公开(公告)号：TWI342473B

公开(公告)日：2011-05-21

申请号：TW095124937

申请日：2006-07-07

Applicant: MKS儀器公司

Inventor： 維特利J 布克曼 ,  湯瑪斯J 萊恩

IPC: G05D ,  B08B ,  H01L

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90 ,  G05D11/138 ,  Y10T137/0318

Abstract: 本發明係關於一種用於控制與一多腔室器具相關聯之臭氧濃度的改良系統及方法。該系統及方法包括與一臭氧產生器組合之一第一及一第二濃度控制器。該第一濃度控制器偵測一事件(EVENT)(意即，該多腔室器具之腔室之一者出現在線或離線)且相應地根據一預測控制演算法將一功率指令提供至該臭氧產生器。該第一濃度控制器具有一快速(意即，約1秒)回應時間。該第二濃度控制器在該EVENT期間自該臭氧產生器掩蔽，但另外在EVENT之後再過去一時間間隔之後控制該產生器。該第二濃度控制器具有一比第一濃度控制器慢之回應時間，然而該第二濃度控制器為該系統提供長期穩定性且可用於為預測控制演算法提供更新之資料。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种用于控制与一多腔室器具相关联之臭氧浓度的改良系统及方法。该系统及方法包括与一臭氧产生器组合之一第一及一第二浓度控制器。该第一浓度控制器侦测一事件(EVENT)(意即，该多腔室器具之腔室之一者出现在线或脱机)且相应地根据一预测控制算法将一功率指令提供至该臭氧产生器。该第一浓度控制器具有一快速(意即，约1秒)回应时间。该第二浓度控制器在该EVENT期间自该臭氧产生器掩蔽，但另外在EVENT之后再过去一时间间隔之后控制该产生器。该第二浓度控制器具有一比第一浓度控制器慢之回应时间，然而该第二浓度控制器为该系统提供长期稳定性且可用于为预测控制算法提供更新之数据。

公开(公告)号：TW521063B

公开(公告)日：2003-02-21

申请号：TW090122014

申请日：2001-09-05

Applicant: 歐勒納特股份有限公司

Inventor： 波吉斯頓 珍

IPC: C01B

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/70

Abstract: 一種臭氧發生器系統(1)，其中之複數個平板型式的臭氧發生器(2)彼此間係為接近地配置於塊件(3)中。每一臭氧發生器包含一室，其係藉由電暈放電將氧轉換為臭氧，每一室係配置有一氧或是富含氧之氣體的入口與一臭氧之出口。該臭氧發生器係配置在一塊件模組(26)中，其係藉由一塊件架加以固定。該塊件架包含一入口(5)係用於引入氧氣，以及一出口(6)用以將在塊件模組所包含之發生器內經由轉換所產生的臭氧排出。複數個第一導管(7)其中每一管線係連接該入口與一室之入口，以及複數個第二導管(8)中每一管線係連接該出口與一室之出口，該二導管係配置在該塊件架中。適當地配置該導管因此介於入口與出口間之流動距離具有相同之長度，不論所引入之氣體是否通過發生器，從而達成一均勻的氣體壓力與氣流通過發生器之平行連接裝置

Abstract in simplified Chinese: 一种臭氧发生器系统(1)，其中之复数个平板型式的臭氧发生器(2)彼此间系为接近地配置于块件(3)中。每一臭氧发生器包含一室，其系借由电晕放电将氧转换为臭氧，每一室系配置有一氧或是富含氧之气体的入口与一臭氧之出口。该臭氧发生器系配置在一块件模块(26)中，其系借由一块件架加以固定。该块件架包含一入口(5)系用于引入氧气，以及一出口(6)用以将在块件模块所包含之发生器内经由转换所产生的臭氧排出。复数个第一导管(7)其中每一管线系连接该入口与一室之入口，以及复数个第二导管(8)中每一管线系连接该出口与一室之出口，该二导管系配置在该块件架中。适当地配置该导管因此介于入口与出口间之流动距离具有相同之长度，不论所引入之气体是否通过发生器，从而达成一均匀的气体压力与气流通过发生器之平行连接设备

公开(公告)号：ZA7601523B

公开(公告)日：1977-03-30

申请号：ZA7601523

申请日：1976-03-12

Applicant: UNION CARBIDE CORP

Inventor： LOWTHER F

IPC: C01B13/11 ,  C01B ,  C07C

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/50 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/62 ,  C01B2201/70 ,  C01B2201/80

公开(公告)号：SE7603230A

公开(公告)日：1976-09-13

申请号：SE7603230

申请日：1976-03-12

Applicant: UNION CARBIDE CORP

Inventor： LOWTHER F E

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/50 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/62 ,  C01B2201/70 ,  C01B2201/80

公开(公告)号：NO760875A

公开(公告)日：1976-09-14

申请号：NO760875

申请日：1976-03-12

Applicant: UNION CARBIDE CORP

Inventor： LOWTHER F E

IPC: C01B13/10 ,  C01B

CPC classification number: C01B13/10 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/50 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/62 ,  C01B2201/70 ,  C01B2201/80

公开(公告)号：ZA7405072B

公开(公告)日：1975-08-27

申请号：ZA7405072

申请日：1974-08-08

Applicant: GRACE W R & CO

Inventor： LOWTHER F

IPC: B01J19/08 ,  C01B13/11 ,  C30B29/38 ,  H01T19/00 ,  H01T

CPC classification number: B01J19/088 ,  B01J2219/0849 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/70 ,  C01B2201/72 ,  C01B2201/76 ,  H01T19/00

公开(公告)号：NO742884A

公开(公告)日：1975-03-10

申请号：NO742884

申请日：1974-08-12

Applicant: GRACE W R & CO

Inventor： LOWTHER F E

IPC: B01J19/08 ,  C01B13/11 ,  C30B29/38 ,  H01T19/00 ,  C01B

CPC classification number: B01J19/088 ,  B01J2219/0849 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/70 ,  C01B2201/72 ,  C01B2201/76 ,  H01T19/00