公开(公告)号：US20080113174A1

公开(公告)日：2008-05-15

申请号：US12003353

申请日：2007-12-21

Applicant: Tatsuhiro Sato ,  Nobumasa Yoshida ,  Mamoru Endo

Inventor： Tatsuhiro Sato ,  Nobumasa Yoshida ,  Mamoru Endo

IPC: C03B19/00 ,  B32B18/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/09 ,  C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/40

Abstract: As a jig material to use under plasma reaction for producing semiconductors, the present invention provides a quartz glass having resistance against plasma corrosion, particularly corrosion resistance against fluorine-based plasma gases, and which is usable without causing anomalies to silicon wafers; the present invention furthermore provides a quartz glass jig, and a method for producing the same. A quartz glass containing 0.1 to 20 wt % in total of two or more types of metallic elements, said metallic elements comprising at least one type of metallic element selected from Group 3B of the periodic table as a first metallic element and at least one type of metallic element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, lanthanoids, and actinoids as a second metallic element, provided that the maximum concentration of each of the second metallic elements is 1.0 wt % or less.

Abstract translation: 作为制造半导体的等离子体反应中使用的夹具材料，本发明提供一种具有耐等离子体腐蚀性，特别是耐氟等离子体气体的耐腐蚀性的石英玻璃，可以在不引起硅晶片异常的情况下使用; 本发明还提供一种石英玻璃夹具及其制造方法。 含有0.1〜20重量％的两种以上金属元素的石英玻璃，所述金属元素包含选自元素周期表第3B族的至少一种金属元素作为第一金属元素和至少一种 金属元素选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素作为第二金属元素，条件是每个第二金属元素的最大浓度为1.0 wt％以下。

公开(公告)号：US07181116B2

公开(公告)日：2007-02-20

申请号：US11131927

申请日：2005-05-18

Applicant: George H. Sigel, Jr. ,  Daniel S. Homa

Inventor： George H. Sigel, Jr. ,  Daniel S. Homa

IPC: G02B6/02 ,  C03B37/18

CPC classification number: C03B37/01807 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/22 ,  C03B2207/81 ,  C03B2207/90 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54

Abstract: A preform for a low loss fiber optic cable and method and apparatus for fabricating such a preform is provided. The method includes providing AlCl3 and CVD precursors and locally doping CaCl3. Alkali and/or alkaline earth fluxing agents can be introduced. The alkali and/or alkaline earths are doped along with the aluminum into the silica glass core.

Abstract translation: 提供了一种用于低损耗光纤电缆的预成型件以及用于制造这种预制件的方法和装置。 该方法包括提供AlCl 3和CVD前体并局部掺杂CaCl 3。 可以引入碱和/或碱土助熔剂。 碱和/或碱土金属与铝一起掺入石英玻璃芯中。

公开(公告)号：US20050272588A1

公开(公告)日：2005-12-08

申请号：US11076944

申请日：2005-03-11

Applicant: Tatsuhiro Sato ,  Nobumasa Yoshida ,  Mamoru Endo

Inventor： Tatsuhiro Sato ,  Nobumasa Yoshida ,  Mamoru Endo

IPC: C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/09 ,  C03B19/14 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/09 ,  C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/40

Abstract: As a jig material to use under plasma reaction for producing semiconductors the present invention provides a quartz glass having resistance against plasma corrosion, particularly corrosion resistance against fluorine-based plasma gases, and which is usable without causing anomalies to silicon wafers; the present invention furthermore provides a quartz glass jig, and a method for producing the same. A quartz glass containing 0.1 to 20 wt % in total of two or more types of metallic elements, said metallic elements comprising at least one type of metallic element selected from Group 3B of the periodic table as a first metallic element and at least one type of metallic element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, lanthanoids, and actinoids as a second metallic element, provided that the maximum concentration of each of the second metallic elements is 1.0 wt % or less.

Abstract translation: 作为用于制造半导体的等离子体反应的夹具材料，本发明提供了具有耐等离子体腐蚀性，特别是耐氟基等离子体气体的耐腐蚀性的石英玻璃，其可以在不引起硅晶片异常的情况下使用; 本发明还提供一种石英玻璃夹具及其制造方法。 含有0.1〜20重量％的两种以上金属元素的石英玻璃，所述金属元素包含选自元素周期表第3B族的至少一种金属元素作为第一金属元素和至少一种 金属元素选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素作为第二金属元素，条件是每个第二金属元素的最大浓度为1.0 wt％以下。

公开(公告)号：US06970630B2

公开(公告)日：2005-11-29

申请号：US10154572

申请日：2002-05-23

Applicant: George H. Sigel, Jr. ,  Daniel S. Homa

Inventor： George H. Sigel, Jr. ,  Daniel S. Homa

IPC: C03B37/018 ,  C03C13/04 ,  G02B6/02

CPC classification number: C03B37/01807 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/22 ,  C03B2207/81 ,  C03B2207/90 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54

Abstract: A preform for a low loss fiber optic cable and method and apparatus for fabricating such a preform is provided. The method includes providing AlCl3 and CVD precursors and locally doping CaCl3. Alkali and/or alkaline earth fluxing agents can be introduced. The alkali and/or alkaline earths are doped along with the aluminum into the silica glass core.

Abstract translation: 提供了一种用于低损耗光纤电缆的预成型件以及用于制造这种预制件的方法和装置。 该方法包括提供AlCl 3和CVD前体并局部掺杂CaCl 3。 可以引入碱和/或碱土助熔剂。 碱和/或碱土金属与铝一起掺入石英玻璃芯中。

公开(公告)号：US20030147620A1

公开(公告)日：2003-08-07

申请号：US10299224

申请日：2002-11-19

Applicant: 3M Innovative Properties Company

Inventor： Mark T. Anderson ,  Craig R. Schardt ,  James R. Onstott ,  Kenton D. Budd

IPC: G02B006/00 ,  G02B006/16

CPC classification number: G02B6/03622 ,  C03B19/102 ,  C03B19/1065 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/29 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/067 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/0677 ,  H01S3/06775 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  Y02P40/57

Abstract: A germanium-free co-doped silicate optical waveguide in accordance with the present invention includes a core material comprising silica, and oxides of aluminum, lanthanum, erbium and thulium, wherein the concentration of Er is from 15 ppm to 3000 ppm; Al is from 0.5 mol % to 15 mol %; La is less than 2 mol %; and Tm is from 150 ppm to 10000 ppm. In an exemplary specific embodiment the concentration of Al is from 4 mol % to 10 mol %; and the concentration of Tm is from 150 ppm to 3000 ppm. The core may further include F. In an exemplary embodiment, the concentration of F is less than or equal to 6 mol %. The waveguide may be an optical fiber, a shaped fiber or other light-guiding waveguides. An amplifier according to the present invention includes the optical fiber described above.

Abstract translation: 根据本发明的无锗共掺杂硅酸盐光波导包括二氧化硅和铝，镧，铒和and的氧化物的核心材料，其中Er的浓度为15ppm至3000ppm; Al为0.5摩尔％〜15摩尔％。 La小于2mol％; Tm为150ppm〜10000ppm。 在一个示例性具体实施方案中，Al的浓度为4mol％至10mol％; Tm的浓度为150ppm〜3000ppm。 芯可以进一步包括F.在一个示例性实施方案中，F的浓度小于或等于6mol％。 波导可以是光纤，成形光纤或其他导光波导。 根据本发明的放大器包括上述光纤。

公开(公告)号：US20030147619A1

公开(公告)日：2003-08-07

申请号：US10299222

申请日：2002-11-19

Applicant: 3M Innovative Properties Company

Inventor： Mark T. Anderson ,  Craig R. Schardt ,  James R. Onstott ,  Kenton D. Budd

IPC: G02B006/00 ,  G02B006/16

CPC classification number: G02B6/03622 ,  C03B19/102 ,  C03B19/1065 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/29 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/067 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/0677 ,  H01S3/06775 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/2982

Abstract: A co-doped silicate optical waveguide having a core including silica, and oxides of aluminum, germanium, erbium and thulium. The composition concentrations are: Er from 15 ppm to 3000 ppm; Al from 0.5 mol % to 12 mol %; Tm from 15 ppm to 10000 ppm; and Ge from 1 mol % to 20 mol %. In a specific embodiment, the concentration of Er is from 150 ppm to 1500 ppm; Al is from 2 mol % to 8 mol %; and Tm is from 15 ppm to 3000 ppm. A boron-less cladding surrounds the core.

Abstract translation: 一种具有包括二氧化硅的芯和铝，锗，铒和and的氧化物的共掺杂硅酸盐光波导。 组成浓度为：从15ppm至3000ppm的Er; Al为0.5mol％至12mol％; Tm从15ppm到10000ppm; Ge为1mol％至20mol％。 在一个具体实施方案中，Er的浓度为150ppm至1500ppm; Al为2mol％至8mol％; Tm为15ppm〜3000ppm。 不含核的包层围绕着芯。

公开(公告)号：US20030076580A1

公开(公告)日：2003-04-24

申请号：US09933643

申请日：2001-08-21

Inventor： Matthew Julius Andrejco ,  Inger Pihl Byriel ,  Bera Palsdottir

IPC: H01S003/00

CPC classification number: H01S3/06708 ,  C03B2203/23 ,  C03C4/0071 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/1603 ,  H01S3/1608 ,  H01S2301/04 ,  H01S2302/00

Abstract: The specification describes rare earth doped fiber amplifier devices for operation in the extended L-band, i.e. at wavelengths from 1565 nm to above 1610 nm. High efficiency and flat gain spectra are obtained using a high silica based fiber codoped with Er, Al, Ge, and P and an NA of at least 0.15.

Abstract translation: 该说明书描述了用于在扩展的L波段中操作的稀土掺杂的光纤放大器装置，即在1565nm至1610nm的波长。 使用与Er，Al，Ge和P共掺杂的高二氧化硅基纤维和至少0.15的NA获得高效率和平增益光谱。

公开(公告)号：US20030026565A1

公开(公告)日：2003-02-06

申请号：US09934388

申请日：2001-08-21

Applicant: 3M Innovative Properties Company

Inventor： Mark T. Anderson ,  Craig R. Schardt ,  James R. Onstott ,  Lawrence J. Donalds ,  Alessandra O. Chiareli

IPC: G02B006/16

CPC classification number: G02B6/02009 ,  C03B37/01807 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/22 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C23/0095 ,  C03C25/104 ,  C03C25/1065 ,  C03C25/608 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/52 ,  G02B6/02285 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03655 ,  G02B6/03694 ,  G02B6/2551 ,  H01S3/06708 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/06754

Abstract: An optical article including a core; at least one cladding layer; and a narrow fluorine reservoir between the core and the cladding layer. The fluorine reservoir has a higher concentration of fluorine than either the cladding layer or the core. One particular embodiment includes a core including a halide-doped silicate glass that comprises approximately the following in cation-plus-halide mole percent 0.25-5 mol % Al2O3, 0.05-1.5 mol % La2O3, 0.0005-0.75 mol % Er2O3, 0.5-6 mol % F, 0-1 mol % Cl.

Abstract translation: 一种包括芯的光学制品; 至少一层包层; 以及在芯和包层之间的窄氟储存器。 氟储存器具有比包覆层或芯层更高的氟浓度。 一个具体实施方案包括包含卤化物掺杂的硅酸盐玻璃的核，其在阳离子加 - 卤化物摩尔百分比为0.25-5摩尔％Al 2 O 3，0.05-1.5摩尔％La 2 O 3，0.0005-0.75摩尔％Er 2 O 3，0.5-6 mol％F，0-1mol％Cl。

公开(公告)号：US20020157419A1

公开(公告)日：2002-10-31

申请号：US10137098

申请日：2002-05-01

Inventor： Rahul Ganguli ,  Enrico C.J. Westenberg

IPC: C03B008/02

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/12 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/26 ,  C03C2203/34

Abstract: An improved sol-gel process is disclosed for producing a synthetic silica glass article, in which a sol is formed having a silica loading as high as 34 to 40%. This high loading is achieved by introducing an aqueous colloidal silica suspension into a silicon alkoxide solution and slowly stirring the mixture together, during which time the mixture hydrolyzes and the colloidal suspension is broken down by chemical reaction. This produces a hydrolyzed sol incorporating a suspension of very fine aggregates of colloidal particles, having particle sizes less than about 10 microns. The need for a stabilizing agent and/or continuous ultra-sonicating or violently stirring the sol is eliminated.

Abstract translation: 公开了一种改进的溶胶 - 凝胶法，用于生产合成石英玻璃制品，其中形成具有高达34至40％的二氧化硅载量的溶胶。 通过将水性胶体二氧化硅悬浮液引入硅烷醇溶液中并缓慢搅拌混合物来实现该高负载，在此期间混合物水解，并且胶体悬浮液通过化学反应分解。 这产生了一种水合溶胶，其结合了非常细的胶体颗粒聚集体的悬浮液，其具有小于约10微米的粒度。 消除了对稳定剂和/或连续超声波或剧烈搅拌溶胶的需要。

公开(公告)号：US5937134A

公开(公告)日：1999-08-10

申请号：US908258

申请日：1997-08-07

Applicant: David John DiGiovanni

Inventor： David John DiGiovanni

IPC: G02B6/036 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  H01S3/06 ,  H01S3/067 ,  H01S3/07 ,  H01S3/094 ,  H01S3/10 ,  H01S3/30

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  H01S3/06708 ,  C03B2203/23 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/094003 ,  H01S3/094007

Abstract: The specification describes fiber laser devices with cores containing aluminum in which the composition of the core is modified to minimize the core .DELTA., thereby allowing a larger core diameter, and a reduction in the fiber laser length by a factor equal to the square of the diameter difference. This result is achieved by compensation doping the core with phosphorus to offset the index-modifying contribution of aluminum.

Abstract translation: 该说明书描述了具有包含铝的芯的光纤激光器件，其中芯的组成被修改以最小化芯DELTA，从而允许更大的芯直径，并且光纤激光器长度的减小等于直径的平方 区别。 这个结果是通过用磷补偿核来补偿铝的指数变化贡献来实现的。