含有光波导内嵌入式倾斜布拉格光栅的装置及光处理方法

    公开(公告)号:CN100345013C

    公开(公告)日:2007-10-24

    申请号:CN200510119553.X

    申请日:2005-11-18

    Inventor: 杨春 徐长青

    Abstract: 本发明的一般(或广泛、广义)特征是一个光学装置,该装置中有一个光波导,该光波导中有一个倾斜光栅使得至少部分光从导模耦合入一个或多个辐射光束。倾斜光栅辐射出的光被聚焦成中间像平面上预定位置的中间像,中间像的位置取决于光波长以及光所耦合出的导模的有效折射率。本发明可以在中间像平面上放置一个空间光调制器用以控制光束的相位和(或)幅度。更为显著的是,本发明还包含了一个末级聚焦器件用以将从空间光调制器透过的光聚焦成局部区域内的末级像,从而使得光强提高,也就提高了探测的灵敏度,该末级聚焦器件可以是一个透镜。该发明还包含了一个光接收器,该光接收器可以是光纤或光探测器或用以探测末级像的光探测器阵列。

    含有光波导内嵌入式倾斜布拉格光栅的位置及光的处理方法

    公开(公告)号:CN1869747A

    公开(公告)日:2006-11-29

    申请号:CN200510119553.X

    申请日:2005-11-18

    Inventor: 杨春 徐长青

    Abstract: 本发明的一般(或广泛、广义)特征是一个光学装置,该装置中有一个光波导,该光波导中有一个倾斜光栅使得至少部分光从导模耦合入一个或多个辐射光束。倾斜光栅辐射出的光被聚焦成中间像平面上预定位置的中间像,中间像的位置取决于光波长以及光所耦合出的导模的有效折射率。本发明可以在中间像平面上放置一个空间光调制器用以控制光束的相位和(或)幅度。更为显著的是,本发明还包含了一个末级聚焦器件用以将从空间光调制器透过的光聚焦成局部区域内的末级像,从而使得光强提高,也就提高了探测的灵敏度,该末级聚焦器件可以是一个透镜。该发明还包含了一个光接收器,该光接收器可以是光纤或光探测器或用以探测末级像的光探测器阵列。

    微分数值孔径方法及装置
    138.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1224829C

    公开(公告)日:2005-10-26

    申请号:CN01816801.9

    申请日:2001-10-03

    CPC classification number: G01J3/02 G01J3/0229 G01N21/47 G01N2021/214

    Abstract: 本发明提供一种利用由可变照射或观测数值孔径或二者产生的入射角的测量结果用于样品微分数值孔径分析的方法和装置。其中所述装置包括:产生光束的光源;可变照射数值孔径部件,其在数值孔径范围内变化的同时获得用于确定参数的数据,改变数值孔径从而改变投射到样品上照射线的角度范围;可变观测数值孔径部件,其在数值孔径范围内变化的同时获得用于确定参数的数据,改变数值孔径从而改变接收来自样品的散射线的角度范围;以及第一检测系统,其定位成接收和表征通过可变观测数值孔径部件接收的光线。本发明提供的装置和方法能利用最少的活动件,通过可变数值孔径或者孔径在变化的投射或散射角度范围对样品的临界尺寸进行分析。

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