公开(公告)号：KR101969901B1

公开(公告)日：2019-04-17

申请号：KR1020170178633

申请日：2017-12-22

Applicant: 경일대학교산학협력단

Inventor： 김용대 ,  이도윤 ,  정은상 ,  이은택 ,  권세진

IPC: F02K9/62 ,  F02K9/52 ,  B64G1/26

公开(公告)号：KR102049176B1

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：KR1020180076615

申请日：2018-07-02

Applicant: 경일대학교산학협력단

Inventor： 김용대

IPC: H01L21/50 ,  H01L23/00 ,  H01L23/538 ,  H01L51/00 ,  H01L21/56 ,  H01L21/78 ,  H01L21/3213 ,  G03F7/00