Abstract:
[목적] 본 발명은 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이용 글래스 등이 안착 또는 탑재되는 스테이지의 하부에 설치되어 웨이퍼 또는 글래스를 승하강시키는 복수개의 리프트용 핀과 적어도 하나 이상의 이오나이저가 부설된 거치대를 이용하여 웨이퍼 또는 글래스의 하부면에 발생하는 정전기를 효율적으로 제거하기 위한 "제전 기능을 갖춘 거치대 및 이를 이용하는 기판 탑재용 스테이지에 대한 제전 장치"에 관한 것이다. [구성] 본 발명에서 제안하는 실시예인 기판 탑재를 위한 평판 구조의 상판에 형성된 복수개의 관통홀을 갖는 스테이지의 하부에 설치되어 상기 스테이지 상판에 탑재되는 상기 기판을 승하강시키는 제전 기능을 갖춘 거치대에는 상기 복수개의 관통홀을 통하여 상기 기판의 하부면과 접하면서 상기 기판을 승하강시킬 수 있는 복수개의 핀과, 상기 복수개의 핀의 높이와 동일한 높이를 갖는 적어도 하나 이상의 이오나이저가 부설되며, 상기 적어도 하나 이상의 이오나이저는 상기 기판의 하부면을 제전시키는 역할을 수행한다. [효과] 본 발명을 이용하는 경우, 스테이지에 안착되는 웨이퍼 또는 평판 디스플레이의 하부면에 대한 제전 효율을 개선할 수 있으며, 스테이지와 연동되는 거치대에 다양한 종류의 이오나이저를 적어도 하나 이상 설치함으로써 웨이퍼 또는 평판 디스플레이의 하부면에 대한 제전을 효율적으로 처리할 수 있다는 이점이 있다.
Abstract:
The present invention provides a bracket apparatus for a bar-type ionizer, which includes a body clamp having the bar-type ionizer fitted therein and a flange having an arc-shape outer circumference; a mounting bracket having a guide rail embedded in a bottom surface thereof to surround the flange of the body clamp and to fix the body clamp such that the body clamp slides and rotates and a top surface coupled with a fixture structure; and a stopper having one side rotatably fixed to the mounting bracket and an opposite side locked with the flange of the body clamp to fix the rotation angle of the body clamp about the mounting bracket. Accordingly, the rotation central axis of the bar-type ionizer is formed in the body clamp to minimize a rotation radius, so that the space utilization can be maximized. According to the present invention, the bar-type ionizer is rotated by using the body clamp, so that the self-rotation of the bar-type ionizer is possible. Accordingly, the rotation radius can be minimized and the detaching and the maintenance of a produce are possible even in a narrow space of a factory, so that the space utilization can be maximized. As well, the bar-type ionizer is not limited to a vertical fixture ionizer or a horizontal fixture ionizer, but the rotational angles of the bar-type ionizer can be variously and flexibly set. Therefore, the bar-type ionizer can be conveniently used under various working environments and spaces, which represents superior effects.