公开(公告)号：KR1020080015759A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：KR1020070082424

申请日：2007-08-16

Applicant: 웨이퍼마스터스, 인코퍼레이티드

Inventor： 유우식

IPC: G01J3/44

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/10 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/32 ,  G01J3/36 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65

Abstract: A spectroscopy system and a method thereof are provided to carry out both low and high resolution spectroscopy by including a monochromater and a spectrometer having zoom-in and zoom-out functions. A spectroscopy system comprises an optical system, a first detector, and a second detector. The optical system receives lights scattered from a first area of a sample surface in response to receiving lights of different excitation wavelengths and scatters the lights according to their wave lengths. The first detector is mounted on a first moveable detector mount. The second detector is mounted on a second moveable detector mount. The first moveable detector mount moves the first detector to a first position related to the first excitation wavelength. The second moveable detector mount moves the second detector to a second position related to the second excitation wavelength. The first detector is set to detect a part where the light from the first area is received on the sample surface in response to receiving the first excitation wavelength light. The second detector is set to detect a part where the light from the first area is received on the sample surface in response to receiving the second excitation wavelength light.

Abstract translation: 提供了一种光谱系统及其方法，通过包括具有放大和缩小功能的单色仪和光谱仪来执行低分辨率和高分辨率光谱。 光谱系统包括光学系统，第一检测器和第二检测器。 光学系统响应于不同激发波长的接收光接收从样品表面的第一区域散射的光，并根据其波长散射光。 第一个检测器安装在第一个可移动的检测器支架上。 第二检测器安装在第二可移动检测器支架上。 第一可移动检测器安装座将第一检测器移动到与第一激发波长有关的第一位置。 第二可移动检测器安装座将第二检测器移动到与第二激发波长有关的第二位置。 第一检测器被设置为响应于接收到第一激发波长的光而检测来自第一区域的光被接收在样品表面上的部分。 第二检测器被设置为响应于接收到第二激发波长的光而检测来自第一区域的光被接收在样品表面上的部分。

公开(公告)号：KR1020160117416A

公开(公告)日：2016-10-10

申请号：KR1020167017137

申请日：2015-02-03

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 요키노다카후미 ,  시바야마가츠미

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/04

CPC classification number: G01J3/021 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0264 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/04 ,  G01J3/18

Abstract: 분광기(1A)는, 광통과부(21) 및광 검출부(22)가마련된광 검출소자(20)와, 광통과부(21) 및광 검출부(22)와의사이에공간(S)이형성되도록광 검출소자(20)에고정된지지체(30)와, 지지체(30)에마련되며, 공간(S)에서, 광통과부(21)를통과한광(L1)을반사하는제1 반사부(11)와, 광검출소자(20)에마련되며, 공간(S)에서, 제1 반사부(11)에서반사된광(L1)을반사하는제2 반사부(12)와, 지지체(30)에마련되며, 공간(S)에서, 제2 반사부(12)에서반사된광(L1)을광 검출부(22)에대해서분광함과아울러반사하는분광부(40)를구비한다.

公开(公告)号：KR101563009B1

公开(公告)日：2015-10-23

申请号：KR1020097001350

申请日：2008-06-09

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18

Abstract: 분광모듈을후면(4b)의평행방향및 수직방향으로본체부(4)의이동을패키지(3)의내벽면(27, 29, 28)에의해규제한상태로, 패키지(3)에의해직접지지하는것에의해, 소형화를도모한경우에도분광모듈(2)을확실하게지지하는동시에, 패키지(3)의입사구(22a), 분광모듈(2)의분광부(6) 및광검출소자(7)끼리의위치정밀도를충분히확보한다. 또, 패키지(3)에리드(23)가매입된리드도출부(26)로도출및 지지하는것에의해, 와이어본딩에의해리드(23)와광검출소자(7)를전기적으로접속할때에, 패키지(3)의리드도출부(26) 자체에기대의역할을하게하여분광모듈(2)의파손이나어긋남등을방지한다.

Abstract translation: 通过背面平行方向的分光模块和（4b）中，在封装3 uinae壁（27，29，28）的主体部4，直接由封装件3支撑的垂直方向的运动的调节hansangtae 即使当尺寸减小并且同时包装3的入射孔22a，分光模块2的分光部分6， 是不够的。 当引线23通过释放并支撑埋在封装3中的引线23而通过引线键合与光检测罐7电连接时， 反射器3的引出部分26本身用作基座，由此防止分光模块2被损坏或移位。

公开(公告)号：KR101535533B1

公开(公告)日：2015-07-10

申请号：KR20150017329

申请日：2015-02-04

Applicant: NAT INST OF METEOROL RES

Inventor： OH YOUNG SUK ,  GOO TAE YOUNG ,  SHIN JIN HO ,  LEE JONG HO ,  CHUNG KYU SUN ,  HEO BOK HAENG

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/0262 ,  G01J3/027 ,  G01J3/0291

Abstract: 본발명은태양광을포함하는광을검출하여분석할수 있도록하는것에관한것으로, 더욱상세하게는대기를통과하는태양광을이용하여대기의상태및 특성에따라광자의차이를전기신호로표현하는기술이다. 이과정중 센서의광전자전도팁에빛이수직으로전달되게하여광자와광전자전도팁 물질의반응을최대로하고관측시 산란광등의영향을최소화하여, 입사되는광량변화에민감하게반응하고, 짧은시간에관측장비를조절할수 있도록하여관측정확도를현저히향상시킬수 있도록하였다. 이기술은대기상태에따른광자검출기및 광자검출기의광전자전도팁 제작방법에관한것으로, 상기대기상태에따른광자검출기는, 일측 단부에광유입구가형성되고, 상기광유입구에는수직방향에서일정각도범위의빛만을투과시키는투명창이구비되어, 산란광 등의노이즈광의유입을차단하도록밀폐되는케이스부; 상기케이스부의광유입구를통해유입된광에의해광전자를생성하여신호선부로이동시키는광전자전도팁을구비한광전변환부; 및상기광전변환부에결합되어, 상기광전변환부에서생성된광전자를분석을위해외부로출력하는신호선부;를포함하여구성되어, 광자검출기의측정정확도를향상시키고, 대기중 광을분석하는전체장치의구조및 크기를간소화시키는효과를제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种大气条件光子检测器和一种用于检测和分析包括阳光的光的光电头的制造方法，更具体地，涉及一种表示差异的大气条件光子检测器和光电尖端的制造方法 通过使用通过大气的阳光，取决于气氛的状况和特性的电信号中的光子。 根据本发明，光被垂直地传送到传感器的光电末端，以使光子和光电尖端材料之间的反应最大化，并且在观察期间最小化散射光等的影响。 因此，观察者可以敏感地反应光量的变化并且在短时间内调整观察设备，从而增加观察精度。 大气条件光子检测器包括：壳体单元，其具有形成在其一端的光进入开口和形成在入光口中的透明窗口，仅允许相对于垂直方向的预定范围内的光线被穿透，从而阻塞 散射光等噪声光的流入; 光转换单元，其包括所述光电末端，所述光电末端通过由所述光进入所述壳体部分的开口引入的光而产生光子，并将所述光子移动到信号线单元; 以及与光转换单元耦合的信号线单元，以输出在待分析的光转换单元中产生的光子。 本发明提供了提高光子检测器的测量精度的效果，并且简化了分析大气中的光的整个设备的结构和尺寸。

公开(公告)号：KR101520453B1

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：KR1020090010547

申请日：2009-02-10

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  연세대학교 산학협력단

Inventor： 이헌정 ,  채승기 ,  한재원 ,  오창훈

IPC: H01L21/205 ,  H05H1/24

CPC classification number: G02B21/0028 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/443

Abstract: 본발명은플라즈마용광학장치을제공한다. 이장치는플라즈마발생장치의윈도우를통하여대상영역에서방출되는광방출스펙스럼(optical emission spectrum)을수광하는수광렌즈, 수광렌즈와상기윈도우사이에배치되어아웃포커스(out focus)된광을차단하는제1 구경조리개(aperture stop), 수광렌즈와수광렌즈의결상영역사이에배치되어인 포커스광을차단하는제2 구경조리개, 및수광렌즈의결상영역에배치되고대상영역의촛점심도를제한하는핀 홀(pin hole)을포함한다.

公开(公告)号：KR1020110107761A

公开(公告)日：2011-10-04

申请号：KR1020110026347

申请日：2011-03-24

Applicant: 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤

Inventor： 오오꾸보가즈아끼 ,  다구찌구니까즈

IPC: G01J3/28 ,  G01N21/25 ,  G01J1/02

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0251 ,  G01J3/0254 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/10 ,  G01N21/255 ,  G01N21/59 ,  G01N2201/0655

Abstract: 광학 측정 장치는, 분광 측정기(50)와, 측정 대상의 광을 전반하기 위한 제1 광 파이버(20)와, 내벽에 광 확산 반사층(1a)을 갖는 반구부(1)와, 반구부의 개구부를 폐색하도록 배치된, 반구부의 내벽측에 경면 반사층(2a)을 갖는 평면부(2)를 포함한다. 평면부는, 제1 광 파이버를 통해 사출되는 광을 반구부와 평면부에 의해 형성되는 적분 공간 내로 유도하기 위한 제1 창(5)을 포함한다. 광학 측정 장치는, 적분 공간 내의 광을 평면부의 제2 창(6)을 통해 분광 측정기로 전반하기 위한 제2 광 파이버(30)를 더 포함한다.

公开(公告)号：KR1020110011593A

公开(公告)日：2011-02-08

申请号：KR1020107015307

申请日：2009-05-07

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/18 ,  G02B7/00

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G02B5/1814 ,  G02B5/1861 ,  G02B7/008

Abstract: 분광(分光)모듈(1)에서는 광검출소자(5)가 중간기판(81)에 실장(實裝)되어 있기 때문에, 기판(2)의 전면(2a)과 중간기판(81)과의 사이에 개재시킨 광학수지제(63)가 광검출소자(5)의 광통과구멍(50) 내에 진입하는 것이 방지된다. 따라서, 굴절이나 산란 등의 발생을 방지하여 기판(2) 및 분광부(4)에 광(L1)을 적절히 입사시킬 수 있다. 게다가, 중간기판(81)의 체적이 기판(2)의 체적보다도 작게 되어 있기 때문에, 중간기판(81)은 분광모듈(1)의 환경온도가 변화했을 때에 기판(2)보다도 광검출소자(5)에 가까운 상태에서 팽창·수축하게 된다. 따라서, 분광모듈(1)의 환경온도의 변화에 기인하여 광검출소자(5)의 범프(bump)접속이 파단되는 것을 광검출소자(5)가 기판(2)에 실장되는 경우에 비해 확실히 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020100017085A

公开(公告)日：2010-02-16

申请号：KR1020097001214

申请日：2008-06-05

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미 ,  요키노다카후미 ,  스즈키도모후미 ,  테이크만헬무트 ,  힐러디에트마르 ,  스탈케르울리치

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/04 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: In a spectroscopic module (1), a light absorption layer (6) having a light passing hole (6a) through which light (L1) travelling to a spectroscopic section (3) passes and a light passing hole (6b) through which light (L2) travelling to a light detecting section (4a) of a light detecting element (4) passes is integrally formed by patterning. Therefore, the displacement of the relative positional relationship between the light passing hole (6a) and the light passing hole (6b) can be prevented from occurring. Moreover, the light absorption layer (6) reduces the occurrence of stray light and absorbs the stray light, so that the stray light can be prevented from entering the light detecting section (4a) of the light detecting element (4). Accordingly, the spectroscopic module (1) enables improved reliability.

Abstract translation: 在分光模块（1）中，具有通过光通过孔（6a）的光通过孔（6a）的光吸收层（6）穿过光束（3）通过的光通过孔（6b） L2）行进到光检测元件（4）的光检测部分（4a）通过图案化一体地形成。 因此，可以防止光通过孔（6a）和光通过孔（6b）之间的相对位置关系的位移发生。 此外，光吸收层（6）减少杂散光的发生并吸收杂散光，从而可以防止杂散光进入光检测元件（4）的光检测部分（4a）。 因此，分光模块（1）能够提高可靠性。

公开(公告)号：KR100722897B1

公开(公告)日：2007-05-31

申请号：KR1020067021448

申请日：2003-07-24

Applicant: 올림푸스 가부시키가이샤

Inventor： 고미야,야스히로 ,  와다,도루 ,  곤노,오사무 ,  아지또,다께유끼 ,  나까무라,도모유끼

IPC: A61B5/00 ,  A61B5/02

CPC classification number: G01J3/32 ,  A61B5/0013 ,  A61B5/0088 ,  A61B5/02 ,  A61C13/0004 ,  A61C13/082 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0264 ,  G01J3/0272 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/10 ,  G01J3/463 ,  G01J3/50 ,  G01J3/501 ,  G01J3/508 ,  G01J3/51 ,  G01J3/513 ,  G01J3/524 ,  G06F19/00 ,  H04N5/2256 ,  H04N9/045 ,  H04N13/15 ,  H04N2209/043 ,  H04N2209/044

Abstract: 이 화상 처리 시스템은 치과용에 적용된 경우의 예로서, 환자(59)의 의치를 제작할 때에 촬영 장치(1A)에 의해 각각 서로 다른 파장의 복수의 조명광 LED를 발광시키면서 환자(59)의 치아부의 촬영을 행하여, 화상 데이터가 취득된다. 상기 화상 데이터는 처리 장치인 치과용의 파일링 시스템(2A)에 전달되고, 그곳에서 색재현 데이터가 연산에 의해 구해진다. 또한, 상기 색재현 데이터는 공중 회선을 통해 치과 기공소(55)에 송신된다. 거기서, 도재 배합비 계산 데이터베이스(56)를 검색하여, 환자(5)의 치아부의 색조와 합치하는 의치 도재의 배합 데이터가 구해지고, 환자(59) 치아의 색에 매우 가까운 의치가 제작된다.
촬영 장치, 치아부 촬영, 색재현 데이터, 가시광역, 색조

公开(公告)号：KR101647857B1

公开(公告)日：2016-08-11

申请号：KR1020117004110

申请日：2009-09-08

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 와타나베모토유키 ,  이구치가즈야 ,  스즈키겐고

IPC: G01N21/64 ,  G01J3/02 ,  G01J3/44 ,  G01J3/443 ,  G01N21/63

CPC classification number: G01N21/645 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0267 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/4406 ,  G01J3/443 ,  G01N2201/0632 ,  G01N2201/065

Abstract: 시료(S)가내부에배치되는적분구(20)와, 시료(S)로부터의피측정광을분광하여파장스펙트럼을취득하는분광분석장치(30)와, 데이터해석장치(50)를구비하여분광측정장치(1A)를구성한다. 해석장치(50)는파장스펙트럼에서여기광에대응하는제1 대상영역및 시료(S)로부터의발광에대응하는제2 대상영역을설정하는대상영역설정부와, 시료(S)의발광양자수율을구하는시료정보해석부를가지며, 레퍼런스측정및 샘플측정의결과로부터발광양자수율의측정값Φ를구함과아울러, 레퍼런스측정에서의미광에관한계수β, γ를이용하여, Φ = βΦ+γ에의해서미광의영향을저감한발광양자수율의해석값Φ를구한다. 이것에의해, 분광기내에서발생하는미광의영향을저감하는것이가능한분광측정장치, 측정방법및 측정프로그램이실현된다.