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公开(公告)号：CN1285526C
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN02813049.9
申请日：2002-06-27
IPC: C03C3/06 , C03B20/00 , C01B33/158
CPC classification number: C03B19/1065 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/23 , C03C1/026 , C03C3/06 , C03C2201/02
Abstract: 本发明是以碱金属硅酸盐为来源、总金属杂质量为1μg/g或以下的高纯度合成石英玻璃粒子，是特别具有氧缺乏缺陷的高纯度合成石英玻璃粒子。它象天然石英那样具有高粘性，且象现有的合成石英那样为高纯度，而且成本低。
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公开(公告)号：CN1966762B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN200610095864.1
申请日：2002-01-18
IPC: C23C16/448 , C23C16/52
CPC classification number: H01L27/11502 , B01B1/005 , B01D3/346 , B01F3/04021 , B01F5/0646 , B01F5/0653 , B01F5/0656 , B01F5/0671 , B01F5/0676 , C23C16/40 , C23C16/409 , C23C16/4486 , H01L21/02197 , H01L21/02205 , H01L21/02271 , H01L21/31691 , H01L27/11507 , H01L28/55 , Y10S261/65
Abstract: 一种可长期使用而不会阻塞、并且能够向反应部稳定供给原料的汽化器包括分散部(8)，所述分散部包括：形成在分散部本体(1)内部的气体通道(2)，将加压运载气体(3)引入气体通道(2)的气体入口(4)，将原料溶液(5)供给到流过气体通道(2)的运载气体的装置(6)，将包括原料溶液(5)的运载气体送到汽化部(22)的气体出口(7)，和用于冷却在气体通道(2)内流动的运载气体的装置(18)；用于加热和汽化从分散部送来的包括雾化的原料溶液的运载气体的汽化部(22)，所述汽化部包括其一端与诸如沉积装置的各种装置的反应部连接、另一端与所述气体出口(7)连接的汽化管(20)，和用于加热汽化管(20)的加热装置(21)；以及安装在所述气体出口(7)外侧的具有小孔(101)的防辐射部件(102)。
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公开(公告)号：CN102272913A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201080004280.3
申请日：2010-01-12
IPC: H01L21/677 , H01L21/304
CPC classification number: B28D5/0082 , B65G59/02 , H01L21/02052 , H01L21/67057 , H01L21/67092 , H01L31/18
Abstract: 提供一种虽然价格便宜并小型，但能提高分离·输送时的晶片的分离性能，并能抑制分离·输送时的晶片破损等情况的发生的晶片分离装置。具有：卡带(12)，其将被成片化的多片晶片(W)按紧贴状态的纵向放置的方式装入，并且至少上下地开放；和卡带支撑体(13)，其以可安装拆卸的方式支撑卡带(12)，并且至少上下地开放；和升降装置(14)，其使卡带支撑体(13)与卡带(12)一体升降；液槽(16)，其装有在升降装置(14)下降时将卡带支撑体(13)与卡带(12)一体浸渍的液体；和喷嘴(17)，其设置在液槽(16)内，从卡带支撑体(13)的下方向多片晶片(W)喷出细微气泡；和细微气泡生成装置(18)，其生成从喷嘴(17)喷出的细微气泡。
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公开(公告)号：CN1541194A
公开(公告)日：2004-10-27
申请号：CN02813049.9
申请日：2002-06-27
IPC: C03C3/06 , C03B20/00 , C01B33/158
CPC classification number: C03B19/1065 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/23 , C03C1/026 , C03C3/06 , C03C2201/02
Abstract: 本发明是以碱金属硅酸盐为来源、总金属杂质量为1μg/g或以下的高纯度合成石英玻璃粒子，是特别具有氧缺乏缺陷的高纯度合成石英玻璃粒子。它象天然石英那样具有高粘性，且象现有的合成石英那样为高纯度，而且成本低。
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