公开(公告)号：CN102829870B

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201210326081.5

申请日：2012-09-05

Applicant: 天津奇谱光电技术有限公司

Inventor： 高培良

IPC: G01J3/45 ,  G02F1/1347 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/11

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/1256 ,  G01J3/32 ,  G02B26/001 ,  G02F1/33 ,  G02F2001/213 ,  G02F2201/58

Abstract: 本发明涉及一种光学频谱分析设备，其技术特点是：包括一个可调谐法布里-珀罗滤波器、一个可调谐声光滤波器、第一光电探测器、第二光电探测器以及系统控制和数据分析系统；入射光首先通过可调谐法布里-珀罗滤波器滤波，其输出光束通过可调谐声光滤波器滤波，其输出的两束偏振态相互垂直并具有一定分离夹角的线偏振光束分别由第一光电探测器和第二光电探测器接收；所述的系统控制和数据分析系统用于实现光学频谱分析设备对入射光的功率和光谱的检测功能。本具有无机械移动部件、性能稳定可靠、尺寸小、易于安装及生产等特点，满足了小尺寸和极端环境下的需求，可广泛用于激光器、光学测试、光纤通讯、生物、医疗器械和光纤传感器网络等领域中。

公开(公告)号：CN103857994A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201280049225.5

申请日：2012-09-10

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  笠原隆

IPC: G01J3/26 ,  G02B5/28

CPC classification number: H01L31/1896 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/36 ,  G01J2003/1234 ,  G02B5/28 ,  G02B5/284 ,  H01L31/0232

Abstract: 分光传感器（1）的制造方法具备：第1工序，通过对被设置于处理基板上的表面层实施蚀刻从而形成空腔层（21）；第2工序，在第1工序之后将第1镜层（22）形成于空腔层（21）上；第3工序，在第2工序之后将光透过基板（3）接合于第1镜层（22）上；第4工序，在第3工序之后从空腔层（21）除去处理基板；第5工序，在第4工序之后将第2镜层（23）形成于已除去了处理基板的空腔层（21）上；第6工序，在第5工序之后将光检测基板（4）接合于第2镜层上。

公开(公告)号：CN102301213B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN200980155546.1

申请日：2009-12-10

Applicant: 西利奥斯技术公司

Inventor： S·逖斯兰德 ,  M·休伯特 ,  L·洛克斯

IPC: G01J3/26

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/10 ,  G01J3/45

Abstract: 本发明涉及波长光谱学装置，其在一基片上包括一滤光栅元CF，所述滤光栅元包括两个镜片，两个镜片通过一隔膜隔开，该滤光栅元由多个干涉滤光器形成。此外，该装置包括一发射栅元CE，发射栅元包括多个发射源，每个发射源与干涉滤光器之一相关联。

公开(公告)号：CN103424865A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310175617.2

申请日：2013-05-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 广久保望

IPC: G02B26/00 ,  G02B5/28 ,  G01N21/45

CPC classification number: G02B5/28 ,  G01J3/26 ,  G01J3/45 ,  G02B26/001

Abstract: 本发明提供了光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。该光模块具备波长可变干涉滤波器以及控制施加给静电致动器部的电压的电压控制部，该波长可变干涉滤波器具备相互相对的反射膜、以及具有第一静电致动器及第二静电致动器且用于改变反射膜间间隙的静电致动器部，电压控制部具备对第一静电致动器施加偏压的偏压驱动部、间隙检测器以及对第二静电致动器施加与检测出的间隙量相对应的反馈电压的反馈控制部。

公开(公告)号：CN103376544A

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201310121583.9

申请日：2013-04-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西村晃幸 ,  佐野朗

IPC: G02B26/00 ,  G01J3/02

CPC classification number: G02B5/28 ,  G01J3/26 ,  G01J3/51 ,  G02B26/001

Abstract: 本发明提供波长可变干涉滤波器、光滤波器装置、光模块以及电子设备。其中，波长可变干涉滤波器包括设置有固定反射膜及固定侧电极的固定基板，以及设置有可动反射膜及可动侧电极的可动基板，在滤波器俯视观察中，固定侧电极以及可动侧电极设置在固定反射膜及可动反射膜重合的光干涉区域的外侧，固定侧电极的内径侧边缘位于比可动侧电极的内径侧边缘更靠近光干涉区域的一侧，固定侧电极的外径侧边缘位于比可动侧电极的外径侧边缘更远离光干涉区域的一侧。

公开(公告)号：CN103257386A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310049037.9

申请日：2013-02-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 新东晋

IPC: G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  G01N21/01 ,  G01J3/02

CPC classification number: G02B5/28 ,  G01J1/0488 ,  G01J3/26 ,  G01J3/51 ,  G02B5/284 ,  G02B26/001

Abstract: 本发明提供一种干涉滤波器、光学模块以及电子设备，该干涉滤波器包括：第一基板；第二基板，与第一基板相对；第一光学膜，设置于第一基板；第二光学膜，设置于第二基板，并与第一光学膜相对，第一光学膜以及第二光学膜中至少一方包括具有对所希望波段的光的反射特性及透过特性的金属膜，金属膜的表面以及边缘部被阻隔膜覆盖，阻隔膜包含具有导电性的材料。

公开(公告)号：CN101900877B

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN201010188264.6

申请日：2010-05-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 广久保望 ,  船坂司

IPC: G02B26/00 ,  G01N21/31

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26 ,  G01J3/42 ,  G01J3/51

Abstract: 本发明提供一种能够防止反射镜的带电而使反射镜彼此粘贴消除的光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法。本发明的光滤波器(1)具备：相互地面对配置的第一基板(2)及第二基板(3)；在第一基板(2)的第二基板(3)侧所设置的第一反射镜(4A)及第一电极(6A)；在第二基板(3)的第一基板(2)侧所设置的第二反射镜(4B)及第二电极(6B)，并且第一反射镜(4A)和第二反射镜(4B)由配线(10A、10B)连接。

公开(公告)号：CN101802576B

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN200780100699.7

申请日：2007-09-28

Applicant: 沈憧棐

Inventor： 沈憧棐

IPC: G01J5/38

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J3/26 ,  G01J5/02 ,  G01J5/023 ,  G01J5/024 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/0862 ,  G01J5/38

Abstract: 一种红外传感器包括：第一膜层结构(103)，第二膜层结构(104)，和形成于第一膜层结构(103)和第二膜层结构(104)之间的空隙。参照光从第一和第二膜层结构(103，104)中的一个入射。当空隙变化时，从一个膜层结构透射的参照光的强度发生变化，而且反射回来的参照光的强度发生变化。当红外线入射时，至少一个膜层结构吸收红外线而导致至少一个膜层结构的温度发生变化，从而导致空隙的距离发生变化。通过探测从另一膜层结构透射的参照光的强度变化或者通过探测反射回来的参照光的强度的变化，从而测量到红外线。

公开(公告)号：CN102636828A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201210028988.3

申请日：2012-02-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 荒川克治 ,  广久保望 ,  小松洋

IPC: G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  G01J3/02 ,  G01J3/26

CPC classification number: G02B26/001 ,  B81B7/0035 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明提供了一种波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置，该波长可变干涉滤波器包括：第一基板，具有固定镜；第二基板，与第一基板接合，包括可动部和固定在可动部上的可动镜；第三基板，在与第一基板相反的一侧上与第二基板接合；以及静电致动器，使可动部沿基板相对方向移位，其中，形成有使第一基板和第二基板之间的出射侧空间以及第二基板和第三基板之间的入射侧空间与外部连通的贯通孔，贯通孔被密封材料密封，以将各空间密闭为减压状态。

公开(公告)号：CN102540312A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110433595.6

申请日：2011-12-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 广久保望

IPC: G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明涉及一种波长可变干涉滤波器、光学组件以及电子设备。该波长可变干涉滤波器具备静电执行机构，该静电执行机构具备固定电极及可动电极。并且，固定电极具备多个固定部分电极，可动电极具备多个可动部分电极，由彼此相对的固定部分电极及可动部分电极构成部分执行机构。此外，这些部分执行机构具有相同的面积，重心点在以可动部的中心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，这些部分执行机构在电压施加用部分电极间电串联连接。