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公开(公告)号：WO2016003153A1
公开(公告)日：2016-01-07
申请号：PCT/KR2015/006690
申请日：2015-06-30
Applicant: (주)선재하이테크
IPC: G01R29/24
CPC classification number: G01R29/24
Abstract: 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치가 제안된다. 보다 구체적으로는 대전체와 소정 거리 이격되어 있는 도전판을 소정 주기로 개폐하는 도전성 셔터판을 이용하여 도전판에 소정의 전류를 발생시키고 이를 전압으로 변환하여 측정함으로써 대전체에 존재하는 정전하의 양을 감지하고 측정할 수 있는 "대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치"가 제안된다. 제안된 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치를 사용하는 경우 대전체에 존재하는 정전하의 양을 실시간으로 감지할 수 있기 때문에 일정 수준 이상의 정전기를 갖는 웨이퍼 또는 디스플레이 등과 같은 대전체에 대하여 즉각적인 조치를 수행할 수 있다는 이점이 있다. 또한, 소형으로 제작 가능하기 때문에 협소한 공간에 간편하게 설치할 수 있는 이점도 있다.
Abstract translation: 提出了用于检测带电体中的静电电荷的检测器及其测量装置。 更具体地，提供了一种“用于检测带电体中的静电荷的检测器及其测量装置”，其能够通过使用导电快门板来检测和测量存在于带电体中的静电电荷的量 以预定间隔打开和关闭与被充电体隔开预定距离的导电板，以在导电板中产生预定电流，并将电流转换成用于测量电压的电压。 当使用所提出的用于检测带电体中的静电电荷的检测器及其测量装置时，可以实时地检测存在于带电体中的静电电荷量，从而可以在充电体 例如晶片或显示器具有超过一定水平的静电电荷。 另外，由于检测器可以制造成小尺寸，所以具有可以容易地安装在狭窄的空间中的优点。
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2.发明公开진공 체임버 내부의 압력 변화에 따라 연엑스선 또는 진공자외선 중의 어느 하나의 광을 조사하여 피대전체의 정전기를 중화시키는 정전기 제거 장치 审中-实审根据真空室内的压力变化照射软X射线或真空紫外线中的任何一种来中和物体的静电荷的静电消除器
公开(公告)号：KR1020170096491A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020160017929
申请日：2016-02-16
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은반도체또는디스플레이제작시사용되는진공체임버내부의압력조건즉 진공상태인지대기압상태인지여부에따라진공체임버내부에위치하는피대전체의정전하를제거하기위하여진공상태에서는피대전체에진공적외선을조사하고대기압하에서는피대전체에연엑스선을조사할수 있는정전기제거장치에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하기위한 "진공체임버내부의압력변화에따라연엑스선또는진공자외선중의어느하나의광을조사하여피대전체의정전기를중화시키는정전기제거장치"는진공체임버내부에배치되어피대전체의상부에상이한파장대의광을조사하는제 1 광조사부및 제 2 광조사부와, 상기진공체임버내부일측에배치되어상기진공체임버의진공도를감지하는센서와, 상기센서에서감지한진공도를수신하여상기진공도에따라상기제 1 광조사부및 상기제 2 광조사부중 어느하나를선택적으로동작시키는위하여상기진공체임버외부에배치되는제어부를구비한다. 본발명에따른정전기제거장치를사용하는경우진공체임버내부의진공도에따라서연엑스선을조사하여피대전체의정전기를중화시키거나진공자외선을조사하여피대전체의정전기를중화시킬수 있다는이점이있다.
Abstract translation: 本发明照射真空在真空整个充电对象红外线除去充电物体整个协议电荷它位于根据真空室的内部是否真空室，其用于制造半导体或显示压力的条件内，即常压，如果真空状态 本发明涉及能够在大气压下对整个物体照射X射线的静电除去装置。 为了实现“其照射光的静电去除按照压力的真空腔室单元内部的变化中和整个充电物体的静电在软X射线或真空紫外线的”本发明所提出的技术概念被设置在真空室中 在第一光照射和第二发光部分和，并设置在真空腔室传感器的侧边内，用于感测度的真空腔室的真空，由传感器检测到的真空度，以检查光的不同波长带的整个充电物体的上部 以及设置在真空室外部的控制单元，用于根据真空度选择性地操作第一光照单元和第二光照单元中的任何一个。 这一点是，如果使用的是一个静电根据本发明的去除装置是根据真空的真空室内部的程度，以中和全部的静电或充电对象与真空紫外线照射sikilsu中和整个充电物体的静电照射软X射线。
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公开(公告)号：KR1020160086077A
公开(公告)日：2016-07-19
申请号：KR1020150003291
申请日：2015-01-09
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은코로나방전이오나이저의작동전후또는작동중 소정시간동안방전전극청소용브러쉬를소정각도로반복회동시키는동작을수행하도록하여방전전극을수시로청소하는효과를얻음과동시에브러쉬가방전전극에끼이는것을방지하도록한 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"에관한것이다. 본발명에따른일 실시예인코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법은 (a) 코로나방전이오나이저의방전침청소용브러쉬와연동되어있는제 1 모터의턴온시상기제 1 모터가소정횟수좌우로회동하면서상기제 1 모터와연동되는상기브러쉬가상기방전침주변을좌우로회동하도록한 후상기제 1 모터를턴오프시키는단계; 및 (b) 상기코로나방전이오나이저의상기방전침에코로나방전을유도하기위한고전압을인가하는고전압발생기를턴온시키고상기방전침에서의방전에의해발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구동시키는단계로이루어진다. 본발명의따른다른실시예는고전압발생기와상기고전압발생기로부터소정의전압을공급받아코로나방전을발생시키는방전침과상기방전침에의하여발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구비하는송풍형코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법으로서, 상기고전압발생기와상기송풍팬의작동이종료되는경우, 상기방전침을청소하기위한브러쉬를작동시키는모터가턴온되어상기브러쉬가상기방전침주변을수회좌우로회동하도록하는것을특징으로한다. 본발명에서제안하는 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"을사용하는경우브러쉬가방전침에끼이는현상을예방할수 있음은물론주기적으로방전침을청소하는효과가얻을수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法。 用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法包括以下步骤：当与用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的清洁部件相关联的第一电动机接通时，第一电动机旋转预定次数， 与第一马达相关联的清洁部件从一侧到另一侧旋转排出尖端附近; 并且第一马达被关闭，从而防止刷子卡在排出尖端的情况。
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公开(公告)号：KR101806668B1
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：KR1020160017929
申请日：2016-02-16
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은반도체또는디스플레이제작시사용되는진공체임버내부의압력조건즉 진공상태인지대기압상태인지여부에따라진공체임버내부에위치하는피대전체의정전하를제거하기위하여진공상태에서는피대전체에진공적외선을조사하고대기압하에서는피대전체에연엑스선을조사할수 있는정전기제거장치에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하기위한 "진공체임버내부의압력변화에따라연엑스선또는진공자외선중의어느하나의광을조사하여피대전체의정전기를중화시키는정전기제거장치"는진공체임버내부에배치되어피대전체의상부에상이한파장대의광을조사하는제 1 광조사부및 제 2 광조사부와, 상기진공체임버내부일측에배치되어상기진공체임버의진공도를감지하는센서와, 상기센서에서감지한진공도를수신하여상기진공도에따라상기제 1 광조사부및 상기제 2 광조사부중 어느하나를선택적으로동작시키는위하여상기진공체임버외부에배치되는제어부를구비한다. 본발명에따른정전기제거장치를사용하는경우진공체임버내부의진공도에따라서연엑스선을조사하여피대전체의정전기를중화시키거나진공자외선을조사하여피대전체의정전기를중화시킬수 있다는이점이있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101469594B1
公开(公告)日：2014-12-05
申请号：KR1020130110776
申请日：2013-09-16
Applicant: (주)선재하이테크
IPC: H05G1/02
CPC classification number: H05G1/40 , H01J35/02 , H01J2235/02 , H05G1/28
Abstract: 본 발명은 상호 탈부착이 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부로 이루어지는 분리형 X선 발생 장치의 구성 요소인 고전압 발생부와 X선 발생부 각각에 동작 시간을 저장할 수 있는 메모리를 탑재시켜 고전압 발생부와 X선 발생부의 개별 동작 시간을 점검할 있도록 한 X선 발생 장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시예인 상호 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 포함하는 X선 발생 장치는 상기 고전압 발생부는 상기 고전압 발생부의 총 동작 시간을 저장하기 위한 제 1 메모리를 구비하고, 상기 X선 발생부는 상기 X선 발생부의 총 동작 시간을 저장하기 위한 제 2 메모리를 구비한다.
본 발명에서 제안하는 상호 탈부착 가능한 전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 X선 발생 장치는 고전압 발생부와 X선 발생부의 개별 사용 시간을 실시간으로 파악할 수 있고 X선 발생부 또는 고전압 발생부가 선택적으로 교체된 후에도 교체된 제품의 사용 시간을 독립적으로 산출할 수 있다는 이점이 있다.
따라서, 판매자 입장에서는 해당 제품들의 유효 사용 연한을 통계적으로 추출하여 R&D 개발에 참고할 수 있고 구매자 입장에서는 해당 제품이 유효 사용 기간내에 있다는 것을 주장하여 무상 AS 지원 등을 받을 수 있는 이점이 있다.Abstract translation: 本发明涉及一种能够检查作为包括高电压发生器和X射线的可分离X射线产生装置的组成元件的高压发生器和X射线发生器的各个操作时间的X射线产生装置 发电机，分别通过将能够在高电压发生器和X射线发生器中存储操作时间的存储器相互连接和分离。 根据本发明实施例的X射线产生装置包括彼此分离和分离的高压发生器和X射线发生器。 高电压发生器包括用于存储高电压发生器的总操作时间的第一存储器。 X射线发生器包括用于存储X射线发生器的总操作时间的第二存储器。 根据本发明的实施方式的包含高压发生器和X射线发生器的X射线产生装置可以识别各个使用小时的高压发生器和X射线 发电机实时。 在高电压发生器或X射线发生器被选择性地更换之后，可以独立地计算更换发电机的小时数。 因此，卖方统计提取使用相应产品的有效年限，并提及提取的有效年限用于研发（R＆D）。 买方可以抗议相应的产品在有效使用间隔内以接收免费售后服务（AS）。
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公开(公告)号：KR101417899B1
公开(公告)日：2014-07-10
申请号：KR1020130047929
申请日：2013-04-30
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: The present invention relates to an ion balance adjustment device used in an antistatic device for neutralizing a charged product by emitting a positive ion and a negative ion, and more specifically, to an ion balance adjustment device capable of emitting the same amount of a positive ion and a negative ion regardless of duty ratio of a positive pulse and a negative pulse or a difference in an amplitude. The ion balance adjustment device of the present invention comprises a DC pulse voltage generating unit, a capacitor which is connected to the output end of the DC pulse voltage generating unit, and at least one of discharge needle that is connected in parallel to the other end of the capacitor. Negative and positive ions discharged through the discharge needle are balanced, thereby maintaining balance.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于通过发射正离子和负离子来中和带电产物的抗静电装置中的离子平衡调节装置，更具体地，涉及能够发射相同量的正离子的离子平衡调节装置 和负离子，而不管正脉冲和负脉冲的占空比如何，或振幅差。 本发明的离子平衡调整装置包括直流脉冲电压生成部，与直流脉冲电压生成部的输出端连接的电容器以及与另一端并联连接的放电针中的至少一个 的电容器。 通过放电针排出的负离子和正离子是平衡的，从而保持平衡。
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公开(公告)号：KR1020170096490A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020160017928
申请日：2016-02-16
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은정전기제전부를구성하는광조사부의온도또는광조사부에서대전체를향하여조사되는연엑스선내지진공자외선의광도등을감지하여광조사부의성능을실시간을감지할수 있도록한 "정전기제전부의성능상태감지가가능한이오나이저"에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하는실시예인정전기제거용광을조사하는정전기제전부및 정전기제전부의동작전원을공급하는전원제어부를구비하는이오나이저의정전기제전부는내부공간이형성된하우징과, 상기하우징내부에안착되어연엑스선또는진공자외선을조사하는광조사부를구비하며, 하우징내부일측에는상기광조사부에서조사되는연엑스선또는진공자외선의광도를감지하기위한광 센서, 또는상기광조사부의온도변화를감지하기위한온도센서가부설될수 있으며, 전원제어부는상기광 센서또는상기온도센서에서감지한상기광조사부의광도정보또는온도정보에기초하여상기광조사부에공급되는상기전원을조절하거나상기광조사부의교체시기를제공할수 있다. 본발명에따른정전기제전부의성능상태감지가가능한이오나이저를사용하는경우광조사부의성능이상을실시간으로파악할수 있으므로초정밀반도체공정또는디스플레이공정에서요구되는정밀한정전기제거효과를보다극대화시켜제품생산수율을개선시킬수 있다는이점이있다.
Abstract translation: 本发明是静电中和“静态权利要求整个检测的光强度，该软X-射线的等，以真空紫外光为朝向总的照射的温度或光照射照射使得可以实时检测发射构成部件的光的性能的性能 状态可检测离子发生器“。 前的操作功率和静电整个静电权利要求照射实施例除静电yonggwang执行技术精神电源控制单元壳体，具有静态和单元形成为具有本发明提出的由离子发生器的内部空间 在外壳中就位，并且包括用于照射软X射线或真空紫外线的光的照射下，该壳体内侧面可以用于感测从所述光照射部发射的软X射线或真空紫外线的光的亮度，或光照射部的温度变化而设置有光学传感器 它是用于感测敷设的温度传感器，和光学传感器的功率控制单元或亮度信息或温度信息来调整提供给发光部件或所检测到的hansanggi光的基础上的发光部由所述温度传感器的发光部的电力 您可以提供更换时间。 当使用静态性能状态检测是根据本发明的整个的可能的电离能确定至少在实时发光部分的通过高精度更最大限度地需要去除精确静电半导体处理或者显示处理效果产率的性能 有一点可以改善。
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公开(公告)号：KR101700218B1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：KR1020150003291
申请日：2015-01-09
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은코로나방전이오나이저의작동전후또는작동중 소정시간동안방전전극청소용브러쉬를소정각도로반복회동시키는동작을수행하도록하여방전전극을수시로청소하는효과를얻음과동시에브러쉬가방전전극에끼이는것을방지하도록한 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"에관한것이다. 본발명에따른일 실시예인코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법은 (a) 코로나방전이오나이저의방전침청소용브러쉬와연동되어있는제 1 모터의턴온시상기제 1 모터가소정횟수좌우로회동하면서상기제 1 모터와연동되는상기브러쉬가상기방전침주변을좌우로회동하도록한 후상기제 1 모터를턴오프시키는단계; 및 (b) 상기코로나방전이오나이저의상기방전침에코로나방전을유도하기위한고전압을인가하는고전압발생기를턴온시키고상기방전침에서의방전에의해발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구동시키는단계로이루어진다. 본발명의따른다른실시예는고전압발생기와상기고전압발생기로부터소정의전압을공급받아코로나방전을발생시키는방전침과상기방전침에의하여발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구비하는송풍형코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법으로서, 상기고전압발생기와상기송풍팬의작동이종료되는경우, 상기방전침을청소하기위한브러쉬를작동시키는모터가턴온되어상기브러쉬가상기방전침주변을수회좌우로회동하도록하는것을특징으로한다. 본발명에서제안하는 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"을사용하는경우브러쉬가방전침에끼이는현상을예방할수 있음은물론주기적으로방전침을청소하는효과가얻을수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法。 用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法包括以下步骤：当与用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的清洁部件相关联的第一电动机接通时，第一电动机旋转预定次数， 与第一马达相关联的清洁部件从一侧到另一侧旋转排出尖端附近; 并且第一马达被关闭，从而防止刷子卡在排出尖端的情况。
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公开(公告)号：KR101554509B1
公开(公告)日：2015-09-22
申请号：KR1020140081572
申请日：2014-07-01
Applicant: (주)선재하이테크
IPC: G01R29/24
CPC classification number: G01R29/24
Abstract: [목적]
본 발명은 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 대전체와 소정 거리 이격되어 있는 도전판을 소정 주기로 개폐하는 도전성 셔터판을 이용하여 도전판에 소정의 전류를 발생시키고 이를 전압으로 변환하여 측정함으로써 대전체에 존재하는 정전하의 양을 감지하고 측정할 수 있는 "대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치"에 관한 것이다.
[구성]
본 발명에서 제안하는 대전체의 정전기를 측정하기 위한 정전하 감지기는 대전체와 상기 대전체의 정전기에 의하여 소정의 전하가 유도되는 도전판 사이에 배치되어 상기 대전체와 대향하는 상기 도전판의 소정 영역을 주기적으로 차폐하면서 회전하는 도전성 차폐판을 구비하며, 상기 도전성 차폐판의 일측에 연결된 도전막대에 부설되어 있는 영구자석의 극성 방향을 전자석을 이용하여 회전시킴으로써 상기 도전막대를 회전시키고 상기 도전막대의 회전에 따라 상기 도전성 차폐판이 회전한다.
[효과]
본 발명에 따른 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치를 를 사용하는 경우 대전체에 존재하는 정전하의 양을 실시간으로 감지할 수 있기 때문에 일정 수준 이상의 정전기를 갖는 웨이퍼 또는 디스플레이 등과 같은 대전체에 대하여 즉각적인 조치를 수행할 수 있다는 이점이 있으며, 소형으로 제작 가능하기 때문에 협소한 공간에 간편하게 설치할 수 있는 이점도 있다.Abstract translation: 本发明涉及一种用于带电体的静电荷传感器和静电电荷测量装置，更具体地说，涉及一种静电荷传感器和用于带电体的静电电荷测量装置，所述静电荷传感器和静电电荷测量装置使用打开和关闭 导电板以规定的频率从带电体分离规定的距离，以在导电板中产生规定的电流，并将电流转换成电压，以测量电压以感测并测量带电体中存在的静电电荷的量。 根据本发明的用于测量带电体的静电的静电电荷传感器包括设置在带电体和导电板之间的导电屏蔽板，其中通过带电体的静电引起规定的电荷以周期性地旋转并屏蔽 所述导电板的面向所述带电体的规定区域，并且使用电磁体旋转安装在与所述导电屏蔽板的一侧连接的导电棒上的永磁体的极性方向，以旋转所述导电棒并使所述导电屏蔽板 根据传导杆的旋转。 如果使用根据本发明的静电电荷传感器和用于带电体的静电电荷测量装置，由于可以实时检测带电体中存在的静电电荷量，因此可以立即采取充电 主体，例如具有高于或等于一定水平的静电的晶片或显示器。 并且由于静电荷传感器可以制造成小尺寸，所以静电荷传感器可以方便地安装在较小的空间中。
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