평면도파관의제조를위한에어로졸방법

    公开(公告)号:KR100360290B1

    公开(公告)日:2003-01-24

    申请号:KR1019950038058

    申请日:1995-10-30

    Abstract: The manufacture of glass films on substrates involves the flame reaction of an aerosol comprised of droplets of a solution containing all the precursors for the glass. A solution containing the precursors for all oxide components is atomized, and the resulting droplets are reacted in a flame to form spherical glass particles which are deposited on a heated substrate. By moving the substrate through the flame, a homogeneous deposit is achieved. Subsequent heat treatment in a furnace sinters the porous particle layer into a clear glass. The method has been successfully employed for the formation of sodium borosilicate glass films on silicon substrates and rare earth-doped multicomponent glass films for active devices.

    Abstract translation: 在基底上制造玻璃膜包括由含有所有玻璃前体的溶液液滴组成的气溶胶的火焰反应。 将含有所有氧化物组分的前体的溶液雾化,并将所得的液滴在火焰中反应以形成沉积在加热的基材上的球形玻璃颗粒。 通过将基材移动通过火焰,获得均匀的沉积物。 随后在炉中的热处理将多孔颗粒层烧结成透明玻璃。 该方法已成功用于在硅衬底上形成硼硅酸钠玻璃膜和用于有源器件的稀土掺杂多组分玻璃膜。

    희토류 도핑된 광섬유용 프리폼들의 제조 방법
    152.
    发明公开
    희토류 도핑된 광섬유용 프리폼들의 제조 방법 有权
    用于生产用于稀土材料的光纤的预制件的方法

    公开(公告)号:KR1020010029627A

    公开(公告)日:2001-04-06

    申请号:KR1020000018588

    申请日:2000-04-10

    Abstract: PURPOSE: A method for producing preform for optical fiber doped with rare earth material is provided to accomplish high-efficient energy conversion, to control concentration of rare earth element and proper codopant independent on each other and to set combination of high level dopant to increase the energy conversion efficiency. CONSTITUTION: The method is to prepare preform of optical fiber doped with rare earth material by several steps comprising vaporization depositing porous silica soot layer onto surface of inner side of silica based substrate tube; making precipitation of the soot layer into a saturated solution containing at least one rare earth element and codopant element; drying the precipitated soot layer from the solution with stream of chlorine and inert gas; oxidizing the rare earth and codopant elements at the oxidation temperature to obtain oxides of both elements; and reclaiming the soot layer with glass layer.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于制造掺杂稀土材料的光纤预制棒的方法,以实现高效的能量转换,以控制稀土元素的浓度和适当的共掺杂剂彼此独立,并设置高浓度掺杂剂的组合以增加 能量转换效率。 方法:该方法是通过几步法制备掺杂稀土材料的光纤预成型体,包括将二氧化硅基底管内表面上的多孔二氧化硅烟灰层蒸发沉积; 使烟灰层沉淀成含有至少一种稀土元素和共掺杂元素的饱和溶液; 用氯和惰性气体流从溶液中干燥沉淀的烟灰层; 在氧化温度下氧化稀土和共掺杂元素,得到两种元素的氧化物; 并用玻璃层回收烟灰层。

    プラスマ耐食性に優れた石英ガラス及びその製造方法
    159.
    发明申请
    プラスマ耐食性に優れた石英ガラス及びその製造方法 审中-公开
    QUARTZ玻璃在等离子体耐腐蚀性及其制造方法中的应用

    公开(公告)号:WO2006038349A1

    公开(公告)日:2006-04-13

    申请号:PCT/JP2005/010605

    申请日:2005-06-09

    Abstract:  半導体製造に用いられるプラズマ反応用治具材料として、プラズマ耐食性、特にF系プラズマガスに対する耐食性に優れ、シリコンウエーファにも異常を与えないで使用可能な石英ガラス及び石英ガラス治具並びにそれらの製造方法を提供する。2種類以上の金属元素を併せて0.1~20wt%含有する石英ガラスであって、該金属元素が周期律表第3B族から選ばれた少なくとも1種類である第1の金属元素と、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、Ti、Zr、Hf、ランタノイド及びアクチノイドからなる群から選ばれた少なくとも1種類である第2の金属元素からなり、第2の金属元素の個々の最大濃度が、2.0wt%以下であるようにした。                                                                       

    Abstract translation: 作为半导体制造中用于等离子体反应的夹具材料的石英玻璃,具有优异的等离子体耐腐蚀性,特别是对F系等离子体气体的耐腐蚀性,可以在不引起硅晶片异常的情况下使用; 相关石英玻璃夹具; 以及生产它们的过程。 提供总量为0.1〜20重量%的两种以上金属元素的石英玻璃,其中金属元素由选自第3B族中的至少一种的第一金属元素构成 和由选自Mg,Ca,Sr,Ba,Sc,Y,Ti,Zr,Hf,镧系元素和锕系元素中的至少一种构成的第二金属元素,条件是最大浓度 的每个第二金属元素= 2.0重量%。

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