公开(公告)号：TWI470370B

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：TW100103767

申请日：2011-01-31

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 帕迪 亞歷山卓 ,  PADIY, ALEXANDER ,  曼徹奇可夫 伯瑞斯 ,  MENCHTCHIKOV, BORIS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: G03F7/70616 ,  G03F7/70516 ,  G03F7/70525 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7011 ,  G03F9/7019 ,  G03F9/7046

公开(公告)号：TWI470363B

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：TW097109495

申请日：2008-03-18

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 漢尼 麥勒 莫德 ,  MULDER, HEINE MELLE ,  喬漢那 約克伯 馬修 貝索曼 ,  BASELMANS, JOHANNES JACOBUS MATHEUS ,  艾德瑞納 法蘭西卡斯 佩勒斯 安捷倫 ,  ENGELEN, ADRIANUS FRANCISCUS PETRUS ,  馬可斯 法蘭西斯 安東尼奧斯 俄林斯 ,  EURLINGS, MARKUS FRANCISCUS ANTONIUS ,  亨得瑞克 羅伯特 馬連 凡 葛瑞柏克 ,  VAN GREEVENBROEK, HENDRIKUS ROBERTUS MARIE ,  派翠西斯 阿若瑟斯 約克伯 提那曼斯 ,  TINNEMANS, PATRICIUS ALOYSIUS JACOBUS ,  保羅 凡 德 范恩 ,  VAN DER VEEN, PAUL ,  沃佛瑞德 愛德華 艾登迪傑克 ,  ENDENDIJK, WILFRED EDWARD

IPC: G03F7/20 ,  G03B27/72

CPC classification number: G03F7/70291 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70516

公开(公告)号：TWI470215B

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：TW100135933

申请日：2011-10-04

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 史密德 韓卓克 真 海德 ,  SMILDE, HENDRIK JAN HIDDE ,  華那爾 派翠克 ,  WARNAAR, PATRICK

IPC: G01N21/956 ,  G01N21/47 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F9/00 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/70633

公开(公告)号：TWI470204B

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：TW100141350

申请日：2011-11-11

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 史密徳 韓卓克 真 海德 ,  SMILDE, HENDRIK JAN HIDDE ,  柏利克 阿諾 詹 ,  BLEEKER, ARNO JAN ,  蔻妮 威樂 馬力 朱立亞 麻索 ,  COENE, WILLEM MARIE JULIA MARCEL ,  庫必司 麥可 ,  KUBIS, MICHAEL ,  華那爾 派翠克 ,  WARNAAR, PATRICK

IPC: G01N21/47 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70633 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70641 ,  G06N99/005

公开(公告)号：TW201502719A

公开(公告)日：2015-01-16

申请号：TW103133366

申请日：2011-03-11

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 添 凱特 尼可拉斯 ,  TEN KATE, NICOLAAS ,  歐頓 喬斯特 捷恩 ,  OTTENS, JOOST JEROEN ,  卡拿倫 巴斯丁 安卓亞 威廉 休伯特 ,  KNARREN, BASTIAAN ANDREAS WILHELMUS HUBERTUS ,  夫哥德 羅伯特 真 ,  VOOGD, ROBBERT JAN ,  尼諾 佐凡尼 法蘭西斯坷 ,  NINO, GIOVANNI FRANCISCO ,  瑞米 瑪里努斯 珍 ,  REMIE, MARINUS JAN ,  賈庫博 喬漢斯 亨利哈斯 威廉瑪斯 ,  JACOBS, JOHANNES HENRICUS WILHELMUS ,  勞倫 帝寶 賽門 馬修 ,  LAURENT, THIBAULT SIMON MATHIEU ,  庫尼 約翰 葛卓迪斯 寇尼里斯 ,  KUNNEN, JOHAN GERTRUDIS CORNELIS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70875 ,  G03F7/7085

Abstract: 本發明揭示一種微影裝置，該微影裝置包括：一基板台，該基板台經組態以在一基板支撐區域上支撐一基板；及一加熱器及/或溫度感測器，該加熱器及/或該溫度感測器係在鄰近於該基板支撐區域之一表面上。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种微影设备，该微影设备包括：一基板台，该基板台经组态以在一基板支撑区域上支撑一基板；及一加热器及/或温度传感器，该加热器及/或该温度传感器系在邻近于该基板支撑区域之一表面上。

公开(公告)号：TWI469692B

公开(公告)日：2015-01-11

申请号：TW100110591

申请日：2011-03-28

Applicant: 艾司摩爾荷蘭股份有限公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 葛文達拉周 亞柏希倫 ,  GOVINDARAJU, ABHIRAM ,  派特洛 威廉N ,  PARTLO, WILLIAM N.

IPC: H05G2/00

CPC classification number: H05G2/001 ,  H05G2/008

公开(公告)号：TWI467346B

公开(公告)日：2015-01-01

申请号：TW098146003

申请日：2009-12-30

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 麥更 亨力克斯 喬漢那 蘭伯特 ,  MEGENS, HENRICUS JOHANNES LAMBERTUS ,  芬德斯 喬澤夫 瑪利亞 ,  FINDERS, JOZEF MARIA ,  凱爾斯 安東尼 蓋斯頓 馬利 ,  KIERS, ANTOINE GASTON MARIE ,  魁德克斯 瓊斯 安娜 ,  QUAEDACKERS, JOHANNES ANNA ,  凡 德 斯加 毛瑞斯 ,  VAN DER SCHAAR, MAURITS ,  凡斯塔本 李奧納多 亨力克斯 馬連 ,  VERSTAPPEN, LEONARDUS HENRICUS MARIE ,  李維斯 克理斯宣 馬瑞斯 ,  LEEWIS, CHRISTIAN MARINUS ,  范 拉何凡 亨瑞克 安卓 ,  VAN LAARHOVEN, HENDRIK ADRIAAN

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70466 ,  G03F7/70616 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

公开(公告)号：TWI467343B

公开(公告)日：2015-01-01

申请号：TW097133506

申请日：2008-09-01

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 保羅 佩托拉斯 強漢斯 柏克文斯 ,  BERKVENS, PAUL PETRUS JOANNES ,  羅洛夫 費德瑞克 迪 葛瑞夫 ,  DE GRAAF, ROELOF FREDERIK ,  保洛 馬丁司 馬利亞 利伯葛汀 ,  LIEBREGTS, PAULUS MARTINUS MARIA ,  羅納德 凡 德 翰 ,  VAN DER HAM, RONALD ,  威爾海莫斯 法蘭西斯可思 喬翰尼斯 西蒙斯 ,  SIMONS, WILHELMUS FRANCISCUS JOHANNES ,  丹尼爾 約瑟夫 馬利亞 迪瑞克 ,  DIRECKS, DANIEL JOZEF MARIA ,  法蘭西瑟斯 喬漢那斯 約瑟夫 簡森 ,  JANSSEN, FRANCISCUS JOHANNES JOSEPH ,  寶羅 威廉 史考特斯 ,  SCHOLTES, PAUL WILLIAM ,  格特 珍 格爾達斯 喬漢那斯 湯瑪斯 布拉德 ,  BRANDS, GERT-JAN GERARDUS JOHANNES THOMAS ,  柯恩 史帝芬 ,  STEFFENS, KOEN ,  韓 亨利克斯 亞德恭達 廉碧司 ,  LEMPENS, HAN HENRICUS ALDEGONDA ,  馬西司 安娜 凱羅 凡 理耶羅 ,  VAN LIEROP, MATHIEUS ANNA KAREL ,  克里斯多夫 迪 麥森奈爾 ,  DE METSENAERE, CHRISTOPHE ,  馬西歐 亞力山德 凱諾 米蘭達 ,  MIRANDA, MARCIO ALEXANDRE CANO ,  派翠克 喬韓妮絲 威爾海莫斯 斯布坦堡 ,  SPRUYTENBURG, PATRICK JOHANNES WILHELMUS ,  喬麗絲 喬韓 安 瑪莉 威思翠特 ,  VERSTRAETE, JORIS JOHAN ANNE-MARIE

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70341

公开(公告)号：TWI467321B

公开(公告)日：2015-01-01

申请号：TW101150666

申请日：2012-12-27

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 漢森 史蒂芬 喬治 ,  HANSEN, STEVEN GEORGE

IPC: G03F1/36

CPC classification number: G06F17/5068 ,  G03F1/70 ,  G03F7/70125 ,  G03F7/70433 ,  G03F7/70441 ,  G06F17/50

公开(公告)号：TWI465859B

公开(公告)日：2014-12-21

申请号：TW100128624

申请日：2011-08-10

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 威廉斯 保羅 ,  WILLEMS, PAUL ,  譚 凱特 尼可拉斯 ,  TEN KATE, NICOLAAS ,  茲德拉夫科夫 亞歷山得 尼可拉夫 ,  ZDRAVKOV, ALEXANDER NIKOLOV ,  科提 羅吉爾 漢特李庫斯 馬格達雷納 ,  CORTIE, ROGIER HENDRIKUS MAGDALENA ,  克拉默 皮耶特 雅各 ,  KRAMER, PIETER JACOB ,  柯林卡 史蒂芬 ,  KOELINK, STEPHAN ,  庫居柏 安東尼 ,  KUIJPER, ANTHONIE

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70341