公开(公告)号：CN102272913A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN201080004280.3

申请日：2010-01-12

Applicant: 株式会社艾克萨 ,  株式会社渡边商行

Inventor： 楠原一树 ,  纲岛共平

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/0082 ,  B65G59/02 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67092 ,  H01L31/18

Abstract: 提供一种虽然价格便宜并小型，但能提高分离·输送时的晶片的分离性能，并能抑制分离·输送时的晶片破损等情况的发生的晶片分离装置。具有：卡带(12)，其将被成片化的多片晶片(W)按紧贴状态的纵向放置的方式装入，并且至少上下地开放；和卡带支撑体(13)，其以可安装拆卸的方式支撑卡带(12)，并且至少上下地开放；和升降装置(14)，其使卡带支撑体(13)与卡带(12)一体升降；液槽(16)，其装有在升降装置(14)下降时将卡带支撑体(13)与卡带(12)一体浸渍的液体；和喷嘴(17)，其设置在液槽(16)内，从卡带支撑体(13)的下方向多片晶片(W)喷出细微气泡；和细微气泡生成装置(18)，其生成从喷嘴(17)喷出的细微气泡。