코로나 방전 이오나이저의 방전침을 청소하는 방법
    11.
    发明公开
    코로나 방전 이오나이저의 방전침을 청소하는 방법 有权
    清洁放射性离子放电的方法

    公开(公告)号:KR1020160086077A

    公开(公告)日:2016-07-19

    申请号:KR1020150003291

    申请日:2015-01-09

    CPC classification number: H01T21/04 B08B1/002 B08B1/04

    Abstract: 본발명은코로나방전이오나이저의작동전후또는작동중 소정시간동안방전전극청소용브러쉬를소정각도로반복회동시키는동작을수행하도록하여방전전극을수시로청소하는효과를얻음과동시에브러쉬가방전전극에끼이는것을방지하도록한 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"에관한것이다. 본발명에따른일 실시예인코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법은 (a) 코로나방전이오나이저의방전침청소용브러쉬와연동되어있는제 1 모터의턴온시상기제 1 모터가소정횟수좌우로회동하면서상기제 1 모터와연동되는상기브러쉬가상기방전침주변을좌우로회동하도록한 후상기제 1 모터를턴오프시키는단계; 및 (b) 상기코로나방전이오나이저의상기방전침에코로나방전을유도하기위한고전압을인가하는고전압발생기를턴온시키고상기방전침에서의방전에의해발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구동시키는단계로이루어진다. 본발명의따른다른실시예는고전압발생기와상기고전압발생기로부터소정의전압을공급받아코로나방전을발생시키는방전침과상기방전침에의하여발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구비하는송풍형코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법으로서, 상기고전압발생기와상기송풍팬의작동이종료되는경우, 상기방전침을청소하기위한브러쉬를작동시키는모터가턴온되어상기브러쉬가상기방전침주변을수회좌우로회동하도록하는것을특징으로한다. 본발명에서제안하는 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"을사용하는경우브러쉬가방전침에끼이는현상을예방할수 있음은물론주기적으로방전침을청소하는효과가얻을수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法。 用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法包括以下步骤:当与用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的清洁部件相关联的第一电动机接通时,第一电动机旋转预定次数, 与第一马达相关联的清洁部件从一侧到另一侧旋转排出尖端附近; 并且第一马达被关闭,从而防止刷子卡在排出尖端的情况。

    에어 유량 조절이 가능한 방전 전극 소켓

    公开(公告)号:KR101737894B1

    公开(公告)日:2017-05-19

    申请号:KR1020150065852

    申请日:2015-05-12

    Abstract: 본발명은방전전극이탑재된방전전극소켓코아부및 이와결합되는소켓베이스부간의결합깊이를선택적으로조절함으로써방전전극소켓코아부에서소켓베이스부로이동하는에어의유출량을선택적으로조절할수 있는 "에어유량조절이가능한방전전극소켓"에관한것이다. 본발명에따른에어유량조절이가능한방전전극소켓은원추형의첨두부를갖는방전전극과, 상기방전전극이삽입되어안착되는방전전극소켓코어부와, 상기방전전극소켓코어부가삽입되어결합되는관통중공부를가지며상기원추형의첨두부를갖는방전전극이노출되는개구부를갖는소켓베이스부를구비하며, 제전거리또는제전영역에맞추어원추형첨두부를갖는상기방전전극과상기개구부사이의공극크기가가변되도록상기소켓베이스부와결합되는상기방전전극소켓코어부의체결깊이를조절함으로써상기방전전극소켓코어부에서상기소켓베이스부로이동하여유출되는에어의유출량을제어할수 있다. 본발명에따른방전전극소켓을사용하는경우코로나방전형이오너이저에장착되는방전전극소켓마다에어의유출량에차이를둘 수있으므로제전대상의거리내지범위(또는영역)에맞추어최적화된제전효율을기대할수 있다는이점이있다.

    제전 기능을 갖춘 거치대 및 이를 이용하는 기판 탑재용 스테이지에 대한 제전 장치
    14.
    发明授权
    제전 기능을 갖춘 거치대 및 이를 이용하는 기판 탑재용 스테이지에 대한 제전 장치 有权
    用于离子化的引脚保持器和具有离子的装置,用于消除基片如等离子体或玻璃的阶段的静电电荷

    公开(公告)号:KR101554508B1

    公开(公告)日:2015-09-22

    申请号:KR1020140085810

    申请日:2014-07-09

    CPC classification number: H05F3/00 H01T23/00 H05F3/04

    Abstract: [목적]
    본 발명은 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이용 글래스 등이 안착 또는 탑재되는 스테이지의 하부에 설치되어 웨이퍼 또는 글래스를 승하강시키는 복수개의 리프트용 핀과 적어도 하나 이상의 이오나이저가 부설된 거치대를 이용하여 웨이퍼 또는 글래스의 하부면에 발생하는 정전기를 효율적으로 제거하기 위한 "제전 기능을 갖춘 거치대 및 이를 이용하는 기판 탑재용 스테이지에 대한 제전 장치"에 관한 것이다.
    [구성]
    본 발명에서 제안하는 실시예인 기판 탑재를 위한 평판 구조의 상판에 형성된 복수개의 관통홀을 갖는 스테이지의 하부에 설치되어 상기 스테이지 상판에 탑재되는 상기 기판을 승하강시키는 제전 기능을 갖춘 거치대에는 상기 복수개의 관통홀을 통하여 상기 기판의 하부면과 접하면서 상기 기판을 승하강시킬 수 있는 복수개의 핀과, 상기 복수개의 핀의 높이와 동일한 높이를 갖는 적어도 하나 이상의 이오나이저가 부설되며, 상기 적어도 하나 이상의 이오나이저는 상기 기판의 하부면을 제전시키는 역할을 수행한다.
    [효과]
    본 발명을 이용하는 경우, 스테이지에 안착되는 웨이퍼 또는 평판 디스플레이의 하부면에 대한 제전 효율을 개선할 수 있으며, 스테이지와 연동되는 거치대에 다양한 종류의 이오나이저를 적어도 하나 이상 설치함으로써 웨이퍼 또는 평판 디스플레이의 하부면에 대한 제전을 효율적으로 처리할 수 있다는 이점이 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种具有离子化功能的针式保持器和用于使用该载物台加载载物台的电离装置,该载物台能够有效地除去在半导体晶片或平板显示器玻璃的下表面上产生的静电电荷, 多个提升销安装在台架的下部,其上放置或加载晶片或玻璃以垂直移动晶片或玻璃,以及在其上构造有至少一个离子发生器的销座。 根据本发明的实施例的具有电离功能的针保持器安装在具有形成在用于加载衬底的平板结构的上板上的多个穿透孔的台的下部,并且包括:多个 的销通过多个穿透孔与基板的下表面接触并垂直移动基板; 并且在其上构造具有与多个销相同高度的至少一个离子发生器,并且离子化基板的下表面。 根据本发明,可以提高相对于晶片的下表面或坐在台上的平板显示器的电离效率。 相对于晶片或平板显示器的下表面的离子化可以通过将一种或多种各种类型的电离器安装在与台架连接的销座上来有效地进行处理。

    자가발전형 이온 에어건
    16.
    发明公开
    자가발전형 이온 에어건 有权
    自发式离子枪

    公开(公告)号:KR1020180006175A

    公开(公告)日:2018-01-17

    申请号:KR1020160086974

    申请日:2016-07-08

    Abstract: 본발명은길이방향일단및 타단에각각분사홀및 삽입홀이형성되며, 상기삽입홀의외주면에가이드레일이설치되는케이스; 상기가이드레일에슬라이딩장착되는모터레일이외주면에설치되는모터커버와, 상기모터커버의내부에장착되며상기분사홀에대향하는대향면에구동축이배치되는발전모터와, 상기구동축에결합되는임펠러를포함하는발전기; 상기임펠러로압축공기를공급하여회전시키는공급조립체와, 상기임펠러의회전에의해송풍되는압축공기가유입되어상기분사홀로토출되는토출조립체를포함하는공기전달체; 및상기분사홀에설치되며상기발전모터에발생하는전류를이용하여상기토출조립체에서이송된압축공기를이온화시키는이온화기;를포함하는것을특징으로하는자가발전형에어건에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明每个纵向端,并在另一端处的喷射孔,并且形成插入孔,情况,其中提供的插入孔的外周表面上的导轨; 并用其安装比电动机轨之外的主表面上滑动地安装在导轨上的电机罩,发电电动机被安装到所述马达盖的内部是一个驱动轴被布置在相对的面相对的注入孔,其耦合到所述驱动轴的叶轮 包括发电机; 一种空气输送单元,其包括用于将压缩空气供应到叶轮并旋转压缩空气的供应组件和用于将由叶轮组件吹送的压缩空气排放到喷射孔的排放组件; 离子发生器安装在注入孔中,并通过使用发电电动机中产生的电流使从排出组件传送的压缩空气离子化。

    코로나 방전 이오나이저의 방전침을 청소하는 방법
    17.
    发明授权
    코로나 방전 이오나이저의 방전침을 청소하는 방법 有权
    清洁电晕放电电离器放电尖端的方法

    公开(公告)号:KR101700218B1

    公开(公告)日:2017-01-26

    申请号:KR1020150003291

    申请日:2015-01-09

    Abstract: 본발명은코로나방전이오나이저의작동전후또는작동중 소정시간동안방전전극청소용브러쉬를소정각도로반복회동시키는동작을수행하도록하여방전전극을수시로청소하는효과를얻음과동시에브러쉬가방전전극에끼이는것을방지하도록한 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"에관한것이다. 본발명에따른일 실시예인코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법은 (a) 코로나방전이오나이저의방전침청소용브러쉬와연동되어있는제 1 모터의턴온시상기제 1 모터가소정횟수좌우로회동하면서상기제 1 모터와연동되는상기브러쉬가상기방전침주변을좌우로회동하도록한 후상기제 1 모터를턴오프시키는단계; 및 (b) 상기코로나방전이오나이저의상기방전침에코로나방전을유도하기위한고전압을인가하는고전압발생기를턴온시키고상기방전침에서의방전에의해발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구동시키는단계로이루어진다. 본발명의따른다른실시예는고전압발생기와상기고전압발생기로부터소정의전압을공급받아코로나방전을발생시키는방전침과상기방전침에의하여발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구비하는송풍형코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법으로서, 상기고전압발생기와상기송풍팬의작동이종료되는경우, 상기방전침을청소하기위한브러쉬를작동시키는모터가턴온되어상기브러쉬가상기방전침주변을수회좌우로회동하도록하는것을특징으로한다. 본발명에서제안하는 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"을사용하는경우브러쉬가방전침에끼이는현상을예방할수 있음은물론주기적으로방전침을청소하는효과가얻을수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法。 用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法包括以下步骤:当与用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的清洁部件相关联的第一电动机接通时,第一电动机旋转预定次数, 与第一马达相关联的清洁部件从一侧到另一侧旋转排出尖端附近; 并且第一马达被关闭,从而防止刷子卡在排出尖端的情况。

    X선 발생기
    18.
    发明授权
    X선 발생기 有权
    X射线发生器

    公开(公告)号:KR101686821B1

    公开(公告)日:2016-12-15

    申请号:KR1020150069155

    申请日:2015-05-18

    Abstract: 본발명은고전압발생기와상호탈부착가능한 X선발생기의구조에관한것이다. 본발명에서제안하는고전압발생기와탈부착가능한 X선발생기는, 한쌍의도전성와이어를통하여고전압을수신하여 X선을방사하는 X선튜브와, 후단부가한쌍의상기도전성와이어와결합되며소정길이를갖는한쌍의도전성핀과, 제 1 단부를통하여한쌍의상기도전성핀의전단부를삽입가능하게하고제 2 단부를통하여상기제 1 단부를통하여삽입된한쌍의상기도전성핀의상기전단부를노출시키는관통내관이형성되어있는원통형의커넥터와, 상호결합된상기 X선튜브, 한쌍의상기도전성핀 및상기커넥터를일체로내장하기위한제 1 중공부가형성되어있는몰딩케이스와, 상기몰딩케이스를내장하는제 2 중공부가형성되어있는외장케이스를구비한다. 본발명의경우, X선튜브와결합되는소정길이를갖는한쌍의도전성핀이외력또는고전압발생기의암 체결부전극과의결합시휘어지거나절곡될수 있는위험을제거하기위하여외력에의한휘어짐등을방지하기위하여도전성핀을삽입시켜고정안착시킬수 있는커넥터를제공함으로써단품으로제공되는 X선발생기의도전성핀 훼손가능성을사전에차단할수 있다이점이있다. 또한, 본발명에따른 X선발생기는고전압발생기와상호분리하여선택적인납품이가능하므로정전기제거장치의교체비용이절감되는효과도있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种可与高压发生器相互分离的X射线发生器的结构。 通过一对导线的高电压发生器的和所选择的生成可拆卸X,本发明和用于发射X射线的X射线管通过提出接收高电压时,与后啮合端部的一对导线对,其中具有预定长度的 一个通过内管的导电销的形成,曝光的一对导电销的前端的第一端穿过所述第一端部插入,并要被插入前端和经由第二端的一对零件上的导电销贯穿的 成本到圆柱形的连接器,交叉耦合与所述X射线管,和在模制情况下,形成第1中空部,以内置的一对导电销和一体的连接器,所述第二中空部分形成为嵌入模制管壳 还有一个外部的情况。 在当前情况下,防止翘曲等因外力以除去可以弯曲或折叠在所述一对导电销和所述外力或具有一定长度的高电压发生器的臂连接部电极的接合到与X射线管相结合的危险 它可以是通过将导电销通过提供sikilsu固定座位预先这样的优点,一个连接器来阻止作为单个单元提供可能导电销X选择动画的破坏。 此外,从由所述高电压发生器产生彼此,和X中分离的本发明可以有选择地根据与输送它具有这样的静电的更换成本删除设备节约的效果。

    바 타입 이오나이저용 브라켓장치
    19.
    发明公开
    바 타입 이오나이저용 브라켓장치 有权
    一种棒式离子机的支架装置

    公开(公告)号:KR1020140065748A

    公开(公告)日:2014-05-30

    申请号:KR1020120132286

    申请日:2012-11-21

    CPC classification number: F16B2/10 F16B2/12 F16B2/14 H05F3/06

    Abstract: The present invention provides a bracket apparatus for a bar-type ionizer, which includes a body clamp having the bar-type ionizer fitted therein and a flange having an arc-shape outer circumference; a mounting bracket having a guide rail embedded in a bottom surface thereof to surround the flange of the body clamp and to fix the body clamp such that the body clamp slides and rotates and a top surface coupled with a fixture structure; and a stopper having one side rotatably fixed to the mounting bracket and an opposite side locked with the flange of the body clamp to fix the rotation angle of the body clamp about the mounting bracket. Accordingly, the rotation central axis of the bar-type ionizer is formed in the body clamp to minimize a rotation radius, so that the space utilization can be maximized. According to the present invention, the bar-type ionizer is rotated by using the body clamp, so that the self-rotation of the bar-type ionizer is possible. Accordingly, the rotation radius can be minimized and the detaching and the maintenance of a produce are possible even in a narrow space of a factory, so that the space utilization can be maximized. As well, the bar-type ionizer is not limited to a vertical fixture ionizer or a horizontal fixture ionizer, but the rotational angles of the bar-type ionizer can be variously and flexibly set. Therefore, the bar-type ionizer can be conveniently used under various working environments and spaces, which represents superior effects.

    Abstract translation: 本发明提供一种用于棒式离子发生器的支架装置,其包括装配有棒式离子发生器的主体夹具和具有弧形外周的凸缘; 安装支架,其具有嵌入其底表面中的导轨,以围绕主体夹具的凸缘并且固定主体夹具,使得主体夹具滑动并旋转,以及与固定装置结合的顶表面; 以及止动器,其一侧可旋转地固定到所述安装支架,并且相对侧与所述主体夹具的凸缘锁定,以将所述主体夹具的旋转角度固定在所述安装支架周围。 因此,棒状离子发生器的旋转中心轴形成在主体夹具中以最小化旋转半径,从而可以最大化空间利用。 根据本发明,通过使用本体夹具使棒式离子发生器旋转,从而可以进行棒式离子发生器的自转。 因此,可以使旋转半径最小化,即使在工厂的狭窄空间中也能够实现产品的分离和维护,从而能够最大限度地利用空间。 同样,棒式离子发生器不限于垂直夹具电离器或水平夹具离子发生器,而是可以各种灵活地设置棒式离子发生器的旋转角度。 因此,棒式离子发生器可以方便地在各种工作环境和空间中使用,这表现出优异的效果。

    흡입형 부유물 포집 장치
    20.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101849916B1

    公开(公告)日:2018-04-18

    申请号:KR1020160032875

    申请日:2016-03-18

    Abstract: 본발명에따른흡입형부유물포집장치는, 내부공간을갖는틀인제1 프레임과상기제1 프레임내부를가로질러서로평행하게이격배치된복수의와이어전극을포함하는에미터전극부와, 상기제1 프레임과대응되는형상인제2 프레임과상기제2 프레임내부에형성되되중심점이상기와이어전극과대응되도록일렬로배치된다수개의홀이타공된판상전극을포함하는컬렉터전극부를구비한셀 어셈블리; 상기와이어전극및 상기판상전극과대응되는중공부가형성된전면판과, 상기전면판과이격배치되되복수의팬 삽입공을형성한후면판, 상기전면판과상기후면판의상부와하부및 측부모서리를각각연결하는상면판과바닥판및 측면판을포함한것으로, 일측 부위가선택적으로개폐가능하게형성된커버하우징; 상기후면판의팬 삽입공과대응되는위치에형성되어공기의흐름을후방으로유도하는흡입팬을포함하는석션어셈블리; 및상기와이어전극과상기판상전극에상호상반되는극성의전원을인가시키는전원공급부;를포함한다. 이러한흡입형부유물포집장치는에미터전극부와컬렉터전극부를포함하는셀 어셈블리가커버하우징으로부터별도의공구없이안정적으로간편하게분리될수 있도록하여유지보수가용이하고, 소정의기류를형성하여상기셀 어셈블리의집진과정이더욱효율적으로이루어질수 있도록하는효과가있다.

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