公开(公告)号：WO2018029049A1

公开(公告)日：2018-02-15

申请号：PCT/EP2017/069477

申请日：2017-08-01

Applicant: VMICRO ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  UNIVERSITE LILLE-1

Inventor： WALTER, Benjamin ,  FAUCHER, Marc ,  MAIRIAUX, Estelle

IPC: G01Q20/02 ,  G01P15/093 ,  G01D5/26 ,  G01Q20/04 ,  G01Q70/10 ,  B81B3/00

CPC classification number: G01Q20/04 ,  G01P15/093 ,  G01Q20/02 ,  G01Q70/10

Abstract: Capteur micromécanique comprenant un élément micromécanique mobile (EMM) et un résonateur optique (ROP4) de type disque ou anneau, caractérisée en ce que - le résonateur optique présente au moins une interruption (GR1, GR2); et en ce que - l'élément micromécanique mobile est couplé mécaniquement au résonateur optique de telle façon qu'un mouvement de l'élément micromécanique mobile induit une modification de la largeur de l'interruption dudit résonateur optique en déplaçant au moins un bord de cette dernière dans une direction sensiblement parallèle à une direction de propagation de la lumière dans le résonateur en correspondance de l'interruption.

Abstract translation: 微机械传感器包括移动微机械元件（EMM）和盘式或环形光学电阻器（ROP4），其特征在于 - 光电阻器具有至少一个中断（GR1，GR2）; 而且 - 移动微观元素是耦合的 所述光学电阻器使得所述可移动微观元件的运动通过脱离所述光学微带而引起所述光学抗蚀剂的所述中断的宽度的变化。 后者的至少一个边缘在基本上平行的方向上; 对应于中断，接收器中光的传播方向。

公开(公告)号：WO2017012927A1

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：PCT/EP2016/066549

申请日：2016-07-12

Applicant: VMICRO ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： WALTER, Benjamin ,  FAUCHER, Marc

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10

CPC classification number: G01Q10/045 ,  G01Q20/02 ,  G01Q20/04 ,  G01Q30/14 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/30 ,  G01Q60/38 ,  G01Q60/40 ,  G01Q60/58 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/10

Abstract: Sonde pour microscopie à force atomique comprenant une pointe pour microscopie à force atomique (PT1) orientée dans une direction dite longitudinale (y) et faisant saillie d'un bord (B) d'un substrat (S1) dans ladite direction longitudinale, caractérisée en ce que ladite pointe est agencée à une extrémité d'une navette (PJ1) fixée audit substrat au moins par l'intermédiaire d'une première (ET) et d'une deuxième (R, RA) structure, dites de support, au moins ladite première structure de support étant une structure flexible, s'étendant dans une direction dite transversale (x), perpendiculaire à la dite direction longitudinale et ancrée au substrat par au moins une liaison mécanique dans ladite direction transversale, lesdites structures de support étant adaptées pour permettre à la navette de se déplacer dans la direction longitudinale. Microscope à force atomique comprenant au moins une telle sonde.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于原子力显微镜的探针，包括用于原子力显微镜（PT1）的尖端，所述尖端在所谓的纵向方向（y）上定向并从所述纵向上的衬底（S1）的边缘（B）突出 方向，其特征在于，所述尖端至少经由第一（ET）和第二（R，RA）所谓的支撑结构布置在连接到所述基底的梭子（PJ1）的一端，至少所述第一支撑结构为 柔性结构，其沿垂直于所述纵向方向的所谓横向（x）延伸，并通过所述横向方向上的至少一个机械连接锚定到所述基底，所述支撑结构适于允许梭子 沿纵向移动。 本发明还涉及包括至少一个这样的探针的原子力显微镜。

公开(公告)号：EP3312616A1

公开(公告)日：2018-04-25

申请号：EP17197070.0

申请日：2017-10-18

Applicant: Vmicro ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  Université de Lille 1 Sciences et Technologies

Inventor： WALTER, Benjamin ,  FAUCHER, Marc ,  MAIRIAUX-MAGE, Estelle

IPC: G01Q60/38 ,  G01Q70/10

CPC classification number: G01Q20/02 ,  G01Q10/045 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10

Abstract: Sonde pour microscopie à force atomique comprenant une pointe pour microscopie à force atomique (PT1) orientée dans une direction longitudinale (y), caractérisée en ce que :
- la pointe est agencée à une extrémité d'une partie sensible de la sonde (SMS), mobile ou déformable, reliée à une structure de soutien (SMM2), qui est ancrée à la surface principale du substrat ;
- la partie sensible et la structure de soutien sont des éléments planaires, s'étendant principalement dans des plans parallèles à la surface principale du substrat;
- la partie sensible est reliée à la structure de soutien par l'intermédiaire d'au moins un élément (ET1 - ET4) permettant à ladite partie sensible de se déplacer ou de s'étirer dans cette direction ; et
- la pointe, la partie sensible et la structure de soutien font saillie d'un bord (B) du substrat dans ladite direction longitudinale.
Microscope à force atomique comprenant au moins une telle sonde.

Abstract translation: 一种用于原子力显微镜的探针，其包括沿纵向方向（y）取向的用于原子力显微镜的尖端（PT1），其特征在于： - 尖端布置在探针敏感部分（SMS）的一端， 移动的或可变形的，连接到支撑结构（SMM2），该支撑结构锚定到基底的主表面; 敏感部分和支撑结构是平面元件，主要在平行于基板主表面的平面中延伸; 敏感部分通过至少一个元件（ET1-ET4）连接到支撑结构，使得所述敏感部分在该方向上移动或拉伸; 并且尖端，敏感部分和支撑结构沿所述纵向方向从基板的边缘（B）突出。 包括至少一个这样的探针的原子力显微镜。

公开(公告)号：EP3325981A1

公开(公告)日：2018-05-30

申请号：EP16738173.0

申请日：2016-07-12

Applicant: Vmicro ,  Centre National de la Recherche Scientifique

Inventor： WALTER, Benjamin ,  FAUCHER, Marc

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10

CPC classification number: G01Q10/045 ,  G01Q20/02 ,  G01Q20/04 ,  G01Q30/14 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/30 ,  G01Q60/38 ,  G01Q60/40 ,  G01Q60/58 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/10

Abstract: The invention relates to a probe for atomic-force microscopy including a tip for atomic-force microscopy (PT1) oriented in a so-called longitudinal direction (y) and projecting from an edge (B) of a substrate (S1) in said longitudinal direction, characterised in that said tip is arranged at one end of a shuttle (PJ1) attached to said substrate at least via a first (ET) and second (R, RA) so-called support structure, at least said first support structure being a flexible structure, extending in a so-called transverse direction (x) which is perpendicular to said longitudinal direction, and being anchored to the substrate by at least one mechanical connection in said transverse direction, said support structures being suitable for allowing the shuttle to move in the longitudinal direction. The invention also relates to an atomic-force microscope including at least one such probe.

公开(公告)号：EP4118440A1

公开(公告)日：2023-01-18

申请号：EP20797764.6

申请日：2020-10-28

Applicant: Vmicro

Inventor： WALTER, Benjamin

IPC: G01Q70/02

公开(公告)号：WO2021180347A1

公开(公告)日：2021-09-16

申请号：PCT/EP2020/080314

申请日：2020-10-28

Applicant: VMICRO

Inventor： WALTER, Benjamin

IPC: G01Q70/02

Abstract: L'invention concerne un dispositif de détection destiné à être inséré dans un berceau (40) d'un microscope à sonde locale (50). Le dispositif de détection comprend une sonde (20A, 20B, 20C) comportant un support (21A, 21B, 21C), un levier (22A, 22B, 22C) s'étendant à partir du support (21A, 21B, 21C), une pointe (23A, 23B, 23C) disposée à une extrémité du levier (22A, 22B,22C), à l'opposé dudit support (21A, 21B, 21C). La sonde (20A, 20B, 20C) a des dimensions réduites par rapport au berceau (40) et le dispositif de détection (30A, 30B, 30C) comprend un adaptateur (10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F) solidaire de la sonde (20A, 20B, 20C) pour adapter ladite sonde (20A, 20B, 20C) au berceau (40). L'adaptateur (10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F) est solidaire de la sonde (20A, 20B, 20C) par des moyens de collage comprenant au moins une colle ou par des moyens d'assemblage comprenant un matériau d'apport utilisé pour solidariser ledit adaptateur à ladite sonde au cours d'une opération de brasage.

公开(公告)号：WO2020157022A1

公开(公告)日：2020-08-06

申请号：PCT/EP2020/051960

申请日：2020-01-27

Applicant: UNIVERSITEIT GENT ,  IMEC VZW ,  VMICRO SAS ,  CNRS ,  ISEN YNCRÉA HAUTS-DE-FRANCE ,  UNIVERSITÉ DE LILLE ,  ECOLE CENTRALE DE LILLE ,  UNIVERSITÉ POLYTECHNIQUE HAUTS-DE-FRANCE

Inventor： KUYKEN, Bart ,  VANWOLLEGHEM, Mathias ,  VERSTUYFT, Mattias ,  WALTER, Benjamin ,  LAMPIN, Jean-François

IPC: G01N21/17

Abstract: An integrated photoacoustic transducer, sensing system and method for assisting in sensing a concentration of a species (108) in a fluid are disclosed. The integrated photoacoustic transducer comprises a waveguide structure (101) which is configured as an optical resonator for enhancing a modulated radiation signal. The waveguide structure (101) has an optical resonance which is spectrally overlapping a spectral absorption line or band of the species. The photoacoustic transducer further comprises at least one acoustic cavity (104) formed in a portion of the waveguide structure (101) and configured for receiving the fluid for sensing comprising the species. The at least one acoustic cavity (104) has an acoustic resonance which is spectrally overlapping with a harmonic of a modulation frequency. At least one acoustic transducer comprising a deformable mechanical portion (205) is also included in the photoacoustic transducer. The deformable mechanical portion (205) is in direct acoustic communication with the at least one acoustic cavity (104) and has an adjustable mechanical resonance, which can be brought into spectral overlap with an acoustic resonance of the least one acoustic cavity (104).

公开(公告)号：WO2018134377A1

公开(公告)日：2018-07-26

申请号：PCT/EP2018/051360

申请日：2018-01-19

Applicant: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES ,  UNIVERSITE PARIS DIDEROT - PARIS 7 DIDEROT VALORISATION ,  UNIVERSITE DES SCIENCES ET TECHNOLOGIES DE LILLE 1 ,  VMICRO

Inventor： LEGRAND, Bernard ,  HENTZ, Sébastien ,  DURAFFOURG, Laurent ,  FAVERO, Ivan ,  FAUCHER, Marc ,  ALLAIN, Pierre ,  WALTER, Benjamin

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/38 ,  G02B6/293

Abstract: Il est proposé une sonde (100) pour microscope à force atomique comprenant un résonateur optomécanique (102) et une pointe de sonde (103) faisant saillie du résonateur, le résonateur étant couplé à des moyens optiques configurés pour émettre un faisceau de lumière incident vers le résonateur et recevoir un faisceau de lumière émergent depuis le résonateur. Le résonateur optomécanique comprend un corps configuré pour résonner à la fois sur un mode de vibration mécanique de volume et sur un mode de vibration optique de volume, ledit mode de vibration optique étant couplé audit mode de vibration mécanique de telle sorte qu'une déformation mécanique dudit corps résonant selon ledit mode de vibration mécanique induit une modification de l'état de transmission de la lumière dudit mode de vibration optique, venant modifier le faisceau de lumière émergent.

公开(公告)号：EP3571513A1

公开(公告)日：2019-11-27

申请号：EP18700514.5

申请日：2018-01-19

Applicant: Centre National de la Recherche Scientifique ,  Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives ,  Universite Paris Diderot - Paris 7 Diderot Valoris ,  Université des Sciences et Technologies de Lille 1 ,  Vmicro

Inventor： LEGRAND, Bernard ,  HENTZ, Sébastien ,  DURAFFOURG, Laurent ,  FAVERO, Ivan ,  FAUCHER, Marc ,  ALLAIN, Pierre ,  WALTER, Benjamin

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/38 ,  G02B6/293

公开(公告)号：EP3159703A1

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：EP16193853.5

申请日：2016-10-14

Applicant: Vmicro ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： WALTER, Benjamin ,  FAUCHER, Marc

IPC: G01Q10/04 ,  B81B3/00 ,  G01Q20/04

CPC classification number: B81B3/0045 ,  B81B3/0021 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/02 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0118 ,  G01P15/123 ,  G01Q10/045 ,  G01Q20/04

Abstract: Dispositif microélectromécanique comprenant une structure mécanique (P1) s'étendant principalement selon une direction longitudinale (x), reliée à un substrat planaire (S) par au moins un ancrage (APLM, APLM2) situé à l'une de ses extrémités et susceptible de fléchir dans un plan parallèle au substrat, ladite structure mécanique comprenant une portion de raccord, qui la relie audit ou à chaque dit ancrage et qui inclut une région résistive (R1) présentant une première (PL1M1) et une deuxième (12) zone d'injection d'un courant électrique pour former un transducteur résistif, ladite région résistive s'étendant principalement dans ladite direction longitudinale à partir dudit ou d'un dit ancrage et étant agencée de telle sorte qu'une flexion de ladite structure mécanique dans ledit plan parallèle au substrat induise dans ladite région résistive une contrainte moyenne non nulle et réciproquement; caractérisé en ce que : ladite première zone d'injection est portée par ledit ancrage ; et ladite deuxième zone d'injection est portée par un élément conducteur non fixé audit substrat et s'étendant principalement dans une direction dite latérale, sensiblement perpendiculaire à ladite direction longitudinale.

Abstract translation: 一种微机电装置，包括一机械结构沿纵向方向延伸，通过在锚固位于其端部中的一个，并能够在平行于基板的平面内弯曲地连接到平面基底，所述机械结构包括接合部分，其离开它 到每个锚固和包括电阻区域呈现第一和第二区，用于电流注入以形成电阻换能器，所述阻性区域从在锚固在纵向方向上延伸并且布置为机械结构的在平行于平面的弯曲 基板诱导在电阻区，反之亦然非零平均应变; worin：第一喷射区由锚固承载; 和第二注入区是由不固定于基板，并在方向上延伸的导电元件，基本上垂直于纵向方向横向称之携带。