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公开(公告)号：CN102156322B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201110044043.6
申请日：2004-07-28
Applicant: 德拉卡纤维技术有限公司
Inventor： P·马西塞 , M·J·N·斯特拉伦 , M·P·M·杰坦 , G·-J·克拉舒伊斯
IPC: G02B6/028 , C03B37/025 , C03B37/027
CPC classification number: G02B6/02047 , C03B37/01807 , C03B2201/10 , C03B2201/12 , C03B2201/24 , C03B2201/28 , C03B2201/30 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2203/26 , G02B6/0281 , G02B6/0288 , G02B6/036
Abstract: 本发明涉及一种用于制造具有折射率分布的多模光纤的方法，其利用活性混合气体通过化学汽相沉积技术，使掺杂或非掺杂玻璃层沉积于基管内部，以获得精确地限定了折射率分布的预成型件，通过加热预成型件的一端从预成形件抽取多模光纤，至少一种折射率改变掺杂物的浓度在多模光纤的光导纤芯内调整，以使在光纤轴(r＝0)上的掺杂物的浓度低于光导纤芯区域的掺杂物的浓度。本发明还涉及一种具有折射率分布的多模光纤，包括由多种掺杂物形成的光导梯度折射率纤芯，其中，对多模光纤光导纤芯中至少一种折射率改变掺杂物的浓度进行调整，使得光纤轴(r＝0)上的掺杂物浓度低于光导纤芯范围中的掺杂物的浓度。
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公开(公告)号：CN102985378B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201180033912.3
申请日：2011-07-08
Applicant: 贺利氏石英英国有限公司
IPC: C03B19/14
CPC classification number: C03B19/1492 , C03B19/1438 , C03B19/1453 , C03B19/1484 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/20 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2207/34 , C03B2207/52 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , Y02P40/57 , Y10T428/131
Abstract: 本文揭示了透明的合成玻璃质二氧化硅玻璃的空心锭，该空心锭的外径大于400毫米且内径大于300毫米。所述锭基本不含直径大于100微米的气泡和内含物，其任何单独的金属杂质的含量不超过100ppB，并且其含有的氯浓度小于5ppM。本文还揭示了制造此类锭的方法，在该方法中将密度大于0.4克/厘米3的多孔烟炱体沉积在耐氧化的心轴上。在真空条件下或在存在还原性气体的条件下在包含以下物质的心轴上使所述烟炱体脱水，所述物质包括石墨、碳纤维增强的碳、碳化硅、硅浸渍的碳化硅、碳化硅涂覆的石墨或玻璃质二氧化硅，然后在真空条件下或在氦气的气氛中烧结成透明的无孔玻璃。
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公开(公告)号：CN104995145A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201480009659.1
申请日：2014-02-19
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
Inventor： B.屈恩
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B32/00 , C03B32/02 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/24 , C03C4/04 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2203/54 , C03C2204/00 , G02B1/00 , G02B1/02 , Y02P40/57
Abstract: 本发明基于一种由合成石英玻璃制成的光学部件，所述光学部件用在借助193nm的应用波长的ArF准分子激光光刻中，所述光学部件具有基本上无氧缺陷位置的玻璃结构、具有在0.1x1016个分子/cm3至1.0x1018个分子/cm3的范围内的氢含量并且具有少于2x1017个分子/cm3的SiH基含量和具有在0.1wt.ppm和100wt.ppm之间范围内的羟基含量，其中玻璃结构具有小于1070℃的假定温度。为了基于在633nm的测量波长的情况下压实行为的测量在使用应用波长的UV激光辐射的情况下能够实现关于压实行为的可靠预测，提出光学部件的一种构型，其中，所述部件对利用波长为193nm、具有5x109个具有脉冲宽度为125ns并且能量密度分别为500μJ/cm2以及脉冲重复频率为2000Hz的脉冲的辐射的照射以激光诱导的折射率变化做出反应，所述折射率变化的量值在借助193nm的应用波长进行测量的情况下得出第一测量值M193nm并且在借助633nm的测量波长进行测量的情况下得出第二测量值M633nm，其中适用：M193nm/M633nm
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公开(公告)号：CN102219371B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201110092907.1
申请日：2011-04-13
Applicant: 德拉克通信科技公司
Inventor： I·米莉瑟维克 , M·J·N·范·斯特劳伦 , J·A·哈特苏克 , E·阿尔迪
IPC: C03B37/018 , C03B37/025
CPC classification number: C03B37/0183 , C03B37/01807 , C03B2201/12 , C03B2201/24 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/42
Abstract: 本发明涉及一种内部气相沉积工艺。本发明涉及使用内部气相沉积工艺制造光纤用初级预制品的方法，所述方法包括以下步骤：i)设置具有供给侧和排出侧的中空玻璃基管，ii)由加热炉包围至少部分的中空玻璃基管，iii)将掺杂或未掺杂的玻璃形成气体经由中空玻璃基管的供给侧供给至所述中空玻璃基管的内部，iv)创建反应区，在所述反应区中创建条件以使玻璃沉积发生在中空玻璃基管的内部，和v)使反应区在位于中空玻璃基管的供给侧附近的换向点和位于中空玻璃基管的排出侧附近的换向点之间沿着中空玻璃基管的长度往复移动，其中，在至少部分步骤v)期间，当反应区沿排出侧的方向移动时，气体流包含第一浓度的含氟化合物。
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公开(公告)号：CN102219372A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201110092930.0
申请日：2011-04-13
Applicant: 德拉克通信科技公司
Inventor： I·米莉瑟维克 , M·J·N·范·斯特劳伦 , J·A·哈特苏克 , E·阿尔迪 , E·A·库伊佩斯
IPC: C03B37/018 , C03B37/025
CPC classification number: C03B37/0183 , C03B37/01807 , C03B2201/12 , C03B2201/24 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/42
Abstract: 本发明涉及内部气相沉积工艺。本发明涉及光纤用初级预制品的制造方法，其使用内部气相沉积工艺，所述方法包括以下步骤：i)设置具有供给侧和排出侧的中空玻璃基管，ii)由加热炉包围至少部分所述中空玻璃基管，iii)将玻璃形成气体的掺杂或未掺杂的气体流经由中空玻璃基管的供给侧供给至中空玻璃基管的内部，iv)创建其中条件为使得玻璃的沉积发生在所述中空玻璃管的内部的反应区，和v)在所述中空玻璃基管的位于供给侧附近的换向点和位于排出侧附近的换向点之间沿中空玻璃基管的纵向往复移动反应区。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102985378A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201180033912.3
申请日：2011-07-08
Applicant: 贺利氏石英英国有限公司
IPC: C03B19/14
CPC classification number: C03B19/1492 , C03B19/1438 , C03B19/1453 , C03B19/1484 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/20 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2207/34 , C03B2207/52 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , Y02P40/57 , Y10T428/131
Abstract: 本文揭示了透明的合成玻璃质二氧化硅玻璃的空心锭，该空心锭的外径大于400毫米且内径大于300毫米。所述锭基本不含直径大于100微米的气泡和内含物，其任何单独的金属杂质的含量不超过100ppB，并且其含有的氯浓度小于5ppM。本文还揭示了制造此类锭的方法，在该方法中将密度大于0.4克/厘米3的多孔烟炱体沉积在耐氧化的心轴上。在真空条件下或在存在还原性气体的条件下在包含以下物质的心轴上使所述烟炱体脱水，所述物质包括石墨、碳纤维增强的碳、碳化硅、硅浸渍的碳化硅、碳化硅涂覆的石墨或玻璃质二氧化硅，然后在真空条件下或在氦气的气氛中烧结成透明的无孔玻璃。
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公开(公告)号：CN101426744B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200780013293.5
申请日：2007-09-04
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 , 信越石英株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03C4/20 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/3411 , C03C2201/3435 , C03C2203/10 , C03C2203/54
Abstract: 本发明始于用于半导体制造的已知石英玻璃元件，该元件至少在近表面区具有第一掺杂剂和第二氧化掺杂剂的共掺杂，所述第二掺杂剂含一种或多种浓度各为0.1～3wt％的稀土金属(以SiO2和掺杂剂的总质量为基准计算)。由此开始，为了提供用于在腐蚀作用环境中半导体制造的以高纯度和高耐干腐蚀著称并避免了由用氧化铝共掺杂所造成的已知缺点的石英玻璃元件，按照本发明建议：第一掺杂剂应是氮以及石英玻璃内亚稳定羟基的平均含量应小于30wtppm。
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公开(公告)号：CN102219371A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201110092907.1
申请日：2011-04-13
Applicant: 德拉克通信科技公司
Inventor： I·米莉瑟维克 , M·J·N·范·斯特劳伦 , J·A·哈特苏克 , E·阿尔迪
IPC: C03B37/018 , C03B37/025
CPC classification number: C03B37/0183 , C03B37/01807 , C03B2201/12 , C03B2201/24 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/42
Abstract: 本发明涉及一种内部气相沉积工艺。本发明涉及使用内部气相沉积工艺制造光纤用初级预制品的方法，所述方法包括以下步骤：i)设置具有供给侧和排出侧的中空玻璃基管，ii)由加热炉包围至少部分的中空玻璃基管，iii)将掺杂或未掺杂的玻璃形成气体经由中空玻璃基管的供给侧供给至所述中空玻璃基管的内部，iv)创建反应区，在所述反应区中创建条件以使玻璃沉积发生在中空玻璃基管的内部，和v)使反应区在位于中空玻璃基管的供给侧附近的换向点和位于中空玻璃基管的排出侧附近的换向点之间沿着中空玻璃基管的长度往复移动，其中，在至少部分步骤v)期间，当反应区沿排出侧的方向移动时，气体流包含第一浓度的含氟化合物。
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公开(公告)号：CN101681799A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880012300.4
申请日：2008-04-16
Applicant: 应用材料股份有限公司
IPC: H01L21/00
CPC classification number: C03C3/06 , C03B32/00 , C03B2201/24 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03C2201/3411 , C03C2201/36 , C03C2203/54 , H01L21/67069 , H01L21/68721 , H01L21/68735 , H01L21/68757 , Y02P40/57 , Y10S156/915
Abstract: 在此提供一种制造掺杂的石英组件的方法。在一实施例中，该掺杂的石英组件为掺杂钇的石英环，配置来支撑基板。在另一实施例中，该掺杂的石英组件为掺杂钇和铝的盖环。在又一实施例中，该掺杂的石英组件为含钇、铝和氮的盖环。
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公开(公告)号：CN1714053A
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN200380103744.6
申请日：2003-11-28
Applicant: 信越石英株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/20 , C03B2201/24 , C03C2201/02 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/26
Abstract: 本发明的第一目的在于，提供一种杂质较少且具有与天然石英玻璃同等以上的高温粘度特性，并且即使在高温气氛下也难以变形的合成石英玻璃的制造方法，特别是，不起泡且致密的高耐热性合成石英玻璃的制造方法。本发明的第二目的在于，提供容易由本发明的制造方法制得的高耐热性合成石英玻璃体，特别是不起泡、细密、具有高红外线吸收率及放出率，且具有极高的碱金属扩散防止效果的透明及黑色石英玻璃体。本发明是制造在245nm的吸收系数为0.05cm－1以上的高耐热性石英玻璃体的方法，其中对二氧化硅多孔体进行还原处理后进行烧成处理，获得致密玻璃体。
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