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公开(公告)号：KR101806668B1
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：KR1020160017929
申请日：2016-02-16
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은반도체또는디스플레이제작시사용되는진공체임버내부의압력조건즉 진공상태인지대기압상태인지여부에따라진공체임버내부에위치하는피대전체의정전하를제거하기위하여진공상태에서는피대전체에진공적외선을조사하고대기압하에서는피대전체에연엑스선을조사할수 있는정전기제거장치에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하기위한 "진공체임버내부의압력변화에따라연엑스선또는진공자외선중의어느하나의광을조사하여피대전체의정전기를중화시키는정전기제거장치"는진공체임버내부에배치되어피대전체의상부에상이한파장대의광을조사하는제 1 광조사부및 제 2 광조사부와, 상기진공체임버내부일측에배치되어상기진공체임버의진공도를감지하는센서와, 상기센서에서감지한진공도를수신하여상기진공도에따라상기제 1 광조사부및 상기제 2 광조사부중 어느하나를선택적으로동작시키는위하여상기진공체임버외부에배치되는제어부를구비한다. 본발명에따른정전기제거장치를사용하는경우진공체임버내부의진공도에따라서연엑스선을조사하여피대전체의정전기를중화시키거나진공자외선을조사하여피대전체의정전기를중화시킬수 있다는이점이있다.
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公开(公告)号：KR101744961B1
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：KR1020150170498
申请日：2015-12-02
Applicant: (주)선재하이테크
IPC: H01R13/622 , H01R13/514 , H02G15/192
Abstract: 본발명은정전기제거장치에서고전압발생기와 X선발생기를연결하는케이블상에커넥팅어셈블리를마련하여케이블상에탈착가능한구조를제공할수 있는정전기제거장치의케이블커넥팅어셈블리를제공하기위한것이다. 이를위해고전압발생기및 X선발생기를포함하는정전기제거장치에서, 상기고전압발생기와 X선발생기를연결하는케이블상에커넥팅어셈블리를구성함에있어서, 전단부가상기고전압발생기와연결된제1 케이블의전극들과연결되는소켓및, 상기소켓과제1 케이블이내장되며외주면에커플링이슬라이딩가능하게설치되는제1 커넥팅수단을포함하는제1 어셈블리; 및, 후단부가상기 X선발생기와연결된제2 케이블의전극들과연결되는핀부재및, 상기핀부재와제2 케이블이내장되되상기핀부재의전단부가노출되도록내장되며외주면에상기커플링과의체결을위한나사부가형성되는제2 커넥팅수단을포함하는제2 어셈블리;로이루어져, 상기핀부재의전단부를소켓의후단부와연결시키고상기커플링을나사부에체결시킴으로써상기제1 케이블과제2 케이블을탈착가능하게연결시킬수 있게되는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明是提供一种除静电可以由连接组件用于连接高压发生器和从除静电装置提供在电缆上的释放结构的X选定动画电缆提供设备的电缆连接组件。 方法如在除静电装置，包括一个高压发生器和X选定动画为此，构成电缆上的连杆组件，用于连接高压发生器和X选择动画，前端部和连接到所述高电压发生器的第一缆线的电极 连接到插座和插座电缆是任务1是内置第一组件，其包括第一连接部可滑动地安装联接到所述外周表面上; 并且，后端部与连接到所选择的动画所述第二缆线的所述电极和，doedoe销部件和第二电缆连接的X销构件是内置的和内置使得销bujaeui暴露于耦合的结束到外周面的前端部 的第二组件，其包括一第二连接装置部分被用于形成该螺杆;由，可拆卸地与第一电缆任务2电缆通过连接销的后端部bujaeui前端插座和紧固结合到所述螺纹部分 以便它可以连接。
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公开(公告)号：KR101737894B1
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020150065852
申请日：2015-05-12
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은방전전극이탑재된방전전극소켓코아부및 이와결합되는소켓베이스부간의결합깊이를선택적으로조절함으로써방전전극소켓코아부에서소켓베이스부로이동하는에어의유출량을선택적으로조절할수 있는 "에어유량조절이가능한방전전극소켓"에관한것이다. 본발명에따른에어유량조절이가능한방전전극소켓은원추형의첨두부를갖는방전전극과, 상기방전전극이삽입되어안착되는방전전극소켓코어부와, 상기방전전극소켓코어부가삽입되어결합되는관통중공부를가지며상기원추형의첨두부를갖는방전전극이노출되는개구부를갖는소켓베이스부를구비하며, 제전거리또는제전영역에맞추어원추형첨두부를갖는상기방전전극과상기개구부사이의공극크기가가변되도록상기소켓베이스부와결합되는상기방전전극소켓코어부의체결깊이를조절함으로써상기방전전극소켓코어부에서상기소켓베이스부로이동하여유출되는에어의유출량을제어할수 있다. 본발명에따른방전전극소켓을사용하는경우코로나방전형이오너이저에장착되는방전전극소켓마다에어의유출량에차이를둘 수있으므로제전대상의거리내지범위(또는영역)에맞추어최적화된제전효율을기대할수 있다는이점이있다.
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15.发明授权
公开(公告)号：KR101554508B1
公开(公告)日：2015-09-22
申请号：KR1020140085810
申请日：2014-07-09
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: [목적]
본 발명은 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이용 글래스 등이 안착 또는 탑재되는 스테이지의 하부에 설치되어 웨이퍼 또는 글래스를 승하강시키는 복수개의 리프트용 핀과 적어도 하나 이상의 이오나이저가 부설된 거치대를 이용하여 웨이퍼 또는 글래스의 하부면에 발생하는 정전기를 효율적으로 제거하기 위한 "제전 기능을 갖춘 거치대 및 이를 이용하는 기판 탑재용 스테이지에 대한 제전 장치"에 관한 것이다.
[구성]
본 발명에서 제안하는 실시예인 기판 탑재를 위한 평판 구조의 상판에 형성된 복수개의 관통홀을 갖는 스테이지의 하부에 설치되어 상기 스테이지 상판에 탑재되는 상기 기판을 승하강시키는 제전 기능을 갖춘 거치대에는 상기 복수개의 관통홀을 통하여 상기 기판의 하부면과 접하면서 상기 기판을 승하강시킬 수 있는 복수개의 핀과, 상기 복수개의 핀의 높이와 동일한 높이를 갖는 적어도 하나 이상의 이오나이저가 부설되며, 상기 적어도 하나 이상의 이오나이저는 상기 기판의 하부면을 제전시키는 역할을 수행한다.
[효과]
본 발명을 이용하는 경우, 스테이지에 안착되는 웨이퍼 또는 평판 디스플레이의 하부면에 대한 제전 효율을 개선할 수 있으며, 스테이지와 연동되는 거치대에 다양한 종류의 이오나이저를 적어도 하나 이상 설치함으로써 웨이퍼 또는 평판 디스플레이의 하부면에 대한 제전을 효율적으로 처리할 수 있다는 이점이 있다.Abstract translation: 本发明涉及一种具有离子化功能的针式保持器和用于使用该载物台加载载物台的电离装置，该载物台能够有效地除去在半导体晶片或平板显示器玻璃的下表面上产生的静电电荷， 多个提升销安装在台架的下部，其上放置或加载晶片或玻璃以垂直移动晶片或玻璃，以及在其上构造有至少一个离子发生器的销座。 根据本发明的实施例的具有电离功能的针保持器安装在具有形成在用于加载衬底的平板结构的上板上的多个穿透孔的台的下部，并且包括：多个 的销通过多个穿透孔与基板的下表面接触并垂直移动基板; 并且在其上构造具有与多个销相同高度的至少一个离子发生器，并且离子化基板的下表面。 根据本发明，可以提高相对于晶片的下表面或坐在台上的平板显示器的电离效率。 相对于晶片或平板显示器的下表面的离子化可以通过将一种或多种各种类型的电离器安装在与台架连接的销座上来有效地进行处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR200476986Y1
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：KR2020140002279
申请日：2014-03-21
Applicant: (주)선재하이테크
IPC: H05F3/00
Abstract: [목적] 본고안은코로나방전을위한방전침이이오나이저와체결되는노즐에탑재되어구조를갖는코로나방전용이오나이저에탈부착가능한노즐에관한것이다. [구성] 본고안에따른코로나방전용이오나이저에탈부착가능한노즐유닛은, 소정반경의제 1 중공이형성되는노즐바디와, 상기노즐바디의일 종단부에서상기노즐바디의길이방향으로연장되며상기제 1 중공과연통되는관통개구부가형성된제 1 체결부를갖는노즐과; 상기제 1 체결부와결합되는제 2 체결부를가지며제 2 중공부가형성된바디부와, 상기바디부의일 종단부에부설되는플레이트와, 상기플레이트의중심을관통하는도전부재와, 상기도전부재와결합되는방전침을갖는방전침삽입체를구비하는것을특징으로한다. [효과] 본고안에따른코로나방전용이오나이저에탈부착가능한노즐유닛을사용하는경우, 코로나방전용이오나이저에노즐유닛을수작업으로간단하게탈부착하는구조인관계로조립및 분해가용이하며, 노즐유닛을분리하여방전침에맺힌이물질을제거하는시간을단축시킬수 있다는이점이있다.
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18.发明公开진공 체임버 내부의 압력 변화에 따라 연엑스선 또는 진공자외선 중의 어느 하나의 광을 조사하여 피대전체의 정전기를 중화시키는 정전기 제거 장치 审中-实审根据真空室内的压力变化照射软X射线或真空紫外线中的任何一种来中和物体的静电荷的静电消除器
公开(公告)号：KR1020170096491A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020160017929
申请日：2016-02-16
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은반도체또는디스플레이제작시사용되는진공체임버내부의압력조건즉 진공상태인지대기압상태인지여부에따라진공체임버내부에위치하는피대전체의정전하를제거하기위하여진공상태에서는피대전체에진공적외선을조사하고대기압하에서는피대전체에연엑스선을조사할수 있는정전기제거장치에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하기위한 "진공체임버내부의압력변화에따라연엑스선또는진공자외선중의어느하나의광을조사하여피대전체의정전기를중화시키는정전기제거장치"는진공체임버내부에배치되어피대전체의상부에상이한파장대의광을조사하는제 1 광조사부및 제 2 광조사부와, 상기진공체임버내부일측에배치되어상기진공체임버의진공도를감지하는센서와, 상기센서에서감지한진공도를수신하여상기진공도에따라상기제 1 광조사부및 상기제 2 광조사부중 어느하나를선택적으로동작시키는위하여상기진공체임버외부에배치되는제어부를구비한다. 본발명에따른정전기제거장치를사용하는경우진공체임버내부의진공도에따라서연엑스선을조사하여피대전체의정전기를중화시키거나진공자외선을조사하여피대전체의정전기를중화시킬수 있다는이점이있다.
Abstract translation: 本发明照射真空在真空整个充电对象红外线除去充电物体整个协议电荷它位于根据真空室的内部是否真空室，其用于制造半导体或显示压力的条件内，即常压，如果真空状态 本发明涉及能够在大气压下对整个物体照射X射线的静电除去装置。 为了实现“其照射光的静电去除按照压力的真空腔室单元内部的变化中和整个充电物体的静电在软X射线或真空紫外线的”本发明所提出的技术概念被设置在真空室中 在第一光照射和第二发光部分和，并设置在真空腔室传感器的侧边内，用于感测度的真空腔室的真空，由传感器检测到的真空度，以检查光的不同波长带的整个充电物体的上部 以及设置在真空室外部的控制单元，用于根据真空度选择性地操作第一光照单元和第二光照单元中的任何一个。 这一点是，如果使用的是一个静电根据本发明的去除装置是根据真空的真空室内部的程度，以中和全部的静电或充电对象与真空紫外线照射sikilsu中和整个充电物体的静电照射软X射线。
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公开(公告)号：KR1020160135600A
公开(公告)日：2016-11-28
申请号：KR1020150069155
申请日：2015-05-18
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은고전압발생기와상호탈부착가능한 X선발생기의구조에관한것이다. 본발명에서제안하는고전압발생기와탈부착가능한 X선발생기는, 한쌍의도전성와이어를통하여고전압을수신하여 X선을방사하는 X선튜브와, 후단부가한쌍의상기도전성와이어와결합되며소정길이를갖는한쌍의도전성핀과, 제 1 단부를통하여한쌍의상기도전성핀의전단부를삽입가능하게하고제 2 단부를통하여상기제 1 단부를통하여삽입된한쌍의상기도전성핀의상기전단부를노출시키는관통내관이형성되어있는원통형의커넥터와, 상호결합된상기 X선튜브, 한쌍의상기도전성핀 및상기커넥터를일체로내장하기위한제 1 중공부가형성되어있는몰딩케이스와, 상기몰딩케이스를내장하는제 2 중공부가형성되어있는외장케이스를구비한다. 본발명의경우, X선튜브와결합되는소정길이를갖는한쌍의도전성핀이외력또는고전압발생기의암 체결부전극과의결합시휘어지거나절곡될수 있는위험을제거하기위하여외력에의한휘어짐등을방지하기위하여도전성핀을삽입시켜고정안착시킬수 있는커넥터를제공함으로써단품으로제공되는 X선발생기의도전성핀 훼손가능성을사전에차단할수 있다이점이있다. 또한, 본발명에따른 X선발생기는고전압발생기와상호분리하여선택적인납품이가능하므로정전기제거장치의교체비용이절감되는효과도있다.
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公开(公告)号：KR1020160135391A
公开(公告)日：2016-11-28
申请号：KR1020150068563
申请日：2015-05-18
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은연 엑스선튜브모듈, 분기된매체를이용한연 엑스선조사장치및 탈부착형연 엑스선이오나이저에관한것으로서, 연엑스선조사와함께매체를동시에분사함으로써제전성능을향상시키고, 연엑스선튜브모듈과고전압발생모듈의탈부착을용이하게하는연 엑스선튜브모듈, 분기된매체를이용한연 엑스선조사장치및 탈부착형연 엑스선이오나이저에관한것이다. 이를위해매체주입부, 매체주입부를통해공급된매체가관을통해일측에서타측으로이송되어토출되도록하는공급관, 및연 엑스선을발생시키는연 엑스선튜브를포함하며, 공급관을통해매체를이송시킴으로써연 엑스선튜브에매체가충돌하지않도록하면서연 엑스선의조사와함께매체를분사하는것을특징으로하는연 엑스선튜브모듈이개시된다.
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