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公开(公告)号:KR102084853B1
公开(公告)日:2020-03-04
申请号:KR1020180082024
申请日:2018-07-16
Applicant: 경일대학교산학협력단
Inventor: 이광일
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公开(公告)号:KR102049176B1
公开(公告)日:2019-11-26
申请号:KR1020180076615
申请日:2018-07-02
Applicant: 경일대학교산학협력단
Inventor: 김용대
IPC: H01L21/50 , H01L23/00 , H01L23/538 , H01L51/00 , H01L21/56 , H01L21/78 , H01L21/3213 , G03F7/00
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公开(公告)号:KR102039166B1
公开(公告)日:2019-10-31
申请号:KR1020180037555
申请日:2018-03-30
Applicant: 경일대학교산학협력단 , 주식회사 룩옵틱스 , 주식회사 룩스마트랩
Inventor: 윤은준
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公开(公告)号:KR102039164B1
公开(公告)日:2019-10-31
申请号:KR1020180037553
申请日:2018-03-30
Applicant: 경일대학교산학협력단 , 주식회사 룩옵틱스 , 주식회사 룩스마트랩
Inventor: 윤은준
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