公开(公告)号：US20080113174A1

公开(公告)日：2008-05-15

申请号：US12003353

申请日：2007-12-21

Applicant: Tatsuhiro Sato ,  Nobumasa Yoshida ,  Mamoru Endo

Inventor： Tatsuhiro Sato ,  Nobumasa Yoshida ,  Mamoru Endo

IPC: C03B19/00 ,  B32B18/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/09 ,  C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/40

Abstract: As a jig material to use under plasma reaction for producing semiconductors, the present invention provides a quartz glass having resistance against plasma corrosion, particularly corrosion resistance against fluorine-based plasma gases, and which is usable without causing anomalies to silicon wafers; the present invention furthermore provides a quartz glass jig, and a method for producing the same. A quartz glass containing 0.1 to 20 wt % in total of two or more types of metallic elements, said metallic elements comprising at least one type of metallic element selected from Group 3B of the periodic table as a first metallic element and at least one type of metallic element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, lanthanoids, and actinoids as a second metallic element, provided that the maximum concentration of each of the second metallic elements is 1.0 wt % or less.

Abstract translation: 作为制造半导体的等离子体反应中使用的夹具材料，本发明提供一种具有耐等离子体腐蚀性，特别是耐氟等离子体气体的耐腐蚀性的石英玻璃，可以在不引起硅晶片异常的情况下使用; 本发明还提供一种石英玻璃夹具及其制造方法。 含有0.1〜20重量％的两种以上金属元素的石英玻璃，所述金属元素包含选自元素周期表第3B族的至少一种金属元素作为第一金属元素和至少一种 金属元素选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素作为第二金属元素，条件是每个第二金属元素的最大浓度为1.0 wt％以下。

公开(公告)号：US20070218290A1

公开(公告)日：2007-09-20

申请号：US11597358

申请日：2005-06-23

Applicant: Markku Rajala ,  Pekka Soininen ,  Lauri Niinisto ,  Matti Putkonen ,  Joe Pimenoff ,  Jani Paivasaari

Inventor： Markku Rajala ,  Pekka Soininen ,  Lauri Niinisto ,  Matti Putkonen ,  Joe Pimenoff ,  Jani Paivasaari

IPC: C03C17/09 ,  C03B25/02

CPC classification number: C03C21/00 ,  C03B37/01853 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C11/00 ,  C03C21/007 ,  C03C23/0005 ,  C23C16/40 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/45555 ,  C30B25/02 ,  C30B31/08 ,  C30B31/16 ,  Y10T428/31504

Abstract: The invention relates to a method for doping material, the method being characterized by depositing at least one dopant deposition layer or a part thereof on the surface of the material and/or on a surface of a part or parts thereof with the atom layer deposition (ALD) method, and further processing the material coated with a dopant in such a manner that the original structure of the dopant layer is changed to obtain new properties for the doped material. The material to be doped is preferably glass, ceramic, polymer, metal, or a composite material made thereof, and the further processing of the material coated with the dopant is a mechanical, chemical, radiation, or heat treatment, whereby the aim is to change the refraction index, absorbing power, electrical and/or heat conductivity, colour, or mechanical or chemical durability of the doped material.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于掺杂材料的方法，该方法的特征在于：在原料层沉积物的一部分或多个表面上沉积至少一种掺杂剂沉积层或其一部分在材料表面上和/或其表面上 ALD）方法，并且进一步处理涂覆有掺杂剂的材料，使得改变掺杂剂层的原始结构以获得掺杂材料的新特性。 待掺杂的材料优选是玻璃，陶瓷，聚合物，金属或由其制成的复合材料，并且用掺杂剂涂覆的材料的进一步加工是机械，化学，辐射或热处理，其目的是 改变掺杂材料的折射率，吸收能力，电导率和/或热导率，颜色或机械或化学耐久性。

公开(公告)号：US07181116B2

公开(公告)日：2007-02-20

申请号：US11131927

申请日：2005-05-18

Applicant: George H. Sigel, Jr. ,  Daniel S. Homa

Inventor： George H. Sigel, Jr. ,  Daniel S. Homa

IPC: G02B6/02 ,  C03B37/18

CPC classification number: C03B37/01807 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/22 ,  C03B2207/81 ,  C03B2207/90 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54

Abstract: A preform for a low loss fiber optic cable and method and apparatus for fabricating such a preform is provided. The method includes providing AlCl3 and CVD precursors and locally doping CaCl3. Alkali and/or alkaline earth fluxing agents can be introduced. The alkali and/or alkaline earths are doped along with the aluminum into the silica glass core.

Abstract translation: 提供了一种用于低损耗光纤电缆的预成型件以及用于制造这种预制件的方法和装置。 该方法包括提供AlCl 3和CVD前体并局部掺杂CaCl 3。 可以引入碱和/或碱土助熔剂。 碱和/或碱土金属与铝一起掺入石英玻璃芯中。

公开(公告)号：US07139458B2

公开(公告)日：2006-11-21

申请号：US11039041

申请日：2005-01-19

Applicant: Joohyun Koh ,  Christine L. Tennent ,  Donnell T. Walton ,  Ji Wang ,  Luis A Zenteno

Inventor： Joohyun Koh ,  Christine L. Tennent ,  Donnell T. Walton ,  Ji Wang ,  Luis A Zenteno

IPC: G02B6/036

CPC classification number: C03C13/046 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/04 ,  C03B2203/10 ,  C03B2203/12 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/32 ,  H01S3/06708

Abstract: An optical fiber comprising: (i) a silica based, rare earth doped core having a first index of refraction n1; (ii) a silica based inner cladding surrounding the core having a second index of refraction n2, such that n1>n2; (iii) a silica based outer cladding surrounding the inner cladding having a third index of refraction n3 such that n2>n3, wherein inner cladding diameter is at least 125 μm.

Abstract translation: 一种光纤，包括：（i）具有第一折射率n 1的二氧化硅基稀土掺杂的核; （ii）围绕所述芯的基于二氧化硅的内包层，具有第二折射率n 2 2，使得n 1 n 2; （iii）围绕所述内包层的基于二氧化硅的外包层，其具有第三折射率n 3 3，使得n 2 2 N 3 N 3，其中 内包层直径至少为125μm。

公开(公告)号：US20060088261A1

公开(公告)日：2006-04-27

申请号：US11058309

申请日：2005-02-14

Applicant: George Berkey ,  Xin Chen ,  Joohyun Koh ,  Ming-Jun Li ,  Daniel Nolan ,  Donnell Walton ,  Ji Wang ,  Luis Zenteno

Inventor： George Berkey ,  Xin Chen ,  Joohyun Koh ,  Ming-Jun Li ,  Daniel Nolan ,  Donnell Walton ,  Ji Wang ,  Luis Zenteno

IPC: G02B6/02

CPC classification number: G02B6/03666 ,  C03B37/01234 ,  C03B37/01245 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/14 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/12 ,  C03B2203/23 ,  C03B2207/90 ,  G02B6/023 ,  G02B6/024 ,  G02B6/03611 ,  G02B6/03661 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/0672 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1695

Abstract: An optical fiber, comprising: (i) a rare earth doped silica based elongated core with a first refractive index (n1) with an aspect ratio of 1:5 to 1; (ii) a silica based moat abutting and at least substantially surrounding the core, the moat having a refractive index n2, wherein n2 n3; and n3>n2; (iv) a silica based outer cladding surrounding said inner cladding, the outer cladding having a fourth refractive index (n4), such that n4

Abstract translation: 一种光纤，包括：（i）具有长宽比为1:5至1的第一折射率（n <1> 1）的稀土掺杂二氧化硅基细长芯; （ii）邻接并且至少基本上围绕所述芯的基于二氧化硅的护城河，所述护城河具有折射率n 2 N 2，其中n 2 ; （iii）围绕所述护城河的基于二氧化硅的内包层，所述内包层具有第三折射率（n 3/3），其中n 1 <3> n 3 < SUB>; 和n 3 3 n 2; （iv）围绕所述内包层的基于二氧化硅的外包层，所述外包层具有第四折射率（n≥4），使得n 4 光纤在工作波长带表现出单极化。

公开(公告)号：US20050272588A1

公开(公告)日：2005-12-08

申请号：US11076944

申请日：2005-03-11

Applicant: Tatsuhiro Sato ,  Nobumasa Yoshida ,  Mamoru Endo

Inventor： Tatsuhiro Sato ,  Nobumasa Yoshida ,  Mamoru Endo

IPC: C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/09 ,  C03B19/14 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/09 ,  C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/40

Abstract: As a jig material to use under plasma reaction for producing semiconductors the present invention provides a quartz glass having resistance against plasma corrosion, particularly corrosion resistance against fluorine-based plasma gases, and which is usable without causing anomalies to silicon wafers; the present invention furthermore provides a quartz glass jig, and a method for producing the same. A quartz glass containing 0.1 to 20 wt % in total of two or more types of metallic elements, said metallic elements comprising at least one type of metallic element selected from Group 3B of the periodic table as a first metallic element and at least one type of metallic element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, lanthanoids, and actinoids as a second metallic element, provided that the maximum concentration of each of the second metallic elements is 1.0 wt % or less.

Abstract translation: 作为用于制造半导体的等离子体反应的夹具材料，本发明提供了具有耐等离子体腐蚀性，特别是耐氟基等离子体气体的耐腐蚀性的石英玻璃，其可以在不引起硅晶片异常的情况下使用; 本发明还提供一种石英玻璃夹具及其制造方法。 含有0.1〜20重量％的两种以上金属元素的石英玻璃，所述金属元素包含选自元素周期表第3B族的至少一种金属元素作为第一金属元素和至少一种 金属元素选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素作为第二金属元素，条件是每个第二金属元素的最大浓度为1.0 wt％以下。

公开(公告)号：US06970630B2

公开(公告)日：2005-11-29

申请号：US10154572

申请日：2002-05-23

Applicant: George H. Sigel, Jr. ,  Daniel S. Homa

Inventor： George H. Sigel, Jr. ,  Daniel S. Homa

IPC: C03B37/018 ,  C03C13/04 ,  G02B6/02

CPC classification number: C03B37/01807 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/22 ,  C03B2207/81 ,  C03B2207/90 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54

Abstract: A preform for a low loss fiber optic cable and method and apparatus for fabricating such a preform is provided. The method includes providing AlCl3 and CVD precursors and locally doping CaCl3. Alkali and/or alkaline earth fluxing agents can be introduced. The alkali and/or alkaline earths are doped along with the aluminum into the silica glass core.

Abstract translation: 提供了一种用于低损耗光纤电缆的预成型件以及用于制造这种预制件的方法和装置。 该方法包括提供AlCl 3和CVD前体并局部掺杂CaCl 3。 可以引入碱和/或碱土助熔剂。 碱和/或碱土金属与铝一起掺入石英玻璃芯中。

公开(公告)号：US20030147620A1

公开(公告)日：2003-08-07

申请号：US10299224

申请日：2002-11-19

Applicant: 3M Innovative Properties Company

Inventor： Mark T. Anderson ,  Craig R. Schardt ,  James R. Onstott ,  Kenton D. Budd

IPC: G02B006/00 ,  G02B006/16

CPC classification number: G02B6/03622 ,  C03B19/102 ,  C03B19/1065 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/29 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/067 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/0677 ,  H01S3/06775 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  Y02P40/57

Abstract: A germanium-free co-doped silicate optical waveguide in accordance with the present invention includes a core material comprising silica, and oxides of aluminum, lanthanum, erbium and thulium, wherein the concentration of Er is from 15 ppm to 3000 ppm; Al is from 0.5 mol % to 15 mol %; La is less than 2 mol %; and Tm is from 150 ppm to 10000 ppm. In an exemplary specific embodiment the concentration of Al is from 4 mol % to 10 mol %; and the concentration of Tm is from 150 ppm to 3000 ppm. The core may further include F. In an exemplary embodiment, the concentration of F is less than or equal to 6 mol %. The waveguide may be an optical fiber, a shaped fiber or other light-guiding waveguides. An amplifier according to the present invention includes the optical fiber described above.

Abstract translation: 根据本发明的无锗共掺杂硅酸盐光波导包括二氧化硅和铝，镧，铒和and的氧化物的核心材料，其中Er的浓度为15ppm至3000ppm; Al为0.5摩尔％〜15摩尔％。 La小于2mol％; Tm为150ppm〜10000ppm。 在一个示例性具体实施方案中，Al的浓度为4mol％至10mol％; Tm的浓度为150ppm〜3000ppm。 芯可以进一步包括F.在一个示例性实施方案中，F的浓度小于或等于6mol％。 波导可以是光纤，成形光纤或其他导光波导。 根据本发明的放大器包括上述光纤。

公开(公告)号：US20030147619A1

公开(公告)日：2003-08-07

申请号：US10299222

申请日：2002-11-19

Applicant: 3M Innovative Properties Company

Inventor： Mark T. Anderson ,  Craig R. Schardt ,  James R. Onstott ,  Kenton D. Budd

IPC: G02B006/00 ,  G02B006/16

CPC classification number: G02B6/03622 ,  C03B19/102 ,  C03B19/1065 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/29 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/067 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/0677 ,  H01S3/06775 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/2982

Abstract: A co-doped silicate optical waveguide having a core including silica, and oxides of aluminum, germanium, erbium and thulium. The composition concentrations are: Er from 15 ppm to 3000 ppm; Al from 0.5 mol % to 12 mol %; Tm from 15 ppm to 10000 ppm; and Ge from 1 mol % to 20 mol %. In a specific embodiment, the concentration of Er is from 150 ppm to 1500 ppm; Al is from 2 mol % to 8 mol %; and Tm is from 15 ppm to 3000 ppm. A boron-less cladding surrounds the core.

Abstract translation: 一种具有包括二氧化硅的芯和铝，锗，铒和and的氧化物的共掺杂硅酸盐光波导。 组成浓度为：从15ppm至3000ppm的Er; Al为0.5mol％至12mol％; Tm从15ppm到10000ppm; Ge为1mol％至20mol％。 在一个具体实施方案中，Er的浓度为150ppm至1500ppm; Al为2mol％至8mol％; Tm为15ppm〜3000ppm。 不含核的包层围绕着芯。

公开(公告)号：US06578387B2

公开(公告)日：2003-06-17

申请号：US09492925

申请日：2000-01-28

Applicant: Kanishka Tankala

Inventor： Kanishka Tankala

IPC: C03B37018

CPC classification number: C03B37/01838 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36

Abstract: The present invention discloses a method of fabricating rare earth-doped preforms for optical fibers. A silica soot is deposited as a layer with high porosity on an inner surface of a silica-based tube by a modified chemical vapor deposition (MCVD) process at a temperature high enough to produce the silica soot but low enough to avoid sintering of the soot into the silica-based tube. The silica-based tube is then immersed in a solution including a rare earth element and a codopant element for impregnation. The excess solution is drained and the silica-based tube is dried in a stream of chlorine and inert gas at an elevated temperature. Then, the rare earth element and the codopant element are oxidized under an oxygen partial pressure at a temperature high enough to overcome kinetic limitations against oxidation. Finally, the soot layer is consolidated while flowing a mixture of chlorides of a second codopant element and oxygen at a sintering temperature at which the second codopant element reacts with oxygen to form codopant oxide which is delivered around the rare earth element oxide deposited in the soot layer. In the method of the current invention, one or more rare earth elements are codoped with preferred codopants including but not limited to Ge, Al, P and/or B to enhance the performance of the rare earth ions. Other dopants may also be used in conjunction with the preferred dopants for modifying the refractive index of the core.

Abstract translation: 本发明公开了一种制造用于光纤的稀土掺杂预制棒的方法。 通过改进的化学气相沉积（MCVD）工艺在二氧化硅基管的内表面上沉积具有高孔隙率的二氧化硅烟灰，其温度足够高以产生二氧化硅烟灰，但足够低以避免烟灰的烧结 进入二氧化硅基管。 然后将二氧化硅基管浸入包括稀土元素和共掺杂元素的溶液中以进行浸渍。 排出过量的溶液，并将二氧化硅基管在升高的温度下在氯气和惰性气体流中干燥。 然后，稀土元素和共掺杂元素在足够高的温度下在氧分压下氧化，以克服对氧化的动力学限制。 最后，在第二共掺杂元素与氧反应的烧结温度下流过第二共掺杂元素和氧的氯化物的混合物而固化烟灰层，以形成在沉积在烟炱中的稀土元素氧化物周围输送的共氧化物氧化物 层。 在本发明的方法中，一种或多种稀土元素与优选的共掺混合物共混，包括但不限于Ge，Al，P和/或B以提高稀土离子的性能。 其它掺杂剂也可与优选的掺杂剂结合使用以改变芯的折射率。