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公开(公告)号:CN105271649B
公开(公告)日:2018-05-29
申请号:CN201510427428.9
申请日:2015-07-20
Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司
CPC classification number: C03B19/066 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B23/045 , C03B23/095 , C03B23/099 , C03B37/01446 , C03B37/01453 , C03B37/0146 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C13/045 , C03C2201/12 , C03C2201/32 , C03C2201/34 , C03C2201/36 , C03C2201/40 , C03C2201/42 , C03C2203/46
Abstract: 本发明涉及生产掺杂石英玻璃的方法。此外,本发明涉及根据所述方法能够获得的石英玻璃及其在光学领域中的应用,例如用作光学组件。
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公开(公告)号:CN105439441A
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201510614780.3
申请日:2015-09-24
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C21/007 , C03C23/00 , C03C23/007 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯,其在400nm-700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率,钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在,所述方法包括:(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2-SiO2烟灰体,(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体,(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体,和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯,所述玻璃具有10wt. ppm-100wt. ppm的平均OH含量和2,500wt. ppm-10,000wt. ppm的平均氟含量。
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公开(公告)号:CN105278006A
公开(公告)日:2016-01-27
申请号:CN201510360232.2
申请日:2015-06-26
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B23/04 , C03B19/066 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/06 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/10 , C03C2203/50 , G03F1/24 , G03F7/70316 , G03F7/7095
Abstract: 本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件,其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA,在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线,其具有小于5ppb/K的被定义为CTE最大值和CTE最小值之间的差的最大不均匀性dCTE最大,其特征在于,dCTE最大为至少0.5ppb/K,并且CA形成具有所述区域的形心的非圆形区域,其中所述dCTE分布曲线不是旋转对称的并在CA上对其限定,使得被归一化至单位长度并穿过所述区域的形心延伸的直的曲线段产生形成具有小于0.5×dCTE最大带宽的曲线带的dCTE曲线簇。
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公开(公告)号:CN102149648B
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN200980135067.3
申请日:2009-09-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor: 乙坂哲也
IPC: C03B37/018 , C03B37/014
CPC classification number: C03B37/01446 , C03B37/01237 , C03B37/0124 , C03B37/01426 , C03B37/0146 , C03B37/01466 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/31 , C03B2203/23 , C03B2203/24 , C03B2203/26 , C03B2207/50
Abstract: 本发明提供一种能够得到具有沟槽型折射率分布、传输损耗小、与标准单模光纤的连接损耗小、并且耐弯特性良好的光纤的光纤母材的制造方法。本发明的光纤母材的制造方法,用于制造至少包括纤芯、第一包层、和含氟的第二包层的光纤母材,该方法的特征在于,包括:准备具有纤芯和第一包层的初始母材的初始母材准备步骤;将玻璃原料供应给高频感应热等离子炬、合成玻璃微粒并使其沉积在母材上,来制作多孔中间玻璃母材的等离子沉积步骤;以及在含氟气氛中加热该多孔中间玻璃母材而使其玻璃化,来形成具有纤芯、第一包层和含氟的第二包层的中间玻璃母材的中间玻璃母材形成步骤。
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公开(公告)号:CN104159858A
公开(公告)日:2014-11-19
申请号:CN201280069472.1
申请日:2012-12-13
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/012 , C03B37/00 , C03C13/04
CPC classification number: C03B37/01815 , C03B37/01807 , C03B2201/075 , C03B2201/08 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/50 , C03B2207/90 , G02B6/02
Abstract: 具有:(1)热扩散工序,在该工序中使用平均粒径为小于或等于1mm直径的碱金属盐原料,将对该碱金属盐原料进行加热而生成的碱金属盐的蒸气与载气一起从石英类玻璃管的一个端侧向玻璃管的内部供给,利用在玻璃管的长度方向上相对移动的热源对玻璃管进行加热,使碱金属发生氧化反应而向玻璃管的内侧热扩散;(2)实芯化工序,在该工序中使该热扩散工序后的玻璃管实芯化而制作纤芯棒;(3)包层部附加工序,在该工序中在通过该实芯化工序制作出的纤芯棒的周围附加包层部。
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公开(公告)号:CN103003054A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201180034592.3
申请日:2011-07-06
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B29D11/00769 , B24B9/10 , B29C59/002 , B29C59/026 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C19/00 , C03C2201/42 , C03C2204/08 , G03F7/0002 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明涉及一种压印模具用含TiO2石英玻璃基材,具有主表面和侧面,其中,所述侧面的算术平均粗糙度(Ra)为1nm以下,所述侧面的10μm至1mm波长范围的凹凸的均方根(MSFR_rms)为10nm以下。
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公开(公告)号:CN102627400A
公开(公告)日:2012-08-08
申请号:CN201210023426.X
申请日:2012-02-02
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/014
CPC classification number: C03B37/01861 , C03B37/01228 , C03B37/01869 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/50
Abstract: 根据本发明的用于制备光纤预制件的方法包括:在使腐蚀气体流入二氧化硅基玻璃管的同时,使用在玻璃管的纵向上连续移动的热源对所述玻璃管进行加热,以腐蚀含有杂质的玻璃管内表面部分的腐蚀步骤。所述玻璃管的最高碱金属浓度为500原子ppm至20,000原子ppm,最高氯浓度为0原子ppm至1000原子ppm,并且最高氟浓度为0原子ppm至10,000原子ppm。在所述腐蚀步骤中,所述玻璃管的外表面的最高温度在1900℃至2250℃范围内,并且将加热时间设定为等于或少于由下式给定的时间,单位为分钟:
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公开(公告)号:CN101959820A
公开(公告)日:2011-01-26
申请号:CN200980106555.1
申请日:2009-02-26
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , C03B19/1415 , C03B2201/075 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/81 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃,当用作EUVL用曝光工具的光学部件时,在使用EUV光辐照时的范围内,其线性热膨胀系数基本为零,并具有极高的表面平滑度。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃,所述石英玻璃的TiO2含量为7.5至12质量%,线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内,并且条纹应力水平的标准偏差(σ)在至少一个面内的30mm×30mm的区域内为0.03MPa以下。
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公开(公告)号:CN101959812A
公开(公告)日:2011-01-26
申请号:CN200980106891.6
申请日:2009-02-27
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F7/70958 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃,其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时,在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零,并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃,所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下,氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上,并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。
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公开(公告)号:CN101891380A
公开(公告)日:2010-11-24
申请号:CN201010229123.4
申请日:2010-07-13
Applicant: 长飞光纤光缆有限公司
IPC: C03B37/018
CPC classification number: G02B6/0285 , C03B37/01211 , C03B37/014 , C03B37/0183 , C03B37/01892 , C03B37/02754 , C03B2201/02 , C03B2201/04 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/86 , C03B2203/23 , C03B2205/09 , C03B2205/14 , C03C13/045 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/31 , C03C2203/40 , G02B6/02395 , G02B6/0283 , G02B6/03633 , Y02P40/57
Abstract: 本发明涉及一种大尺寸光纤预制棒及其光纤的制造方法,以掺氟衬管作为基底管沉积各包层和芯层并熔缩成实心芯棒,然后将实心芯棒与套管组成预制棒,或者在实心芯棒表面再沉积外包层部分直接形成芯棒在拉丝塔上进行拉丝。也可以对预制棒或实心棒进行拉伸后再拉丝。拉丝过程中对光纤进行两层涂料的涂覆,得到高抗疲劳参数的弯曲不敏感的低水峰单模光纤。该制造方法的预制棒尺寸大,单根预制棒拉丝长度长,工艺较简单,成本较低,非常适合规模化生产。该方法制造的光纤具有低水峰的特性,同时具有极低的因弯曲而引起的光损耗,而且具有较高的抗疲劳参数,特别适合于光纤在小弯曲半径下的使用,如应用于光纤接入网(FTTx)或者小型化的光器件中。
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