平面被测对象的逐个像素光电测量装置

    公开(公告)号:CN1363826A

    公开(公告)日:2002-08-14

    申请号:CN01140227.X

    申请日:2001-12-06

    Inventor: 汉斯·奥特

    Abstract: 用于平面被测量对象的逐个像素光电测量的装置包括将被测对象成像在二维CCD传感器上的投影装置、设置在成像光路中的用于投射在图像传感器上的测量光的波长选择滤光的滤色片装置、处理由图像传感器产生的电信号并将其转换为相应的数字原始测量数据的信号处理装置以及用于把该原始测量数据处理成表示被测对象的各个像素颜色的图像数据的数据处理装置。此外,设置有照明装置,该照明装置包括在入射角基本上为45°±5°的条件下用至少一个主平行光束照射被测对象的一个菲涅耳透镜。包括至少一个构成为菲涅耳透镜的远程镜头的投影装置被构造为一个焦阑成像光学系统,该光学系统在基本上0°的相同观察角下并以最大为5°的相同孔径角将被测对象的每个点成像在光转换元件阵列上。数据处理装置进行大范围的校正测量。

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