유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘박막의 제조 방법
    163.
    发明公开

    公开(公告)号:KR1020080042774A

    公开(公告)日:2008-05-15

    申请号:KR1020080002486

    申请日:2008-01-09

    Abstract: A method of manufacturing a porous silicon thin film by controlling the movement of fluid according to temperature is provided to simultaneous introduce and discharge water and air through a pore by adjusting size of the pore according to the temperature of a surface of the thin film. A method of manufacturing a porous silicon thin film comprises the following steps of: forming a photo resist of a ring-shaped pattern on a surface of a silicon wafer; removing an upper photo resist by performing a DIRE process; forming a photo resist having a hole-shaped pattern on a bottom surface of the silicon wafer; forming a plurality of pores penetrating through the silicon wafer; removing the photo resist formed on bottom surface of the silicon wafer; coating an upper surface of the silicon wafer with a thermal transformation member; and removing the coated thermal transformation member through an exposure process while remaining only a ring-shaped thermal transformation structure around the pores.

    Abstract translation: 提供通过根据温度控制流体的移动来制造多孔硅薄膜的方法,以通过根据薄膜表面的温度调节孔的尺寸来同时引入和排出水和空气通过孔。 制造多孔硅薄膜的方法包括以下步骤:在硅晶片的表面上形成环状图案的光致抗蚀剂; 通过执行DIRE处理去除上部光刻胶; 在所述硅晶片的底面上形成具有孔状图案的光致抗蚀剂; 形成贯穿硅晶片的多个孔; 去除形成在硅晶片的底表面上的光致抗蚀剂; 用热转印部件涂覆硅晶片的上表面; 并且通过曝光过程去除涂覆的热转化构件,同时在孔附近仅保留环形热转变结构。

    유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘 박막
    164.
    发明公开
    유체의 이동을 온도에 의해 조절할 수 있는 다공질 실리콘 박막 失效
    硅基水控制膜及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020080042455A

    公开(公告)日:2008-05-15

    申请号:KR1020060110929

    申请日:2006-11-10

    CPC classification number: H01L21/02203 H01L21/02164 H01L21/02532 H01L21/324

    Abstract: A porous silicon thin film capable of controlling fluid movement by temperature is provided to control the movement speed and an amount of water by using a structure made of a material having high thermal strain installed around of pores. A porous thin film includes a plurality of pores(1). A region for passing gas is coated with a non-aqueous material. A region for passing water is coated with an aqueous material. A structure made of a material having high thermal strain is installed around of the pores. The structure is installed into a certain depth of the pore from an entrance of the pore. The porous thin film is a silicon material(3). The silicon material is one of single crystalline silicon, poly crystal silicon, and epi silicon. The aqueous material is SiO2. The non-aqueous material is silen. The material having high thermal strain is one of SU-8, PDMS(polydimethylsiloxane), and PMMA(polymethyl methacrylate).

    Abstract translation: 提供能够通过温度控制流体移动的多孔硅薄膜,以通过使用由安装在孔周围的具有高热应变的材料制成的结构来控制移动速度和水量。 多孔薄膜包括多个孔(1)。 通过气体的区域涂覆有非水性材料。 通过水的区域涂覆有水性材料。 由具有高热应变的材料制成的结构安装在孔的周围。 该结构从孔的入口安装到孔的一定深度。 多孔薄膜是硅材料(3)。 硅材料是单晶硅,多晶硅和外延硅之一。 水性材料为SiO 2。 非水性材料是硅胶。 具有高热应变性的材料是SU-8,PDMS(聚二甲基硅氧烷)和PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)之一。

    마이크로채널 반응기의 제조 방법과 마이크로채널 반응기
    166.
    发明授权
    마이크로채널 반응기의 제조 방법과 마이크로채널 반응기 有权
    微通道反应器的制造方法及其相同

    公开(公告)号:KR100585374B1

    公开(公告)日:2006-06-01

    申请号:KR1020040089410

    申请日:2004-11-04

    Abstract: 본 발명은 연료전지에 공급하기 위한 수소를 발생시키는 수소 발생기를 구성하는 마이크로채널 반응기의 제조 방법과 반응기에 관한 것이다.
    본 발명의 방법은, 박판에 결합공과 통공을 형성시키는 단계와; 한 장 이상의 박판에 마이크로채널을 관통 형성시키는 단계와; 박판에 유입 및 배출 매니폴드를 형성시키는 단계와; 결합공과 통공만이 관통 형성된 덮개판(31)과 한 장 이상의 마이크로채널 박판(32) 및 매니폴드 박판(33)(33')(33")을 일련의 순으로 적층하는 단계로 이루어지며, 다수의 결합공 통공이 관통 형성된 한 쌍의 덮개판(31)과; 덮개판(31) 사이에 적층되며 마이크로채널(C)이 관통 형성된 1장 이상의 마이크로채널 박판(32)과; 마이크로채널 박판(32)과 덮개판 사이에 적층되는 1∼2장의 매니폴드 박판(33)(33')(33")으로 구성되며, 상기 마이크로채널이 박판을 관통하여 매니폴드와 분리 형성됨에 본 발명의 기술적 특징이 있다.
    본 발명의 방법과 반응기는 반응기의 효율을 향상시킬 수 있으며, 제조 원가를 절감할 수 있는 이점이 있다.
    연료전지, 마이크로채널, 수소 발생기, 반응기

    일체형 마이크로채널 수소 발생기의 구조
    167.
    发明公开
    일체형 마이크로채널 수소 발생기의 구조 有权
    用于氢生产的集成微通道反应器的结构

    公开(公告)号:KR1020060032882A

    公开(公告)日:2006-04-18

    申请号:KR1020040081881

    申请日:2004-10-13

    Abstract: 본 발명은 탄화수소의 개질에 의해 수소를 생생시켜 연료전지에 공급하기 위한 수소 발생기의 구조에 관한 것이다.
    본 발명의 구조는 촉매연소반응물 기화용 박판(11), 촉매연소반응물 기화용 열전달 박판(12)과, 유로차단판(13)과, 촉매연소용 박판(14)과, 유로차단판(15)과, 개질반응용 열전달 박판(16)과, 개질반응용 박판(17)과, 유로차단판(18)과, 개질반응물 기화용 열전달 박판(19)과, 개질반응물 기화용 박판(20)이 일련의 순으로 적층되며, 반응기의 역할을 수행하기 위하여 일측 면에 마이크로채널이 형성된 상기 각 박판이 유로차단판에 의해 분리됨으로써 개질반응용 유체와 촉매연소용 유체의 흐름이 섞이지 않도록 구성됨에 기술적 특징이 있다.
    본 발명 일체형 마이크로채널 수소 발생기의 구조는 촉매연소열이 각 단위 반응기에 효과적으로 전달되어 전체 반응기의 효율이 향상되며, 유체의 흐름이 나누어지지 않기 때문에 유량 분할 및 분배 문제가 발생되지 않는 장점이 있다.
    연료전지, 개질반응, 촉매연소, 수소 발생기, 마이크로채널

    연료전지 성능 측정용 격자형 바이폴라 플레이트와 그제조 방법
    168.
    发明公开
    연료전지 성능 측정용 격자형 바이폴라 플레이트와 그제조 방법 失效
    用于确定燃料电池容量和生产的型号类型的双极板

    公开(公告)号:KR1020030064463A

    公开(公告)日:2003-08-02

    申请号:KR1020020004766

    申请日:2002-01-28

    CPC classification number: Y02P70/56

    Abstract: PURPOSE: Provided are a bipolar plate having latticed small cells through which the local capacity of the fuel cell in different positions can be determined in detail, and a method for producing the bipolar plate. CONSTITUTION: The lattice type bipolar plate comprises: a synthetic resin plate(31) having multiple square grooves(G) in the form of a lattice on one side thereof and multiple holes(H) for connecting electric wires formed in the bottom of the square grooves(G); a metal plate(32) inserted in contact with the bottom of the square grooves(G) of the synthetic resin plate(31); and a graphite plate(33) inserted into each of the square grooves(G) of the synthetic resin plate(31) to contact closely with the top surface of the metal plate(32). The lattice type bipolar plate is produced by inserting the metal plate(32) and graphite plate(33) into the square grooves(G), filing the openings with an insulating filler, curing it, processing one side of the synthetic resin plate(31) facing with the graphite plate(33) into a flat surface, and forming a gas flow path on the flat surface.

    Abstract translation: 目的:提供具有格子状小电池的双极板,可以详细确定不同位置的燃料电池的局部容量,以及制造双极板的方法。 构成:格子型双极板包括:合成树脂板(31),其一侧具有格子形状的多个方形槽(G)和用于连接形成在正方形底部的电线的多个孔(H) 槽(G); 插入与合成树脂板(31)的方形槽(G)的底部接触的金属板(32); 以及插入合成树脂板(31)的每个方形槽(G)中以与金属板(32)的顶表面紧密接触的石墨板(33)。 格子型双极板是通过将金属板(32)和石墨板(33)插入方槽(G)中,用绝缘填料填充开口,固化,加工合成树脂板(31)的一侧 )与石墨板(33)对置成平坦表面,并且在平坦表面上形成气体流路。

    고분자 연료전지용 자기 가습 고분자막과 이를 이용한자기 가습 고분자막/전극 접합체의 제조 방법
    169.
    发明公开
    고분자 연료전지용 자기 가습 고분자막과 이를 이용한자기 가습 고분자막/전극 접합체의 제조 방법 失效
    用于聚合物燃料电池的自吸热聚合物膜和使用该自润滑聚合物膜/电极层压板的方法

    公开(公告)号:KR1020020030963A

    公开(公告)日:2002-04-26

    申请号:KR1020000061496

    申请日:2000-10-19

    Abstract: PURPOSE: Provided are a self-humidifying polymer membrane for a polymer fuel cell, which is produced by using a sputtering method, and a process for producing a self-humidifying polymer membrane/electrode laminate by using the self-humidifying polymer membrane. CONSTITUTION: The self-humidifying polymer membrane is produced by a process comprising the steps of: forming a pre-foamed precursor sheet by hot pressing or rolling a perfluorosulfonylfluoride/TFE copolymer resin; laminating platinum particles on one side of the pre-foamed precursor sheet by sputtering; laminating closely other pre-foamed precursor sheet on the platinum laminated side; making a pre-foamed precursor sheet laminate by hot pressing or rolling the laminated two pre-foamed precursor sheets; impregnating the pre-foamed precursor sheet laminate in a caustic soda solution to produce Na+ type perfluorosulfonate polymer membrane. And the process for producing the self-humidifying polymer membrane/electrode laminate comprises the steps of: making the electrode by coating a film with a catalyst ink comprising platinum coated carbon, a nafion solution, glycerol, and tetrabutyl ammonium hydroxide; laminating the electrode on the Na+ type polymer membrane and hot pressing; soaking the self-humidifying polymer membrane/electrode laminate in a sulfuric acid solution to produce H+ type polymer membrane/electrode laminate; cleansing the H+ type polymer membrane/electrode laminate with deionized pure water many times.

    Abstract translation: 目的:提供通过使用溅射法制造的用于聚合物燃料电池的自加湿聚合物膜,以及使用自加湿聚合物膜制造自加湿聚合物膜/电极层压体的方法。 构成:通过包括以下步骤的方法制造自加湿聚合物膜:通过热压或轧制全氟磺酰氟/ TFE共聚物树脂形成预发泡前体片; 通过溅射在预发泡前体片的一侧上层压铂颗粒; 在铂层压密封上紧密地层压其他预发泡前体片; 通过热压或轧制层压的两个预发泡前体片来制备预发泡前体片层合物; 将预发泡的前体片层合物浸渍在苛性钠溶液中以产生Na +型全氟磺酸盐聚合物膜。 制造自加湿聚合物膜/电极层压体的方法包括以下步骤:通过用包含铂包覆的碳,nafion溶液,甘油和四丁基氢氧化铵的催化剂油墨涂覆膜来制造电极; 在Na +型聚合物膜上层压电极并进行热压; 将自加湿聚合物膜/电极层压体浸渍在硫酸溶液中以制备H +型聚合物膜/电极层压体; 用去离子纯水清洗H +型聚合物膜/电极层压板多次。

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