，使均勻化的熔融玻璃成為一定形狀的成形製程的玻璃製品製造方法，該方法使得玻璃中所含的氦達到一定的質量比，藉以製成本發明的玻璃製品。

Abstract in simplified Chinese: 本发明的玻璃组成物是一种无机玻璃的玻璃组成物，在玻璃中所含的氦内，质量数为3的氦与质量数为4的氦之体积比^3He／^4He的值(0℃ 1atm)小于大气中的^3He／^4He的值。另外，本发明的玻璃制品的制造方法是一种含有将玻璃原料加热熔融制程，使得熔融玻璃均匀化的制程，使均匀化的熔融玻璃成为一定形状的成形制程的玻璃制品制造方法，该方法使得玻璃中所含的氦达到一定的质量比，借以制成本发明的玻璃制品。