公开(公告)号：KR101715481B1

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：KR1020150091230

申请日：2015-06-26

Applicant: 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 & 컴파니 케이지

Inventor： 벡커클라우스 ,  오크스슈테판 ,  토마스슈테판

IPC: G03F1/22 ,  G03F1/66 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B23/04 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B2201/06 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/50 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70316 ,  G03F7/7095

Abstract: EUV 리소그래피에서사용하기위한미러기판용의티타늄도핑실리카유리로이루어진블랭크및 그제조방법 EUV 리소그래피에서사용하기위한미러기판용의티타늄도핑실리카유리로이루어진블랭크에서, 광학적으로사용되는영역(CA)이관례대로(normally) 정의된다. CA 내에서, 열팽창계수(coefficient of thermal expansion; CTE)는블랭크의두께에걸쳐평균된 2차원 dCTE 분포프로파일을구비하는데, 이경우 CTE 최대값과 CTE 최소값사이의차이로서정의되는최대불균질성(dCTE)은 5 ppb/K 미만이다. 높은 CTE 불균질성값은티타늄이산화물농도의개별적으로적응된위치의존적조정을통해방지되는것이알려져있다. 비교적높은절대 CTE 불균질성값은사용동안발생하는조사(irradiation) 프로파일이원 대칭을나타내는경우에만수용될수 있다. 이로부터시작하여, 티타늄이산화물농도의개별적으로적응되는위치의존적인조정없이도비원형조사프로파일과함께사용하기위해설계되고적합된티타늄도핑실리카유리로만들어진블랭크를제조하기위해, 본발명에따르면, dCTE가적어도 0.5 ppb/K이고, CA가영역의도심을갖는비원형영역을형성하는것이제안되는데, dCTE 분포프로파일은회전대칭이아니며, 단위길이에대해정규화되고영역의도심을통해연장하는직선프로파일섹션이 0.5×dCTE미만의밴드폭)을갖는곡선밴드를형성하는곡선의 dCTE 패밀리를산출하도록, CA에걸쳐정의된다.

Abstract translation: 在由在空白使用的镜基板和制造该EUV光刻由在EUV光刻使用的镜基板的钛掺杂的二氧化硅玻璃的方法的一个玻璃的掺杂钛的氧化硅坯料，光学区域（CA）它被用于传送病人 通常定义。 在CA，热膨胀系数（热膨胀系数; CTE）的系数是最大凹凸（dCTE），其被定义为到提供二维dCTE分布轮廓平均在坯料的厚度，在这种情况下的差热膨胀系数的最大值和CTE最小值 5 ppb / K。 众所周知，通过单独调整氧化物浓度的位置相关调整，钛可以防止高CTE异质性值。 相对高的绝对CTE不均匀性值可以仅当在使用过程中发生的显示圆对称的照射（照射）简档被容纳。 由此出发，钛是由钛合金掺杂的二氧化硅玻璃的设计和适合于与比圆形照射轮廓使用而无需分别定位适于氧化物浓度依赖性调整的坯件的制造中，根据本发明，dCTE 本直的轮廓部上延伸至少0.5 ppb的/ K，并且haneungeot形成具有CA gayoung站的基座现在的非圆形区域不应该，dCTE分布曲线的中心不是旋转对称的，并归一化到单位长度区域 dCTE以产生一个家庭，形成具有小于0.5×dCTE的带宽的弯曲带曲线）时，在所述限定的CA.

公开(公告)号：KR101501301B1

公开(公告)日：2015-03-10

申请号：KR1020097025376

申请日：2008-04-22

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 브레디,마이클,디. ,  호토프,다니엘,더블유.

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/06 ,  C03B2207/52

Abstract: 본 발명은 유리 수트 시트 및 소결된 유리 시트를 제조하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 유리 수트 입자는 회전 트럼의 곡선 증착 표면 상에 증착되어 수트 시트를 형성한다. 상기 수트 시트는 그 이후에 상기 증착 표면으로부터 릴리즈 된다. 상기 수트 시트는 강화된 유리로 소결될 수 있다. 상기 수트 시트 및 상기 소결된 유리는 충분히 길고 탄성이 있어 롤(roll)로 권취될 수 있다.
유리 시트, 수트 시트, 수트 증착, 회전 드럼

公开(公告)号：KR1020150005767A

公开(公告)日：2015-01-15

申请号：KR1020130078447

申请日：2013-07-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤창번 ,  김상현 ,  박민정 ,  윤철수

IPC: C03C4/00 ,  C03C4/08 ,  C03C3/066 ,  H01L33/00

CPC classification number: F21V9/16 ,  C03B19/06 ,  C03B19/063 ,  C03B19/09 ,  C03B19/10 ,  C03B2201/06 ,  C03C3/066 ,  C09K11/025 ,  C09K11/54 ,  C09K11/65 ,  C09K11/703 ,  C09K11/7734 ,  F21K9/232 ,  F21K9/64 ,  F21V9/30 ,  F21W2101/10 ,  F21W2102/00 ,  H01L33/501 ,  H01L2933/0041

Abstract: 본 발명은, 제1 및 제2 전극구조를 구비하는 패키지 본체와, 상기 패키지 본체에 배치되며, 상기 제1 및 제2 전극구조와 연결된 반도체 발광소자와, 상기 반도체 발광소자로부터 생성된 광의 진행 경로 상에 위치하며, 파장변환물질과 유리 조성물을 갖는 혼합물의 소결체로 이루어지고, 상기 유리조성물은 ZnO-BaO-SiO
2 -P
2 O
5 -B
2 O
3 계 조성이며, Na
2 O, CaO, K
2 O 및 Li
2 O로 구성된 그룹에서 선택된 적어도 1종의 성분이 첨가되는 파장변환부재를 포함하는 반도체 발광장치를 제공한다.

Abstract translation: 本发明提供了一种半导体发光器件，其包括波长转换元件，至少一种组合物由Na2O，CaO，K2O和Li2O组成。 半导体发光器件包括：封装主体，其包括第一和第二电极结构; 半导体发光器件，其布置在封装主体中并连接到第一和第二电极结构; 以及位于由半导体发光元件制造的光的行进路径上的混合烧结体，并且包括波长转换材料和玻璃组合物。 玻璃组合物是基于ZnO-BaO-SiO 2 -P 2 O 5 -B 2 O 3的组合物。

公开(公告)号：TWI382001B

公开(公告)日：2013-01-11

申请号：TW097116558

申请日：2008-05-05

Applicant: 康寧公司 ,  CORNING INCORPORATED

Inventor： 米奇度納凡布來迪 ,  MICHAEL DONOVAN BRADY ,  帶尼華倫賀特 ,  DANIEL WARREN HAWTOF

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/06 ,  C03B2207/52

公开(公告)号：TW200911708A

公开(公告)日：2009-03-16

申请号：TW097116558

申请日：2008-05-05

Applicant: 康寧公司 CORNING INCORPORATED

Inventor： 米奇度納凡布來迪 MICHAEL DONOVAN BRADY ,  帶尼華倫賀特 DANIEL WARREN HAWTOF

IPC: C03B

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/06 ,  C03B2207/52

Abstract: 本發明提出的是製造玻璃粉塵薄片和燒結玻璃薄片的裝置和處理。將玻璃粉塵顆粒沉積在旋轉圓筒的曲線沉積表面上以形成粉塵薄片。然後將此粉塵薄片從沉積表面釋放。此粉塵薄片可以被燒結成固化玻璃。此粉塵薄片和燒結玻璃夠長且夠撓曲性可以捲成一捲。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提出的是制造玻璃粉尘薄片和烧结玻璃薄片的设备和处理。将玻璃粉尘颗粒沉积在旋转圆筒的曲线沉积表面上以形成粉尘薄片。然后将此粉尘薄片从沉积表面释放。此粉尘薄片可以被烧结成固化玻璃。此粉尘薄片和烧结玻璃够长且够挠曲性可以卷成一卷。

公开(公告)号：JP6211076B2

公开(公告)日：2017-10-11

申请号：JP2015519041

申请日：2013-06-25

Applicant: ヘレーウス クヴァルツグラース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト ,  Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG

Inventor： マリオ ズーフ ,  ゲアハート シェッツ ,  アンドレアス ラングナー

IPC: C03B20/00 ,  C01B33/146

CPC classification number: C09K11/7706 ,  C01B33/18 ,  C03B19/066 ,  C03C1/006 ,  C03C3/06 ,  C03C4/12 ,  C09K11/025 ,  C03B2201/06 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/06 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C03C3/061

公开(公告)号：JP6109244B2

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：JP2015127572

申请日：2015-06-25

Applicant: ヘレーウス クヴァルツグラース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト ,  Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG

Inventor： クラウス ベッカー ,  シュテファン オクス ,  シュテファン トーマス

IPC: C03B8/04 ,  G03F1/22 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03B23/04 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03C3/06 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70316 ,  G03F7/7095 ,  C03B2201/06 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/50

公开(公告)号：JP2010526748A

公开(公告)日：2010-08-05

申请号：JP2010507392

申请日：2008-04-22

Applicant: コーニング インコーポレイテッド

Inventor： ディー ブレイディー，マイケル ,  ダブリュ ホートフ，ダニエル

IPC: C03B8/04 ,  C03B20/00 ,  G02F1/1333

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/06 ,  C03B2207/52

Abstract: ガラススートシート及び焼結ガラスシートを作製するための装置及び方法。 ガラススート粒子が回転ドラムの湾曲堆積面（１０３）上に堆積されて、スートシートを形成する。 次いでスートシートが堆積面から剥離される。 スートシートは焼結して固結ガラスにすることができる。 スートシート及び焼結ガラスは巻き取られてロール（１１７）にされるに十分に長く、柔軟になり得る。

公开(公告)号：JP3868573B2

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：JP7280497

申请日：1997-03-11

Applicant: 株式会社フジクラ

Inventor： 邦治 姫野 ,  大一郎 田中 ,  富夫 畦蒜 ,  浩一 高橋

IPC: C03B37/027 ,  G02B6/00 ,  C03B37/075

CPC classification number: C03B37/075 ,  C03B2201/06 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/06

公开(公告)号：JPS59111940A

公开(公告)日：1984-06-28

申请号：JP22455283

申请日：1983-11-30

Applicant: Cselt Centro Studi Lab Telecom

Inventor： JIAKOMO ROOBA

IPC: C03B19/14 ,  C03B37/018 ,  G02B6/00

CPC classification number: C03B37/01869 ,  C03B2201/06 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31