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公开(公告)号：CN1336740A
公开(公告)日：2002-02-20
申请号：CN01123825.9
申请日：2001-08-01
Applicant: 日本板硝子株式会社
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/0256 , G01J3/2803 , G02B6/2931 , G02B6/29385 , G02B6/4215 , H01L27/1443 , H01L27/14625 , H04J14/02
Abstract: 当使用对于在第i′和第(i+1)′信道之间具有波长间隔Δλi的入射光其光栅周期为d和衍射序数为m的衍射光栅时,用L表示衍射光栅和光探测器之间的光程长度,用θ。表示平均出射角度,光探测器阵列中第i′和第(i+1)′光探测器间的间距pi满足等式pi=mΔλiL/dcosθ。
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公开(公告)号：CN1217466A
公开(公告)日：1999-05-26
申请号：CN98122487.3
申请日：1998-11-17
Applicant: 创新激光有限公司
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 根据本发明,一种将输入光束色散为波长λ来为探测器所探测的、高分辨率紧凑型光谱仪被提供。这种光谱仪包括:(a)入口狭缝,入射光束由此通过;(b)第一镜,准直来自入口狭缝的光束;(c)第一反射光栅,将准直光束色散来形成具有光谱强度分布的光束,具有沟槽数目为N1;(d)第二反射光栅,进一步色散准直光束,具有沟槽数目为N2;(e)第二镜,聚焦准直的和色散的光束,其中所说的光谱仪具有一个基本对称的结构。光谱仪的对称结构加倍了光栅的分辨率和色散。紧凑型高分辨率图像光谱仪能够利用带有内腔元件的高灵敏度气体传感器测量气体的吸收线。
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公开(公告)号：CN1016281B
公开(公告)日：1992-04-15
申请号：CN88100938
申请日：1988-02-15
Applicant: 尼垣库株式会社
IPC: G01N21/31
CPC classification number: G01N21/253 , G01J3/18 , G01N21/75 , G01N35/025 , G01N2021/3133 , G01N2035/0444 , G01N2201/0415
Abstract: 使固定所需数目的反应管(1)的反应管支撑架(2)步进转动，在光学测定位置(c)上，对上述各反应管(1)内的样品和试剂的化学反应状态进行光学测定，像这样构成的进行生物化学和免疫学分析的自动分析装置(A)的光学测定法，是通过由转动机构(24)进行往复转动控制的光■(23)把上述测定光(λ)变成测定项目所对应的单一波长光。并用该单一波长光采用所谓“前分光方式”对空气屋和反应液的光透射率进行光学测定的。
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公开(公告)号：CN88100938A
公开(公告)日：1988-09-14
申请号：CN88100938
申请日：1988-02-15
Applicant: 尼垣库株式会社
IPC: G01N21/25
CPC classification number: G01N21/253 , G01J3/18 , G01N21/75 , G01N35/025 , G01N2021/3133 , G01N2035/0444 , G01N2201/0415
Abstract: 使固定所需数目的反应管(1)的反应管支撑架(2)步进转动，在光学测定位置(C)上，对上述各反应管(1)内的样品和试剂的化学反应状态进行光学测定，像这样构成的进行生物化学和免疫学分析的自动分析装置(A)的光学测定法，是通过由转动机构(24)进行往复转动控制的光栅(23)把上述测定光(i)变成测定项目所对应的单一波长光，并用该单一波长光采用所谓“前分光方式”对空气层和反应液的光透射率进行光学测定的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109425431A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201710773046.0
申请日：2017-08-31
Applicant: 福州高意通讯有限公司
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/0272 , G01J3/0291 , G01J3/04 , G01J3/18
Abstract: 本发明公开一种使用MEMS超小尺寸光谱仪，其包括外壳、入射光栏、准直透镜、楔角片组、色散光栅、MEMS和PD探测器，入射光栏、准直透镜、楔角片组和色散光栅沿光路依次设置，MEMS设于色散光栅的衍射方向，所述楔角片组由具有不同角度的楔角片构成，PD探测器设于入射光栏内侧；入射光由入射光栏射入，准直透镜用于入射光的准直，准直后的入射光经楔角片组拓宽测试光谱范围后输出至色散光栅，色散光栅将入射光衍射至MEMS，经MEMS反射的反射光依次经过色散光栅、楔角片组和准直透镜最终聚焦到PD探测器上。本发明的光谱仪结构简单、尺寸小、低成本、波长范围宽的超小光谱仪。
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公开(公告)号：CN108955889A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201710625449.0
申请日：2017-07-27
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 塞缪尔·C·豪厄尔斯
IPC: G01J5/00
CPC classification number: G01J5/0828 , G01J3/18 , G01J5/0007 , G01J5/041 , H01L21/67115 , H01L21/67248 , G01J5/00
Abstract: 一种处理基板的装置和方法包括：探测器歧管，所述探测器歧管用以探测来自腔室主体中的处理区附近的辐射；辐射探测器，所述辐射探测器光耦合至所述探测器歧管；和光谱多陷波滤波器。处理基板的装置和方法包括：探测来自腔室主体中的基板的发射表面的透射辐射；将所探测的辐射的至少一个光谱带传递至光探测器；以及分析在至少一个光谱带中的所探测的辐射以确定基板的推断温度。
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公开(公告)号：CN106415222B
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201480077461.7
申请日：2014-04-03
Applicant: 台湾超微光学股份有限公司
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0256 , G01J3/0205 , G01J3/0262 , G01J3/18
Abstract: 公开了一种光谱仪、光谱仪的波导片的制造方法及其结构。在制造方法中，利用微机电制造程序使硅晶圆形成至少一个波导片(1)，波导片(1)具有至少一定位侧边(12)以及至少一杂光散逸侧边(13)。光谱仪组件(31)可精确定位于定位侧边(12)，减少光谱仪组件间于抵靠波导片时存在的错位现象，且杂光经由杂光散逸侧边(13)而离开，减少噪音误差，可提升光谱仪的感度和解析度。
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公开(公告)号：CN107748145A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201711270813.2
申请日：2017-12-05
Applicant: 北京航空航天大学
IPC: G01N21/3586 , G01J3/02 , G01J3/18
CPC classification number: G01N21/3586 , G01J3/0208 , G01J3/18 , G01J2003/1213
Abstract: 本发明提供了一种太赫兹光谱仪，包括：太赫兹波产生装置、第一会聚装置、太赫兹带通滤波片和太赫兹能量探测器；所述太赫兹波产生装置用于产生预设能量级的太赫兹波，所述太赫兹带通滤波片、第一会聚装置和太赫兹能量探测器均设置在所述太赫兹波的传输路径上，所述太赫兹波经所述第一会聚装置会聚至太赫兹能量探测器；所述太赫兹带通滤波片设置在所述太赫兹波产生装置与所述第一会聚装置之间或者设置在所述第一会聚装置与所述太赫兹能量探测器之间，所述太赫兹带通滤波片用于获取预设波段的太赫兹波。可以实现对待测样品高速的光谱检测，而且结构简单，易于实现，可广泛应用于光谱检测领域。
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公开(公告)号：CN107389190A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710627660.6
申请日：2017-07-28
Applicant: 华东师范大学
IPC: G01J3/18
CPC classification number: G01J3/18 , G01J2003/1842
Abstract: 本发明公开了一种在硅圆片上单片集成的微型光谱仪，其特点是采用硅片刻蚀及沉积金属工艺将色散系统和红外传感器集成在单片硅片上，实现光路与红外探测集成和兼容的光学结构，使入射光在硅圆片平面方向进入，经色散系统分光后到达红外传感器进行红外光的探测，其制作方法包括：刻蚀传感器凹槽后依次沉积氧化硅、氮化硅、钛和铝层并图形化，然后释放形成色散系统和红外探测器结构。本发明与现有技术相比在单片硅片上实现了折叠切尔尼-特纳结构，并在同一硅片上与光学传感器集成，光线沿硅片平面方向入射，避免了光线垂直入射，较好的解决了透射光栅零级条纹不可用等缺点，解决了普通微型光谱仪光学路径受到硅片厚度限制的问题，同时单片集成避免了键合工艺，简化了工艺，具有工艺简单，结构尺寸小的特点，尤其满足了光谱仪小型化、低成本的应用要求。
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