干涉膜厚仪及反射率测量方法

    公开(公告)号:CN101995224A

    公开(公告)日:2011-03-30

    申请号:CN201010250005.1

    申请日:2010-08-04

    Inventor: 藤井史高

    CPC classification number: G01N21/274 G01J3/28 G01N21/55

    Abstract: 本发明提供一种干涉膜厚仪及反射率测量方法。本发明的干涉膜厚仪(100),可以省略每次测量检查工件的光反射率时都必须进行的附带测量(特别是测量校正试样),可以促进缩短测量时间及简化装置结构。在检测头(4)内部配置光反射率固定的内部反射机构(8),并且被该内部反射机构(8)反射的光被光检测器(2)接收,根据实际上光没有被导入状态下的光检测器(2)的输出值、使用实际上不反射光的黑试样时的所述光检测器(2)的输出值、使用光反射率已知的校正试样时的光检测器(2)的输出值以及使用作为测量对象的检查工件时的光检测器(2)的输出值,计算出所述检查工件的光反射率。

    用于极窄带宽激光发射光的光学带宽计

    公开(公告)号:CN100538258C

    公开(公告)日:2009-09-09

    申请号:CN200480019466.0

    申请日:2004-06-29

    Inventor: R·J·拉法克

    Abstract: 揭示了用于测量激光发射光的带宽的一种方法和装置,可包括:第一和第二波长敏感光学带宽检测器,分别提供表示第一参数的输出,该第一参数分别表示第一和第二带宽检测器测量的激光发射光的带宽,以及实际光谱计算装置,适合将这两个输出用作多变量线性方程式的一部分,该多变量线性方程式采用第一或第二带宽检测器专用的预定校准变量来计算第一实际带宽参数或第二实际带宽参数。第一实际带宽参数是最大值的某百分比上的光谱全宽(“FWXM”),而第二实际带宽参数是包含能量的某百分比的一部分(“EX”)。第一和第二带宽检测器是标准具,且输出可表示FWXM上各个标准具的光学输出的干涉条纹的干涉条纹宽度。预先计算的校准变量可分别从用第一和第二实际带宽参数的已知值来表示与校准输入光相关的检测器输出的三维曲线中导出。

    改进的带宽估算法
    158.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101111738A

    公开(公告)日:2008-01-23

    申请号:CN200480017992.3

    申请日:2004-06-14

    Inventor: R·J·拉法克

    Abstract: 揭示了一种测量激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计量方法与装置,包括:提供第一和第二输出的光学带宽监视器,第一输出代表指示激光器发射光带宽的第一参数,第二输出代表指示激光器发射光带宽的第二参数;和利用把第一和第二输出用作多变量方程组成部分以计算实际带宽参数的实际带宽计算装置,所述方程用光学带宽监视器专用的预定校正变量。该实际带宽参数包括激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)或谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。带宽监视器包括一标准具,第一输出代表该标准具在FWXM的光学输出的至少一个干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX’),第二输出代表第二FWX″M或EX″′中的至少一个,其中X≠X″,X’≠X″′。预算的校正变量用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出,与校正谱第一和第二输出的出现相关。实际带宽参数值从以下式算出:估算的实际带宽参数=K×W1+L×W2+M,其中W1=代表FWXM或EX’的第一测量输出,W2是代表FWX″M或EX″′的第二测量输出。该装置与方法可在激光面印术光源和/或集成电路石印机中实施。

    红外光谱辐射定标系统
    160.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101008584A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200710019551.2

    申请日:2007-01-13

    Abstract: 本发明公开了一种基于探测器红外光谱辐射定标系统,光源和单色仪的入射狭缝之间安装有斩波器,单色仪内部安装有光栅,从出射狭缝出射的光进入避光箱内,经过二个离轴抛物面镜(M1)、(M2),和滤光片轮后,到达传递探测器和定标探测器。本发明采用了Newport公司的红外光源和Acton Research公司的单色仪,可以实现1μm-12μm的光谱响应率测量,极大的扩展了国内目前的定标波长范围。评定了系统的稳定性,不确定度为8×10-4,具备了对红外连续光谱进行高精度测量的能力。利用定标系统对腔式热电堆探测器的相对光谱响应率进行了测量,结果与在可见-近红外上的测量结果相符。这一发明对于提高我国星载红外传感器的定标精度具有重要的意义。

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