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公开(公告)号：WO2019013381A1
公开(公告)日：2019-01-17
申请号：PCT/KR2017/008378
申请日：2017-08-03
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본 발명은 전자 집속 개선용 엑스선관에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 필라멘트에서 방출된 열전자를 보다 효율적으로 엑스선 조사창의 타겟에 도달하도록 하는 전자 집속 개선용 엑스선관에 관한 것이다. 이를 위해 음의 고전압의 인가에 의해 열전자를 방출하는 열전자 방출부, 열전자 방출부에서 방출된 열전자를 집속하는 열전자 집속관부, 열전자 집속관부를 통과한 열전자가 도포된 타겟부에 충돌되어 엑스선이 생성됨으로써 외부로 엑스선이 조사되는 엑스선 조사창부, 열전자 방출부 및 열전자 집속관부를 내측에 포함하는 튜브관부, 및 튜브관부를 감싸도록 구비되는 하우징부를 포함하며, 열전자 집속관부 및 하우징부를 동 전위로 형성함으로써 열전자의 이동방향이 엑스선 조사창부로 향하도록 하는 것을 특징으로 하는 전자 집속 개선용 엑스선관이 개시된다.
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公开(公告)号：WO2018079946A1
公开(公告)日：2018-05-03
申请号：PCT/KR2017/002046
申请日：2017-02-24
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본 발명은 필라멘트에서 방출된 열전자가 X선 조사창의 타겟으로 효율적으로 이동할 수 있도록 안내할 수 있도록 하고 필라멘트에 불순물이 흡착되는 비중을 감소시킬 수 있는 "전자 집속 개선용 X선관"에 관한 것이다. 본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관은 바디를 형성하며 중공이 형성된 비도전성의 튜브관과, 상기 튜브관의 상단부를 차폐하도록 형성되고 타켓이 도포되어 있는 X선을 조사하는 X선 조사창과, 상기 튜브관의 하단부를 차폐하도록 형성되어 스템부와, 상기 스템부의 외측에서 상기 튜브관 내측으로 연장되며 소정의 네거티브 고전압이 인가되는 복수개의 금속 와이어와, 상기 튜브관 내측으로 연장되어 있는 상기 금속 와이어 사이에 연결되어 열전자를 방출하는 필라멘트와, 상기 필라멘트에서 방출되는 상기 열전자를 집속하기 위하여 상기 필라멘트를 감싸는제 1 집속관과, 상기 튜브관의 외측을 감싸는 도전성 재질의 원통형 차폐 하우징을 구비하며, 상기 차폐 하우징은 상기 금속 와이어에 인가되는 소정의 네거티브 고전압과 동일 전압이다. 본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관은 다음과 같은 장점을 구비하고 있다. 1. X선 조사창 하부에 추가의 집속관을 제공함으로써 필라멘트에서 방출된 열전자를 효율적으로 타겟에 이동시킬 수 있다. 2. 튜브관 외부에 네거티브 전압인 인가되는 차폐 하우징에 의하여 타켓으로부터 박리(이탈)되어 가스 형태를 띠는 불순물이 튜브관 내벽에 흡착되도록 함으로써 집속관 내부에 위치한 필라멘트(-전압)에 흡착되는 확율을 저감시켜 필라멘트의 수명을 개선시킬 수 있도록 하였다. 3. 제 1 집속관에 차폐 날개부를 형성하여 튜브관 내부의 공간을 이중으로 분리하여 필라멘트에서 방출된 열전자가 X선 조사창으로 이동할 수 있는 확률을 개선시키고자 하였다.
Abstract translation:
本发明，并且其允许从灯丝发射的热电子能够被引导，以便有效地为可移动到目标照射窗，透视，并可以减小比重，这种吸附在灯丝QUOT杂质;改进的电子设备捆绑 用于X射线管QUOT;涉及。 用于本发明所提出的改进电子聚焦X射线管是形成体，以及用于在其上形成的非导电中空的管体照射X射线，并形成以屏蔽管体的上端的目标被施加到X射线照射窗 ，和杆形成为屏蔽管管部的下端，从杆部的外侧，并在多个金属导线的延伸内侧管体延伸与一预定的负的高电压施加，该管配管内的金属 和连接导线之间的灯丝发射热电子，围绕长丝集中从围绕第一合流配管和管管的外侧且导电的材料制成的圆柱形屏蔽壳体灯丝发射出的热电子， 该屏蔽壳体是等于预定的负的高电压被施加到所述金属丝的电压 的。 用于本发明所提出的改进电子聚焦X射线管具有以下优点： 1.从灯丝通过提供X射线照射窗的附加聚焦管的热离子发射，下可以有效地移动到目标。 2.管管由负电压施加到屏蔽壳体，其是从所述目标灯丝由气体位于聚焦管内的分离（释放）的外部，使得所述条带型杂质被吸附在吸附在管体赔率的内壁（电压） 是帮助提高灯丝的寿命变短。 3.屏蔽由管1在管式冷凝器管的内部空间形成的叶片部采用双分离以提高从灯丝发射的热电子以移动X射线照射肠的概率。
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5.发明公开진공 체임버 내부의 압력 변화에 따라 연엑스선 또는 진공자외선 중의 어느 하나의 광을 조사하여 피대전체의 정전기를 중화시키는 정전기 제거 장치 审中-实审根据真空室内的压力变化照射软X射线或真空紫外线中的任何一种来中和物体的静电荷的静电消除器
公开(公告)号：KR1020170096491A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020160017929
申请日：2016-02-16
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은반도체또는디스플레이제작시사용되는진공체임버내부의압력조건즉 진공상태인지대기압상태인지여부에따라진공체임버내부에위치하는피대전체의정전하를제거하기위하여진공상태에서는피대전체에진공적외선을조사하고대기압하에서는피대전체에연엑스선을조사할수 있는정전기제거장치에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하기위한 "진공체임버내부의압력변화에따라연엑스선또는진공자외선중의어느하나의광을조사하여피대전체의정전기를중화시키는정전기제거장치"는진공체임버내부에배치되어피대전체의상부에상이한파장대의광을조사하는제 1 광조사부및 제 2 광조사부와, 상기진공체임버내부일측에배치되어상기진공체임버의진공도를감지하는센서와, 상기센서에서감지한진공도를수신하여상기진공도에따라상기제 1 광조사부및 상기제 2 광조사부중 어느하나를선택적으로동작시키는위하여상기진공체임버외부에배치되는제어부를구비한다. 본발명에따른정전기제거장치를사용하는경우진공체임버내부의진공도에따라서연엑스선을조사하여피대전체의정전기를중화시키거나진공자외선을조사하여피대전체의정전기를중화시킬수 있다는이점이있다.
Abstract translation: 本发明照射真空在真空整个充电对象红外线除去充电物体整个协议电荷它位于根据真空室的内部是否真空室，其用于制造半导体或显示压力的条件内，即常压，如果真空状态 本发明涉及能够在大气压下对整个物体照射X射线的静电除去装置。 为了实现“其照射光的静电去除按照压力的真空腔室单元内部的变化中和整个充电物体的静电在软X射线或真空紫外线的”本发明所提出的技术概念被设置在真空室中 在第一光照射和第二发光部分和，并设置在真空腔室传感器的侧边内，用于感测度的真空腔室的真空，由传感器检测到的真空度，以检查光的不同波长带的整个充电物体的上部 以及设置在真空室外部的控制单元，用于根据真空度选择性地操作第一光照单元和第二光照单元中的任何一个。 这一点是，如果使用的是一个静电根据本发明的去除装置是根据真空的真空室内部的程度，以中和全部的静电或充电对象与真空紫外线照射sikilsu中和整个充电物体的静电照射软X射线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170096490A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020160017928
申请日：2016-02-16
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은정전기제전부를구성하는광조사부의온도또는광조사부에서대전체를향하여조사되는연엑스선내지진공자외선의광도등을감지하여광조사부의성능을실시간을감지할수 있도록한 "정전기제전부의성능상태감지가가능한이오나이저"에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하는실시예인정전기제거용광을조사하는정전기제전부및 정전기제전부의동작전원을공급하는전원제어부를구비하는이오나이저의정전기제전부는내부공간이형성된하우징과, 상기하우징내부에안착되어연엑스선또는진공자외선을조사하는광조사부를구비하며, 하우징내부일측에는상기광조사부에서조사되는연엑스선또는진공자외선의광도를감지하기위한광 센서, 또는상기광조사부의온도변화를감지하기위한온도센서가부설될수 있으며, 전원제어부는상기광 센서또는상기온도센서에서감지한상기광조사부의광도정보또는온도정보에기초하여상기광조사부에공급되는상기전원을조절하거나상기광조사부의교체시기를제공할수 있다. 본발명에따른정전기제전부의성능상태감지가가능한이오나이저를사용하는경우광조사부의성능이상을실시간으로파악할수 있으므로초정밀반도체공정또는디스플레이공정에서요구되는정밀한정전기제거효과를보다극대화시켜제품생산수율을개선시킬수 있다는이점이있다.
Abstract translation: 本发明是静电中和“静态权利要求整个检测的光强度，该软X-射线的等，以真空紫外光为朝向总的照射的温度或光照射照射使得可以实时检测发射构成部件的光的性能的性能 状态可检测离子发生器“。 前的操作功率和静电整个静电权利要求照射实施例除静电yonggwang执行技术精神电源控制单元壳体，具有静态和单元形成为具有本发明提出的由离子发生器的内部空间 在外壳中就位，并且包括用于照射软X射线或真空紫外线的光的照射下，该壳体内侧面可以用于感测从所述光照射部发射的软X射线或真空紫外线的光的亮度，或光照射部的温度变化而设置有光学传感器 它是用于感测敷设的温度传感器，和光学传感器的功率控制单元或亮度信息或温度信息来调整提供给发光部件或所检测到的hansanggi光的基础上的发光部由所述温度传感器的发光部的电力 您可以提供更换时间。 当使用静态性能状态检测是根据本发明的整个的可能的电离能确定至少在实时发光部分的通过高精度更最大限度地需要去除精确静电半导体处理或者显示处理效果产率的性能 有一点可以改善。
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公开(公告)号：KR101844537B1
公开(公告)日：2018-04-02
申请号：KR1020160141867
申请日：2016-10-28
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은필라멘트에서방출된열전자가 X선조사창의타겟으로효율적으로이동할수 있도록안내할수 있도록하고필라멘트에불순물이흡착되는비중을감소시킬수 있는 "전자집속개선용 X선관"에관한것이다. 본발명에서제안하는전자집속개선용 X선관은바디를형성하며중공이형성된비도전성의튜브관과, 상기튜브관의상단부를차폐하도록형성되고타켓이도포되어있는 X선을조사하는 X선조사창과, 상기튜브관의하단부를차폐하도록형성되어스템부와, 상기스템부의외측에서상기튜브관내측으로연장되며소정의네거티브고전압이인가되는복수개의금속와이어와, 상기튜브관내측으로연장되어있는상기금속와이어사이에연결되어열전자를방출하는필라멘트와, 상기필라멘트에서방출되는상기열전자를집속하기위하여상기필라멘트를감싸는제 1 집속관과, 상기튜브관의외측을감싸는도전성재질의원통형차폐하우징을구비하며, 상기차폐하우징은상기금속와이어에인가되는소정의네거티브고전압과동일전압이다. 본발명에서제안하는전자집속개선용 X선관은다음과같은장점을구비하고있다. 1. X선조사창하부에추가의집속관을제공함으로써필라멘트에서방출된열전자를효율적으로타겟에이동시킬수 있다. 2. 튜브관외부에네거티브전압인인가되는차폐하우징에의하여타켓으로부터박리(이탈)되어가스형태를띠는불순물이튜브관내벽에흡착되도록함으로써집속관내부에위치한필라멘트(-전압)에흡착되는확율을저감시켜필라멘트의수명을개선시킬수 있도록하였다. 3. 제 1 집속관에차폐날개부를형성하여튜브관내부의공간을이중으로분리하여필라멘트에서방출된열전자가 X선조사창으로이동할수 있는확률을개선시키고자하였다.
Abstract translation: 本发明涉及在sikilsu热电子，并降低比重，这种吸附在灯丝杂质被引导，使得可以有效地移动到X祖纱布窗口的目标“X射线管用于提高电子聚焦”将灯丝发射。 用于本发明所提出的改进电子聚焦X射线管是形成一体，并形成一个非导电管筒中空的，且形成为屏蔽管管X祖纱布窗口用于照射X射线，这是一个目标被施加的上端，并 ，形成杆部，以便屏蔽所述管体的下端部，在杆的外部分和朝向所述金属丝之间的管体延伸并朝向多个金属导线延伸与一预定的负的高电压，管体外施加 围绕灯丝聚焦从灯丝发射的热电子的第一聚焦管和由导电材料制成的圆筒形屏蔽壳体，所述导电材料围绕管管的外侧， 壳体处于与施加到金属线的预定负高压相同的电压。 本发明提出的用于电子聚焦改进的X射线管具有以下优点。 1.通过在X射线管下方提供附加的聚焦管，可以将从灯丝发射的热电子有效地传输到目标。 2.管外管从负电压剥离（释放）由其中灯丝由气体位于聚焦管内，使得所述条带型杂质被吸附在吸附在管壁管赔率的屏蔽壳体施加到目标（电压） 这样可以改善灯丝的使用寿命。 3.在第一聚焦管上形成屏蔽叶片以分离管内空间并提高从灯丝发射的热电子可移动到X射线管窗口的可能性。
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公开(公告)号：KR101806668B1
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：KR1020160017929
申请日：2016-02-16
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은반도체또는디스플레이제작시사용되는진공체임버내부의압력조건즉 진공상태인지대기압상태인지여부에따라진공체임버내부에위치하는피대전체의정전하를제거하기위하여진공상태에서는피대전체에진공적외선을조사하고대기압하에서는피대전체에연엑스선을조사할수 있는정전기제거장치에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하기위한 "진공체임버내부의압력변화에따라연엑스선또는진공자외선중의어느하나의광을조사하여피대전체의정전기를중화시키는정전기제거장치"는진공체임버내부에배치되어피대전체의상부에상이한파장대의광을조사하는제 1 광조사부및 제 2 광조사부와, 상기진공체임버내부일측에배치되어상기진공체임버의진공도를감지하는센서와, 상기센서에서감지한진공도를수신하여상기진공도에따라상기제 1 광조사부및 상기제 2 광조사부중 어느하나를선택적으로동작시키는위하여상기진공체임버외부에배치되는제어부를구비한다. 본발명에따른정전기제거장치를사용하는경우진공체임버내부의진공도에따라서연엑스선을조사하여피대전체의정전기를중화시키거나진공자외선을조사하여피대전체의정전기를중화시킬수 있다는이점이있다.
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