一种基于色散和频带宽压缩的飞秒激光和频光谱检测装置

    公开(公告)号:CN119354929A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411566113.8

    申请日:2024-11-05

    Applicant: 江汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于色散和频带宽压缩的飞秒激光和频光谱检测装置,激光器产生的飞秒红外激光分束为第一分束光和第二分束光,第一分束光转换为飞秒中红外光;第二分束光转换为皮秒绿光,皮秒绿光经过第一光阑后经行程调节反射单元与前述的倍频/差频模块产生的波长可调谐的飞秒中红外光同时聚焦到y切石英晶体的一点,y切石英晶体产生本征和频信号,本征和频信号经过石英玻璃片后与y切石英晶体出射的皮秒绿光、飞秒中红外光共同聚焦在待测样品表面的一点,产生样品和频信号,本征和频信号以及样品和频信号共线传入光谱仪中。本发明采用一种简单直接的光谱带宽压缩方法,显著降低了复杂性,压缩了绿光的光谱带宽,实现了和频光谱的检测。

    一种EML TO-CAN元器件测试系统及方法
    132.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119354492A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411457402.4

    申请日:2024-10-18

    Inventor: 李爽 张友刚

    Abstract: 一种EML TO‑CAN元器件测试系统及方法,系统包括:测试板、多模光纤、光谱仪、测高探头以及测试平台,待测品EML TO‑CAN插接于测试板上;所述测高探头用于在测试平台的控制下移动到待测品EML TO‑CAN上方,测量待测品EML TO‑CAN的TO帽的高度值;所述光谱仪用于通过多模光纤与待测品EML TO‑CAN进行光耦合,以测量待测品EML TO‑CAN的光谱数据;所述测试平台用于通过光谱仪读取光谱数据,同时读取Z轴高度值,通过Z轴高度值和TO帽高度值,计算出焦距,完成待测品光谱数据和焦距性能测试。

    基于滤波式光谱仪的光谱测量方法、设备、系统及介质

    公开(公告)号:CN119354332A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411507570.X

    申请日:2024-10-28

    Inventor: 马杰 姚春晖

    Abstract: 本申请公开了一种基于滤波式光谱仪的光谱测量方法、设备、系统及介质,光谱仪包括级联的光学滤波器和测量模块,光学滤波器包括一个定向耦合器、通过光波导交叉级联的至少三个微环谐振腔以及设置于各微环谐振腔之上的相位调制器,相邻两个微环谐振腔之间的二阶环长差最小值与预设的光谱仪扫描带宽之间满足预设条件,根据各微环谐振腔的FSR长度、预设的目标波长重构量以及预设的重构算法确定出各微环谐振腔对应的相位调制量,将入射光源输入至光学滤波器并将确定出的各相位调制量分别输入至相应的相位调制器,各相位调制器分别根据各相位调制量对经过相应微环谐振腔的光进行调制,获得测量模块根据光学滤波器的输出光所确定出的光谱信息测量结果。

    用于非接触检测半导体衬底温度的拉曼光谱方法和装置

    公开(公告)号:CN110779633B

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN201911093693.2

    申请日:2019-11-11

    Inventor: 邵军 王炜 陈熙仁

    Abstract: 本发明公开一种用于非接触检测半导体衬底温度的拉曼光谱方法和装置。该装置包括傅里叶变换红外光谱系统、红外激光器、联接红外激光激发和拉曼散射信号探测的外置耦合光路系统、用于安装样品和调节位置的多维调节架以及计算机数据处理程序。本发明基于上述设备,结合红外激光加热效应低、穿透深度大以及傅里叶变换红外光谱仪的高通量、多通道和快速测量优势,显著提高红外拉曼光谱的信噪比,有效提取半导体衬底的拉曼光谱特征,通过计算拉曼散射强度与温度的对应关系快速获取温度值,实现半导体结构衬底温度的非接触测试。通过对磷化铟衬底的测试表明,本发明方法是一种便捷可靠的半导体温度测试方法,非常适用于半导体器件材料的衬底温度检测。

    一种OCT测量系统及测量方法
    137.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119322030A

    公开(公告)日:2025-01-17

    申请号:CN202411457899.X

    申请日:2024-10-18

    Abstract: 本申请提供的OCT测量系统及测量方法,包括光源单元、参考臂光路单元、样品臂光路单元、光谱仪、预览相机及计算机,所述光源单元包括光源、光纤环形器及耦合器;所述参考臂光路单元包括第一准直器及反射镜;所述样品臂光路单元包括第二准直器扫描振镜、二向色镜、扫描透镜及样品台,本申请通过精确控制扫描振镜的扫描路径,实现光路方向的灵活调整,使光点能够在样本表面进行二维扫描,由于在扫描振镜与扫描透镜之间叠加一个长波通二向色镜,使预览相机的光路与OCT光路实现同轴,简化了系统结构,避免了预览相机视场受扫描振镜运动的限制,提高了测量的灵活性与测量效率。

    确定方法、装置、电子设备及存储介质

    公开(公告)号:CN119309675A

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202310867967.9

    申请日:2023-07-14

    Inventor: 谢俊

    Abstract: 本申请实施例提供一种确定方法,包括获取单色光的局部光谱的属性信息和复色光的局部光谱的属性信息;所述单色光是指仅包含一种波长的光;所述复色光是指包括至少两种波长的光;对所述单色光的局部光谱的属性信息和所述复色光的局部光谱的属性信息进行融合处理,得到目标属性信息;基于所述目标属性信息,确定重构矩阵;所述重构矩阵用于确定待测光源的全部光谱。本申请实施例还提供一种确定装置、电子设备和存储介质。

    用于光谱仪的等离子体源室

    公开(公告)号:CN113661387B

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202080027167.0

    申请日:2020-04-08

    Abstract: 一种用于光谱仪的等离子体源室(10),包含用于容纳等离子体源(31)的内壳体(11)和容纳所述内壳体的外壳体(12)。所述外壳体(12)包含在第一壁中的至少一个外进气口开口(21)以及在第二壁中的至少一个外排气口开口(22)。所述内壳体的壁和所述外壳体的壁界定了间隙(25),从而允许第一空气流(1)穿过所述内壳体和所述外壳体之间的所述间隙(25)从所述至少一个外进气口开口(21)到所述至少一个外排气口开口(22)。所述内壳体(11)包含在第一壁中的至少一个内进气口开口(23)和在第二壁中的至少一个内排气口开口(24),以允许第二空气流(2)穿过所述内壳体从所述至少一个内进气口开口到所述至少一个内排气口开口。因此,实现了对等离子体源室外表面的改进冷却。

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