公开(公告)号：CN107001108A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580062232.2

申请日：2015-09-09

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： D·C·布克班德 ,  李明军 ,  J·S·斯通 ,  P·坦登

IPC: C03B37/012 ,  C03B37/014

CPC classification number: C03B37/01453 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/014 ,  C03B37/0142 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01466 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/24 ,  C03B2207/66 ,  C03B2207/70 ,  G02B6/02 ,  G02B6/0281 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03638 ,  G02B6/0365

Abstract: 提供了一种方法，其包括：形成具有第一密度的低折射率凹槽区域；以大于第一密度的第二密度形成围绕凹槽区域的包含二氧化硅的内阻隔层(116a)；绕着第一阻隔层沉积基于二氧化硅的烟炱从而以小于第二密度的第三密度形成外包覆区域(114)；将芯棒(102)插入凹槽‑外包覆结构；以大于第三密度的第四密度在外包覆区域的外部部分中形成包含二氧化硅的外阻隔层(116b)；使含负掺杂剂的气体流动通过凹槽‑外包覆结构(110)从而用负掺杂剂掺杂凹槽区域，以及其中，阻隔层(116a，116b)减轻了负掺杂剂扩散进入外包覆区域(114)；以及对凹槽‑外包覆和芯棒进行固结。还提供了制造具有内外阻隔层的固结的凹槽‑外包覆结构的方法。

公开(公告)号：CN105431388A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201480045062.2

申请日：2014-07-22

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： S.奥赫斯 ,  K.贝克 ,  S.托马斯

IPC: C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03B19/1461 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2204/00 ,  G03F1/52 ,  G03F1/60

Abstract: 存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti3+离子导致该玻璃的棕色着色，由此使得玻璃的检测变得困难。已知通过足够高含量的OH基团确保Ti-掺杂石英玻璃中的Ti3+离子减少，有利于Ti4+离子，由此发生伴随着氢向外扩散的内氧化，或在低OH基团含量时，在玻璃化前需要氧气处理，所述氧气处理需要高处理温度和专用耐腐蚀炉并因此昂贵。为提供成本有利的生产在小于120重量ppm的羟基含量的同时在400纳米至1000纳米波长范围内具有至少70%的内透射率（10毫米样品厚度）的Ti-掺杂石英玻璃的方法，由基于火焰水解灰料沉积法出发本发明建议，在玻璃化之前对所述TiO2-SiO2灰料体施以包括用氮氧化物处理的调整处理。如此制得的Ti-掺杂石英玻璃的特征为Ti3+/Ti4+的比率

公开(公告)号：CN103958422A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201280058238.9

申请日：2012-09-28

Applicant: 原子能和替代能源委员会

Inventor： 塔雷克·法索拉 ,  吉勒斯·马钱德

IPC: C03B19/12 ,  C03B8/02 ,  C04B35/624 ,  C03B37/016

CPC classification number: C03B19/12 ,  B28B1/24 ,  B28B7/344 ,  B28B7/346 ,  B28B7/348 ,  B28B11/12 ,  C03B37/016 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/42 ,  C03C1/006 ,  C03C2203/26 ,  C04B35/14 ,  C04B35/16 ,  C04B35/624 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/6027 ,  C04B2235/606

Abstract: 本发明涉及一种用于制造由溶胶-凝胶溶液得到的构成材料制成的物件的方法，所述方法依次包括以下步骤：a)将所述溶胶-凝胶溶液引入至待制造的物件的模具中的步骤；b)使所述溶胶-凝胶溶液凝胶化的步骤；c)在所述模具中干燥在b)中得到的所述凝胶的步骤，通过该步骤，所述凝胶转化为上述物件的构成材料，其特征在于，所述模具由闭合的腔室组成并且包括适于使在步骤b)和/或步骤c)中形成的气体排出的材料。

公开(公告)号：CN103698974A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310585969.5

申请日：2008-06-06

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利

IPC: G03F7/00

CPC classification number: C03B19/1423 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明为用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在纳米压印光刻法中，在波长365nm具有最高为10%的内部透射率分布的掺杂二氧化钛的石英玻璃适合作为纳米压印模具使用。

公开(公告)号：CN102421713A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201080021096.X

申请日：2010-05-11

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  三森乔宏 ,  岩桥康臣 ,  小川朝敬

IPC: C03B25/00 ,  C03B27/012 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G03F1/22

CPC classification number: C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/52 ,  G03F1/24

Abstract: 本发明提供一种TiO2-SiO2玻璃体的制造方法，其包含如下工序：在将透明玻璃化后的TiO2-SiO2玻璃体的退火点设为T1(℃)时，将透明玻璃化后的玻璃体在从T1-90(℃)至T1-220(℃)的温度范围内保持120小时以上。

公开(公告)号：CN102219371A

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：CN201110092907.1

申请日：2011-04-13

Applicant: 德拉克通信科技公司

Inventor： I·米莉瑟维克 ,  M·J·N·范·斯特劳伦 ,  J·A·哈特苏克 ,  E·阿尔迪

IPC: C03B37/018 ,  C03B37/025

CPC classification number: C03B37/0183 ,  C03B37/01807 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42

Abstract: 本发明涉及一种内部气相沉积工艺。本发明涉及使用内部气相沉积工艺制造光纤用初级预制品的方法，所述方法包括以下步骤：i)设置具有供给侧和排出侧的中空玻璃基管，ii)由加热炉包围至少部分的中空玻璃基管，iii)将掺杂或未掺杂的玻璃形成气体经由中空玻璃基管的供给侧供给至所述中空玻璃基管的内部，iv)创建反应区，在所述反应区中创建条件以使玻璃沉积发生在中空玻璃基管的内部，和v)使反应区在位于中空玻璃基管的供给侧附近的换向点和位于中空玻璃基管的排出侧附近的换向点之间沿着中空玻璃基管的长度往复移动，其中，在至少部分步骤v)期间，当反应区沿排出侧的方向移动时，气体流包含第一浓度的含氟化合物。

公开(公告)号：CN102180595A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN201010625211.6

申请日：2010-12-24

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  上田哲司 ,  江崎正信

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/2008 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/36 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/06 ,  G03F1/24

Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。更具体地涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，该玻璃在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低，所述玻璃适合作为EUV光刻部件。

公开(公告)号：CN102067036A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980123604.2

申请日：2009-07-23

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 吉成俊雄 ,  安住美菜子 ,  木村幸泰

IPC: G03F1/14 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03B19/1469 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/42 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/50

Abstract: 本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。

公开(公告)号：CN1617001A

公开(公告)日：2005-05-18

申请号：CN200410083764.8

申请日：2004-10-19

Applicant: 奥普托内斯特公司 ,  光州科学技术院

Inventor： 韩元泽 ,  金伦贤 ,  安泰政

IPC: G02B6/134 ,  G02B6/13

CPC classification number: C03B37/01838 ,  C03B37/01433 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/42 ,  C03C13/046 ,  C03C25/601

Abstract: 本发明公开了一种制造掺杂还原的金属离子和/或稀土离子的光学纤维或光学设备的方法，包括步骤：在用于制造光学纤维或光学设备的基材中形成部分烧结细结构；在所选时间内将细结构浸入包含还原剂以及金属离子和稀土离子的掺杂溶液；干燥其中金属离子和/或稀有离子已被浸入的细结构；和加热该细结构使得细结构被烧结。

公开(公告)号：CN1099603C

公开(公告)日：2003-01-22

申请号：CN97113916.4

申请日：1997-06-20

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 冈村浩司 ,  武田惠子

IPC: G02B6/22 ,  C03B37/018 ,  C23C16/30

CPC classification number: G02B6/02042 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01838 ,  C03B37/01861 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/42 ,  C03B2203/29 ,  C03C13/045 ,  H01S3/06708 ,  H01S3/06729

Abstract: 一种光学放大纤维，它包括包层、位于包层内并含有Ge的第一纤芯、位于第一纤芯内并含有Er和Al的第二纤芯、以及位于第二纤芯内并含有Ge的第三纤芯。第二纤芯具有高于包层折射率的折射率，第一和第三纤芯具有的折射率各自都高于第二纤芯的折射率。由于具有高折射率的第三纤芯位于中央部分，因此能使模式场直径变小并由此改善泵浦光转换为信号光的效率。另外，由于第二纤芯含有Al作为放大带宽扩展元素，因此可保证足够宽的放大带宽。