公开(公告)号：WO2010128014A1

公开(公告)日：2010-11-11

申请号：PCT/EP2010/055974

申请日：2010-05-03

Applicant: THALES ,  INSTITUT D'OPTIQUE ,  ALOUINI, Mehdi ,  BENIERE, Arnaud ,  DOLFI, Daniel ,  BERGINC, Gérard ,  GOUDAIL, François

Inventor： ALOUINI, Mehdi ,  BENIERE, Arnaud ,  DOLFI, Daniel ,  BERGINC, Gérard ,  GOUDAIL, François

IPC: G01N21/21 ,  G01J4/04

CPC classification number: G01N21/21 ,  G01J3/447 ,  G01J4/04

Abstract: L'invention concerne un procédé d’identification d'images d’une scène (1) qui comprend une étape d’illumination de la scène par un faisceau de N longueurs d’onde, polarisé selon une direction déterminée, N étant un entier supérieur ou égal à 3. Il comprend les étapes suivantes : - acquisition simultanée pour chaque longueur d’onde d’une image polarisée selon ladite direction, soit N images (11) notées X // (λi) avec i variant de 1 à N et d’une image polarisée selon une direction perpendiculaire à ladite direction, soit N images (12) notées X ⊥ (λi), ces images X ⊥ (λ) étant spatialement distinctes des images X // (λi), - calcul pour chaque longueur d’onde d’une image d’intensité qui est une combinaison linéaire de X // (λi) et de X ⊥ (λi), à ces N images d'intensité correspondant donc pour chaque pixel un spectre d’intensité, - calcul pour chaque longueur d’onde d'une image de contraste de polarisation à partir d’un rapport d’intensité calculé en fonction de X // (λi) et de X ⊥ (λi), à ces N images de contraste de polarisation correspondant donc pour chaque pixel un spectre de contraste de polarisation,- calcul d’une image de la scène dite image de contraste spectro-polarimétrique et notée image CSP, chaque pixel de cette image étant obtenue à partir du spectre d’intensité et du spectre de contraste du pixel considéré.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于识别场景（1）的图像的方法，包括以确定的方向极化的N个波长的束照射场景的步骤，N是高于或等于3的整数。 所述方法包括以下步骤：对于所述方向偏振的图像，对于每个波长的同步采集，即i从1到N变化的标记为X //（？i）的N个图像（11）以及图像偏振 在垂直于所述方向的方向上，即标记为X'（？i）的N个图像（12），所述图像X'（？）在空间上与图像X //（ωi）分离; 对于每个波长，计算作为X //（λi）和Xα（ωi）的线性组合的强度图像，对应于每个像素的所述N个强度图像的强度谱; 对于每个波长的偏振对比度图像，根据根据X //（θi）和Xα（ωi）计算的强度比计算偏振对比度图像，因此对应于每个像素的所述N个偏振对比图像的偏振对比度光谱; 以及计算场景的图像，称为分光偏光对比度图像和标记的CSP图像，所述图像的每个像素从所讨论的像素的强度光谱和对比度光谱获得。

公开(公告)号：WO2010063991A1

公开(公告)日：2010-06-10

申请号：PCT/GB2009/002780

申请日：2009-11-27

Applicant: QINETIQ LIMITED ,  RIDLEY, Kevin, Dennis ,  DE VILLIERS, Geoffrey, Derek ,  SINGER, Christopher, Williams ,  STRENS, Malcolm, John, Alexander

Inventor： RIDLEY, Kevin, Dennis ,  DE VILLIERS, Geoffrey, Derek ,  SINGER, Christopher, Williams ,  STRENS, Malcolm, John, Alexander

IPC: G02B27/00 ,  A61B6/02 ,  G01T1/29 ,  G21K1/02

CPC classification number: G02B27/00 ,  G01J3/2846 ,  G01J4/04 ,  G02B2207/129 ,  G06K9/209 ,  H04N5/335 ,  H04N9/045 ,  H04N9/07

Abstract: Optically diverse coded aperture imaging (CAI) comprises imaging a scene which is multi-spectrally diverse or polarimetrically diverse. A CAI system (10) allows light rays (12) from a scene to pass to a detector array (14) through a coded aperture mask (16) within an optical stop (18). The mask 16 has multiple apertures 16a, and produces overlapping coded images of the scene on the detector array (14). Detector array pixels receive and sum intensity contributions from each coded image. The detector array (14) provides output data for processing to reconstruct an image. The mask (16) provides for multi- spectral information to become encoded in the data. A linear integral equation incorporating explicit wavelength dependence relates the imaged scene to the data. This equation is solved by Landweber iteration to derive a multi-spectral image. An image with multiple polarisation states (polarimetric diversity) may be derived similarly with a linear integral equation incorporating explicit polarisation dependence.

Abstract translation: 光学多样化编码孔径成像（CAI）包括对多光谱多样或多极化多样的场景进行成像。 CAI系统（10）允许来自场景的光线（12）通过光学停止（18）内的编码孔径掩模（16）传递到检测器阵列（14）。 掩模16具有多个孔16a，并且在检测器阵列（14）上产生场景的重叠编码图像。 检测器阵列像素从每个编码图像接收和求和强度贡献。 检测器阵列（14）提供用于处理以重构图像的输出数据。 掩模（16）提供多光谱信息以在数据中被编码。 包含显式波长依赖性的线性积分方程将成像的场景与数据相关联。 该方程通过Landweber迭代求解得到多光谱图像。 具有多极化状态（偏振分集）的图像可以与包含明确的偏振依赖性的线性积分方程类似地导出。

公开(公告)号：WO2009059313A8

公开(公告)日：2010-01-07

申请号：PCT/US2008082275

申请日：2008-11-03

Applicant: DEKA PRODUCTS LP ,  HELMORE SIMON C ,  SACHS JASON ,  SCARPACI JACOB W

Inventor： HELMORE SIMON C ,  SACHS JASON ,  SCARPACI JACOB W

IPC: G01J4/00

CPC classification number: G01N21/21 ,  A61M1/14 ,  G01J4/04 ,  G01N21/90 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/0683

Abstract: Methods and apparatus for concentration determination using polarized light. The apparatus includes a first polarized light source having a first light source polarization axis and a second polarized light source having a second light source polarization axis generally perpendicular to the first light source polarization axis. Also, a first polarized light receiver having a first polarized light receiver polarization axis and configured to measure an intensity of light transmitted from the first light receiver polarizer and a second polarized light receiver having a second polarized light receiver polarization axis substantially perpendicular to the first light receiver polarization axis and configured to measure an intensity of light transmitted from the second light receiver polarizer, wherein the first and second light receiver polarization axes are generally +/- 45 degrees relative to the first and second light source polarization axes.

Abstract translation: 使用偏振光进行浓度测定的方法和装置。 该装置包括具有第一光源偏振轴的第一偏振光源和具有大致垂直于第一光源偏振轴的第二光源偏振轴的第二偏振光源。 此外，具有第一偏振光接收偏振轴并被配置为测量从第一光接收偏振器透射的光的强度的第一偏振光接收器和具有基本上垂直于第一光的第二偏振光接收偏振轴的第二偏振光接收器 接收器偏振轴并且被配置为测量从第二光接收偏振器透射的光的强度，其中第一和第二光接收偏振轴相对于第一和第二光源偏振轴通常为+/- 45度。

公开(公告)号：WO2009118148A1

公开(公告)日：2009-10-01

申请号：PCT/EP2009/002136

申请日：2009-03-24

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V. ,  STRAAIJER, Alexander

Inventor： STRAAIJER, Alexander

IPC: G01B11/06 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70608 ,  G01B11/0641 ,  G01J4/04 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501

Abstract: Four separately polarized beams are simultaneously measured upon diffraction from a substrate (W) to determine properties of the substrate. Linearly, circularly or elliptically polarized radiation is transmitted through a first beam splitter (N-PBS) and split into two polarized beams. These two beams are further split into two further beams using two further beam splitters, the further beam splitters (32,34) being rotated by 45° with respect to each other. The plurality of polarizing beam splitters enables the measurement of the intensity of all four beams and thus the measurement of the phase modulation and amplitude of the combined beams to give the features of the substrate. Algorithms are used to compare the four intensities of each of the polarized angles to give rise to the phase difference between the polarization directions and the ratio between the two main polarization direction amplitudes of the original polarized beam.

Abstract translation: 在从基底（W）衍射时同时测量四个分离的偏振光束，以确定基底的性质。 线性，圆形或椭圆偏振辐射通过第一分束器（N-PBS）传输并分裂成两个偏振光束。 使用两个另外的分束器将这两个光束进一步分成两个另外的光束，另外的光束分离器（32,34）相对于彼此旋转45°。 多个偏振分束器能够测量所有四个光束的强度，从而测量组合光束的相位调制和振幅，以给出衬底的特征。 算法用于比较每个偏振角的四个强度，以产生偏振方向之间的相位差和原始偏振光束的两个主偏振方向幅度之间的比率。

公开(公告)号：WO2007130001A3

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：PCT/US2006011059

申请日：2006-03-28

Applicant: UNIV AKRON ,  GIAKOS GEORGE

Inventor： GIAKOS GEORGE

IPC: G01B11/16 ,  G01J3/447 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21

CPC classification number: G01J3/447 ,  B82Y10/00 ,  B82Y20/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21

Abstract: The present invention relates to a multi-energy system that generates and/or forms images of targets/structures by applying Mueller matrix imaging principles and/or Stokes polarimetric parameter imaging principles to data obtained by the multi-energy system. In one embodiment, the present invention utilizes at least one energy or light source to generate two or more Mueller matrix and/or Stokes polarization parameters images of a target/structure, and evaluates the Mueller matrix/Stokes polarization parameters multi-spectral difference(s) between the two or more images of the target/structure. As a result, high contrast, high specificity images can be obtained. Additional information can be obtained by and/or from the present invention through the application of image, Mueller matrix decomposition, and/or image reconstruction techniques that operate directly on the Mueller matrix and/or Stokes polarization parameters.

Abstract translation: 本发明涉及通过将穆勒矩阵成像原理和/或斯托克斯极化参数成像原理应用于由多能量系统获得的数据来产生和/或形成目标/结构的图像的多能量系统。 在一个实施例中，本发明利用至少一个能量或光源来产生目标/结构的两个或更多个穆勒矩阵和/或斯托克斯偏振参数图像，并评估穆勒矩阵/斯托克斯偏振参数多光谱差异 ）在目标/结构的两个或更多个图像之间。 结果，可以获得高对比度，高特异性的图像。 通过应用直接在穆勒矩阵和/或斯托克斯偏振参数上操作的图像，穆勒矩阵分解和/或图像重建技术，可以通过和/或从本发明获得附加信息。

公开(公告)号：WO2007124930A1

公开(公告)日：2007-11-08

申请号：PCT/EP2007/003751

申请日：2007-04-27

Applicant: MICRONIC LASER SYSTEMS AB ,  SANDSTRÖM, Torbjörn

Inventor： SANDSTRÖM, Torbjörn

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01B9/02011 ,  G01B9/0209 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J4/04 ,  G01J9/02 ,  G01N21/21 ,  G01N2021/95676

Abstract: This application discloses a new method to record an image. It relates to microscopy and surface analysis in many scientific and technical fields. In particular it relates to the imaging and inspection of surfaces used in microelectronics: non-patterned and patterned wafers and photomasks. In the sense that it records electric amplitude, it relates to holography. Applications include microscopy, defect inspection, scatterometry, and optical metrology.

Abstract translation: 本申请公开了一种记录图像的新方法。 它涉及许多科学和技术领域的显微镜和表面分析。 特别涉及用于微电子学中的表面的成像和检查：非图案化和图案化的晶片和光掩模。 在它记录电幅度的意义上，它涉及全息术。 应用包括显微镜，缺陷检查，散射测量和光学测量。

公开(公告)号：WO2007099791A1

公开(公告)日：2007-09-07

申请号：PCT/JP2007/052844

申请日：2007-02-16

Applicant: 国立大学法人東京農工大学 ,  大谷 幸利 ,  安里 直樹 ,  若山 俊隆

Inventor： 大谷 幸利 ,  安里 直樹 ,  若山 俊隆

IPC: G01N21/23

CPC classification number: G01N21/21 ,  G01J4/04 ,  G01N21/23

Abstract:   計測装置は、分析の対象である分析対象光の偏光状態を計測する装置であって、リターダ２２及び検光子２４を含む変調部２０と、変調部で分析対象光を変調させることによって得られる変調光の光強度情報を取得する光強度情報取得部３０と、光強度情報に基づいて分析対象光の偏光特性要素を算出する演算処理部５０と、を含む。光強度情報取得部は、リターダ及び検光子の主軸方位の少なくとも一方が異なる第１～第Ｎの主軸方位条件に設定された変調部で分析対象光を変調させることによって得られる第１～第Ｎの変調光の光強度情報を取得する。演算処理部は、第１～第Ｎの変調光の光強度の理論式と、第１～第Ｎの光強度情報とに基づいて、偏光特性要素算出処理を行う。

Abstract translation: 用于测量分析对象光的偏振状态的仪器包括具有延迟器（22）和分析器（24）的调制部（20），用于获取获得的调制光的光强度信息的光强度信息获取部（30） 通过调制调制部分的分析对象光，以及基于光强度信息计算分析对象光的偏振特性元素的处理部（50）。 光强度信息获取部分获取通过调制在延迟器和分析器的主轴取向中的至少一个被设置为不同条件的调制部分处的分析对象光而获得的第一至第N调制光的光强度信息 的第一到第N主轴定向。 处理部根据第一至第N调制光的光强度的理论公式和第一〜第N调制光的光强度信息，进行用于计算偏振特性要素的处理。

公开(公告)号：WO2007006630A1

公开(公告)日：2007-01-18

申请号：PCT/EP2006/063435

申请日：2006-06-22

Applicant: GRAU, Günter

Inventor： GRAU, Günter

IPC: G02B5/30 ,  G01J1/42 ,  H01L31/0232

CPC classification number: G02B5/3025 ,  G01J4/04 ,  H01L27/14625 ,  H04N13/341

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren zur Herstellung polarisationsempfindlicher bzw. polarisierender Filter sowie die Anwendung auf polarisationsempfindliche Photosensoren zur Messung der Polarisation des einfallenden Lichts, Ausgestaltungen von polarisationsempfindlichen Sensoren zur Messung von Drehwinkeln und starken elektrischen oder magnetischen Feldern sowie weiterhin polarisationserzeugende Wiedergabegeräte und Ausgestaltungen von polarisationserzeugenden Wiedergabegeräten zur Reproduktion polarisierter Signale oder zur Wiedergabe unabhängiger Signale.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于生产偏振敏感或偏振滤光器和用于测量所述入射光的偏振使用偏振敏感光传感器的方法，用于测量的旋转角度和强电场或磁场以及进一步极化生成步骤，生成用于再现装置再现的装置和偏振的实施例的偏振敏感的传感器的实施例 再现极化信号或再现的独立信号。

公开(公告)号：WO2006083944A1

公开(公告)日：2006-08-10

申请号：PCT/US2006/003512

申请日：2006-02-01

Applicant: INTERGRAPH SOFTWARE TECHNOLOGIES COMPANY ,  WHITAKER, Shelia G.

Inventor： WHITAKER, Shelia G.

IPC: G06K7/10 ,  G01J4/04

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G06K7/10712 ,  G06K2009/3225 ,  G06T7/11 ,  G06T7/136 ,  G06T2207/30204

Abstract: The present invention relates to a system and method of detecting polarized identification indicia in real-time. A frame of image data is provided (110) having a plurality of pixels, wherein each pixel includes polarized light intensity information. An intensity value is determined for each of the pixels from the polarized light intensity information (120). A first portion of the pixels having intensity values within an intensity range is selected (130, 140). The pixels in the first portion having similar angle of linear polarization values within a tolerance range are analyzed (180), thereby detecting the polarized identification indicia in the image data (190).

Abstract translation: 本发明涉及实时检测偏振识别标记的系统和方法。 提供具有多个像素的图像数据帧（110），其中每个像素包括偏振光强度信息。 从偏振光强度信息（120）中确定每个像素的强度值。 选择具有强度范围内的强度值的像素的第一部分（130,140）。 分析第一部分中具有相似角度的线偏振值在公差范围内的像素（180），从而检测图像数据（190）中的偏振识别标记。

公开(公告)号：WO2005029015A2

公开(公告)日：2005-03-31

申请号：PCT/US2004/015046

申请日：2004-05-13

Applicant: THE UNIVERSITY OF AKRON ,  GIAKOS, George, C.

Inventor： GIAKOS, George, C.

IPC: G01J

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/36 ,  G01J3/433 ,  G01J3/447 ,  G01N21/21

Abstract: A multi-energy polarization imaging method consisting of a multi-fusion, dual-rotating retarder / multiple-energy complete Mueller matrix-based polarimeter and dual-energy capabilities, has been invented. The term multifusion describes the use of several imaging functions altogether such as polarimetric imaging, dual-energy subtraction, multifocal imaging and other. By substracting polarimetric parameters such as degree of polarization, degree of linear polarization, degree of circular polarization, respectively, obtained with interrogation light beams of wavelengths λ 1 and λ 2 , he system, enhanced imaging is obtained. The system includes a light source for illuminating a target with a first quantity of light having a first wavelength and a second quantity of light having a second wavelength, the first and second wavelengths being different. A polarization-state generator generates a polarization state for each of the first and second quantities of light, and includes a first polarizer through which the first and second quantities of light are transmitted before entering a first waveplate. A polarization-state receiver evaluates a resulting polarization state of the first and second quantities of light following illumination of the target, the polarization-state receiver including a second waveplate through which the first and second quantittes of light are transmitted before entering a second polarizer. An optical image-capture device captures a first image of the target illuminated by the first quantity of light and a second image of the target illuminated by the second quantity of light. A processing unit assigns a weighting factor to at least one of the first and second images and evaluates a weighted difference between the first and second images to generate a multi-energy image of the target.

Abstract translation: 已经发明了由多融合，双旋转延迟器/多能量完全Mueller基于矩阵的旋光仪和双能量能量组成的多能量偏振成像方法。 术语multifusion描述了几种成像功能的使用，例如极化成像，双能量减影，多焦点成像等。 通过减去分别用波长λ1和λ2的询问光束获得的极化度，极化度，线偏振度，圆偏振度等极化参数，他 系统，获得增强的成像。 该系统包括用于利用具有第一波长的第一光量和具有第二波长的第二光量照射目标的光源，第一和第二波长不同。 偏振态发生器为第一和第二光量中的每一个产生偏振态，并且包括第一偏振器，在进入第一波片之前，第一和第二光量通过该第一偏振器传输。 偏振态接收器评估在目标照射之后第一和第二光量的偏振状态，该偏振状态接收器包括第二波片，在进入第二偏振器之前，第一和第二量子光通过该第二波片传输。 光学图像捕获装置捕获由第一数量的光照射的目标的第一图像和由第二数量的光照射的目标的第二图像。 处理单元向第一和第二图像中的至少一个分配加权因子并评估第一和第二图像之间的加权差值以生成目标的多能量图像。