公开(公告)号：US10527645B2

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：US15744033

申请日：2016-07-12

Applicant: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  VMICRO

Inventor： Benjamin Walter ,  Marc Faucher

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10 ,  G01Q20/02 ,  G01Q20/04 ,  G01Q30/14 ,  G01Q60/40 ,  G01Q70/06 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/30 ,  G01Q60/58

Abstract: A probe for atomic force microscopy comprises a tip for atomic force microscopy oriented in a direction referred to as the longitudinal direction and protrudes from an edge of a substrate in the longitudinal direction, wherein the tip is arranged at one end of a shuttle attached to the substrate at least via a first and via a second structure, which structures are referred to as support structures, at least the first support structure being a flexible structure, extending in a direction referred to as the transverse direction, perpendicular to the longitudinal direction and anchored to the substrate by at least one mechanical linkage in the transverse direction, the support structures being suitable for allowing the shuttle to be displaced in the longitudinal direction. An atomic force microscope comprising at least one such probe is also provided.

公开(公告)号：US20180113149A1

公开(公告)日：2018-04-26

申请号：US15788689

申请日：2017-10-19

Applicant: VMICRO ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  UNIVERSITE LILLE-1

Inventor： Benjamin WALTER ,  Marc FAUCHER ,  Estelle MAIRIAUX-MAGE

IPC: G01Q20/02 ,  G01Q60/38

CPC classification number: G01Q20/02 ,  G01Q10/045 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10

Abstract: A probe for atomic force microscopy comprises a tip for atomic force microscopy oriented in a longitudinal direction, wherein: the tip is arranged at one end of a sensitive part of the probe, which is movable or deformable and linked to a support structure, which is anchored to the main surface of the substrate; the sensitive portion and the support structure are planar elements, extending mainly in planes that are parallel to the main surface of the substrate; the sensitive portion is linked to the support structure via at least one element allowing the sensitive portion to be displaced or to be extended in this direction; and the tip, the sensitive part and the support structure protrude from an edge of the substrate in the longitudinal direction. An atomic force microscope comprising at least one such probe is also provided.

公开(公告)号：FR3107962B1

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：FR2002307

申请日：2020-03-09

Applicant: VMICRO

Inventor： WALTER BENJAMIN

IPC: G01Q70/02 ,  G01Q40/02

Abstract: L’invention concerne un dispositif de détection destiné à être inséré dans un berceau (40) d’un microscope à sonde locale (50). Le dispositif de détection comprend une sonde (20A, 20B, 20C) comportant un support (21A, 21B, 21C), un levier (22A, 22B, 22C) s’étendant à partir du support (21A, 21B, 21C), une pointe (23A, 23B, 23C) disposée à une extrémité du levier (22A, 22B,22C), à l’opposé dudit support (21A, 21B, 21C). La sonde (20A, 20B, 20C) a des dimensions réduites par rapport au berceau (40) et le dispositif de détection (30A, 30B, 30C) comprend un adaptateur (10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F) solidaire de la sonde (20A, 20B, 20C) pour adapter ladite sonde (20A, 20B, 20C) au berceau (40). L’adaptateur (10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F) est solidaire de la sonde (20A, 20B, 20C) par des moyens de collage comprenant au moins une colle. Figure pour l’abrégé : Fig. 12

公开(公告)号：FR3042905B1

公开(公告)日：2018-11-16

申请号：FR1560144

申请日：2015-10-23

Applicant: VMICRO ,  CENTRE NAT RECH SCIENT

Inventor： WALTER BENJAMIN ,  FAUCHER MARC

IPC: H01H59/00

Abstract: Dispositif microélectromécanique comprenant une structure mécanique (P1) s'étendant principalement selon une direction longitudinale (x), reliée à un substrat planaire (S) par au moins un ancrage (APLM, APLM2) situé à l'une de ses extrémités et susceptible de fléchir dans un plan parallèle au substrat, ladite structure mécanique comprenant une portion de raccord, qui la relie audit ou à chaque dit ancrage et qui inclut une région résistive (R1) présentant une première (PL1M1) et une deuxième (I2) zone d'injection d'un courant électrique pour former un transducteur résistif, ladite région résistive s'étendant principalement dans ladite direction longitudinale à partir dudit ou d'un dit ancrage et étant agencée de telle sorte qu'une flexion de ladite structure mécanique dans ledit plan parallèle au substrat induise dans ladite région résistive une contrainte moyenne non nulle et réciproquement; caractérisé en ce que : ladite première zone d'injection est portée par ledit ancrage ; et ladite deuxième zone d'injection est portée par un élément conducteur non fixé audit substrat et s'étendant principalement dans une direction dite latérale, sensiblement perpendiculaire à ladite direction longitudinale.

公开(公告)号：FR3055011B1

公开(公告)日：2018-08-17

申请号：FR1657760

申请日：2016-08-12

Applicant: VMICRO ,  CENTRE NAT RECH SCIENT ,  UNIV DES SCIENCES ET TECHNOLOGIES DE LILLE SAIC

Inventor： WALTER BENJAMIN ,  FAUCHER MARC ,  MAIRIAUX ESTELLE

IPC: B81B5/00 ,  B81B7/00 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/38

Abstract: Capteur micromécanique comprenant un élément micromécanique mobile (EMM) et un résonateur optique (ROP4) de type disque ou anneau, caractérisée en ce que - le résonateur optique présente au moins une interruption (GR1, GR2) ; et en ce que - l'élément micromécanique mobile est couplé mécaniquement au résonateur optique de telle façon qu'un mouvement de l'élément micromécanique mobile induit une modification de la largeur de l'interruption dudit résonateur optique en déplaçant au moins un bord de cette dernière dans une direction sensiblement parallèle à une direction de propagation de la lumière dans le résonateur en correspondance de l'interruption.

公开(公告)号：WO2021180347A1

公开(公告)日：2021-09-16

申请号：PCT/EP2020/080314

申请日：2020-10-28

Applicant: VMICRO

Inventor： WALTER, Benjamin

IPC: G01Q70/02

Abstract: L'invention concerne un dispositif de détection destiné à être inséré dans un berceau (40) d'un microscope à sonde locale (50). Le dispositif de détection comprend une sonde (20A, 20B, 20C) comportant un support (21A, 21B, 21C), un levier (22A, 22B, 22C) s'étendant à partir du support (21A, 21B, 21C), une pointe (23A, 23B, 23C) disposée à une extrémité du levier (22A, 22B,22C), à l'opposé dudit support (21A, 21B, 21C). La sonde (20A, 20B, 20C) a des dimensions réduites par rapport au berceau (40) et le dispositif de détection (30A, 30B, 30C) comprend un adaptateur (10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F) solidaire de la sonde (20A, 20B, 20C) pour adapter ladite sonde (20A, 20B, 20C) au berceau (40). L'adaptateur (10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F) est solidaire de la sonde (20A, 20B, 20C) par des moyens de collage comprenant au moins une colle ou par des moyens d'assemblage comprenant un matériau d'apport utilisé pour solidariser ledit adaptateur à ladite sonde au cours d'une opération de brasage.

公开(公告)号：WO2020157022A1

公开(公告)日：2020-08-06

申请号：PCT/EP2020/051960

申请日：2020-01-27

Applicant: UNIVERSITEIT GENT ,  IMEC VZW ,  VMICRO SAS ,  CNRS ,  ISEN YNCRÉA HAUTS-DE-FRANCE ,  UNIVERSITÉ DE LILLE ,  ECOLE CENTRALE DE LILLE ,  UNIVERSITÉ POLYTECHNIQUE HAUTS-DE-FRANCE

Inventor： KUYKEN, Bart ,  VANWOLLEGHEM, Mathias ,  VERSTUYFT, Mattias ,  WALTER, Benjamin ,  LAMPIN, Jean-François

IPC: G01N21/17

Abstract: An integrated photoacoustic transducer, sensing system and method for assisting in sensing a concentration of a species (108) in a fluid are disclosed. The integrated photoacoustic transducer comprises a waveguide structure (101) which is configured as an optical resonator for enhancing a modulated radiation signal. The waveguide structure (101) has an optical resonance which is spectrally overlapping a spectral absorption line or band of the species. The photoacoustic transducer further comprises at least one acoustic cavity (104) formed in a portion of the waveguide structure (101) and configured for receiving the fluid for sensing comprising the species. The at least one acoustic cavity (104) has an acoustic resonance which is spectrally overlapping with a harmonic of a modulation frequency. At least one acoustic transducer comprising a deformable mechanical portion (205) is also included in the photoacoustic transducer. The deformable mechanical portion (205) is in direct acoustic communication with the at least one acoustic cavity (104) and has an adjustable mechanical resonance, which can be brought into spectral overlap with an acoustic resonance of the least one acoustic cavity (104).

公开(公告)号：WO2018134377A1

公开(公告)日：2018-07-26

申请号：PCT/EP2018/051360

申请日：2018-01-19

Applicant: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES ,  UNIVERSITE PARIS DIDEROT - PARIS 7 DIDEROT VALORISATION ,  UNIVERSITE DES SCIENCES ET TECHNOLOGIES DE LILLE 1 ,  VMICRO

Inventor： LEGRAND, Bernard ,  HENTZ, Sébastien ,  DURAFFOURG, Laurent ,  FAVERO, Ivan ,  FAUCHER, Marc ,  ALLAIN, Pierre ,  WALTER, Benjamin

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/38 ,  G02B6/293

Abstract: Il est proposé une sonde (100) pour microscope à force atomique comprenant un résonateur optomécanique (102) et une pointe de sonde (103) faisant saillie du résonateur, le résonateur étant couplé à des moyens optiques configurés pour émettre un faisceau de lumière incident vers le résonateur et recevoir un faisceau de lumière émergent depuis le résonateur. Le résonateur optomécanique comprend un corps configuré pour résonner à la fois sur un mode de vibration mécanique de volume et sur un mode de vibration optique de volume, ledit mode de vibration optique étant couplé audit mode de vibration mécanique de telle sorte qu'une déformation mécanique dudit corps résonant selon ledit mode de vibration mécanique induit une modification de l'état de transmission de la lumière dudit mode de vibration optique, venant modifier le faisceau de lumière émergent.

公开(公告)号：US11761884B2

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：US17310242

申请日：2020-01-27

Applicant: UNIVERSITEIT GENT ,  IMEC VZW ,  VMICRO SAS ,  CNRS ,  ISEN YNCRÉA HAUTS-DE-FRANCE ,  UNIVERSITÉ DE LILLE ,  ECOLE CENTRALE DE LILLE ,  UNIVERSITÉ POLYTECHNIQUE HAUTS-DE-FRANCE

Inventor： Bart Kuyken ,  Mathias Vanwolleghem ,  Mattias Verstuyft ,  Benjamin Walter ,  Jean-Francois Lampin

IPC: G01N21/17

CPC classification number: G01N21/1702 ,  G01N2021/1704 ,  G01N2201/06113

Abstract: An integrated photoacoustic transducer, sensing system and method for assisting in sensing a concentration of a species in a fluid such that the integrated photoacoustic transducer includes a waveguide structure. The waveguide structure has an optical resonance spectrally overlapping a spectral absorption line or band of the species. The photoacoustic transducer includes at least one acoustic cavity formed in a portion of the waveguide structure and configured for receiving the fluid for sensing comprising the species. The at least one acoustic cavity has an acoustic resonance spectrally overlapping with a harmonic of a modulation frequency. At least one acoustic transducer comprising a deformable mechanical portion is included in the photoacoustic transducer. The deformable mechanical portion is in direct acoustic communication with the at least one acoustic cavity and has an adjustable mechanical resonance, which can be brought into spectral overlap with an acoustic resonance of the least one acoustic cavity.

公开(公告)号：US11156634B2

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：US16325127

申请日：2017-08-01

Applicant: VMICRO ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  UNIVERSITE LILLE-1

Inventor： Benjamin Walter ,  Marc Faucher ,  Estelle Mairiaux-Mage

IPC: G01Q60/38 ,  G01Q20/02 ,  G01P15/093

Abstract: A micromechanical sensor includes a movable micromechanical element and an optical resonator of disk or ring type, wherein the optical resonator has at least one interruption; and in that the movable micromechanical element is mechanically coupled to the optical resonator in such a way that a movement of the movable micromechanical element induces a modification of the width of the interruption of the optical resonator by moving at least one edge of the interruption in a direction substantially parallel to a direction of propagation of the light in the resonator at the interruption.