公开(公告)号：WO2016003153A1

公开(公告)日：2016-01-07

申请号：PCT/KR2015/006690

申请日：2015-06-30

Applicant: (주)선재하이테크

Inventor： 이동훈 ,  정용철 ,  이상덕 ,  김희묵 ,  김성훈 ,  권태규

IPC: G01R29/24

CPC classification number: G01R29/24

Abstract: 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치가 제안된다. 보다 구체적으로는 대전체와 소정 거리 이격되어 있는 도전판을 소정 주기로 개폐하는 도전성 셔터판을 이용하여 도전판에 소정의 전류를 발생시키고 이를 전압으로 변환하여 측정함으로써 대전체에 존재하는 정전하의 양을 감지하고 측정할 수 있는 "대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치"가 제안된다. 제안된 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치를 사용하는 경우 대전체에 존재하는 정전하의 양을 실시간으로 감지할 수 있기 때문에 일정 수준 이상의 정전기를 갖는 웨이퍼 또는 디스플레이 등과 같은 대전체에 대하여 즉각적인 조치를 수행할 수 있다는 이점이 있다. 또한, 소형으로 제작 가능하기 때문에 협소한 공간에 간편하게 설치할 수 있는 이점도 있다.

Abstract translation: 提出了用于检测带电体中的静电电荷的检测器及其测量装置。 更具体地，提供了一种“用于检测带电体中的静电荷的检测器及其测量装置”，其能够通过使用导电快门板来检测和测量存在于带电体中的静电电荷的量 以预定间隔打开和关闭与被充电体隔开预定距离的导电板，以在导电板中产生预定电流，并将电流转换成用于测量电压的电压。 当使用所提出的用于检测带电体中的静电电荷的检测器及其测量装置时，可以实时地检测存在于带电体中的静电电荷量，从而可以在充电体 例如晶片或显示器具有超过一定水平的静电电荷。 另外，由于检测器可以制造成小尺寸，所以具有可以容易地安装在狭窄的空间中的优点。

公开(公告)号：KR1020160086077A

公开(公告)日：2016-07-19

申请号：KR1020150003291

申请日：2015-01-09

Applicant: (주)선재하이테크

Inventor： 이동훈 ,  정용철 ,  이상덕 ,  김은민 ,  김희묵 ,  김한주 ,  김성훈 ,  이민호

IPC: H01T21/04 ,  B08B1/00 ,  B08B1/04

CPC classification number: H01T21/04 ,  B08B1/002 ,  B08B1/04

Abstract: 본발명은코로나방전이오나이저의작동전후또는작동중 소정시간동안방전전극청소용브러쉬를소정각도로반복회동시키는동작을수행하도록하여방전전극을수시로청소하는효과를얻음과동시에브러쉬가방전전극에끼이는것을방지하도록한 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"에관한것이다. 본발명에따른일 실시예인코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법은 (a) 코로나방전이오나이저의방전침청소용브러쉬와연동되어있는제 1 모터의턴온시상기제 1 모터가소정횟수좌우로회동하면서상기제 1 모터와연동되는상기브러쉬가상기방전침주변을좌우로회동하도록한 후상기제 1 모터를턴오프시키는단계; 및 (b) 상기코로나방전이오나이저의상기방전침에코로나방전을유도하기위한고전압을인가하는고전압발생기를턴온시키고상기방전침에서의방전에의해발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구동시키는단계로이루어진다. 본발명의따른다른실시예는고전압발생기와상기고전압발생기로부터소정의전압을공급받아코로나방전을발생시키는방전침과상기방전침에의하여발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구비하는송풍형코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법으로서, 상기고전압발생기와상기송풍팬의작동이종료되는경우, 상기방전침을청소하기위한브러쉬를작동시키는모터가턴온되어상기브러쉬가상기방전침주변을수회좌우로회동하도록하는것을특징으로한다. 본발명에서제안하는 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"을사용하는경우브러쉬가방전침에끼이는현상을예방할수 있음은물론주기적으로방전침을청소하는효과가얻을수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法。 用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法包括以下步骤：当与用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的清洁部件相关联的第一电动机接通时，第一电动机旋转预定次数， 与第一马达相关联的清洁部件从一侧到另一侧旋转排出尖端附近; 并且第一马达被关闭，从而防止刷子卡在排出尖端的情况。

公开(公告)号：KR101700218B1

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：KR1020150003291

申请日：2015-01-09

Applicant: (주)선재하이테크

Inventor： 이동훈 ,  정용철 ,  이상덕 ,  김은민 ,  김희묵 ,  김한주 ,  김성훈 ,  이민호

IPC: H01T21/04 ,  B08B1/00 ,  B08B1/04

Abstract: 본발명은코로나방전이오나이저의작동전후또는작동중 소정시간동안방전전극청소용브러쉬를소정각도로반복회동시키는동작을수행하도록하여방전전극을수시로청소하는효과를얻음과동시에브러쉬가방전전극에끼이는것을방지하도록한 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"에관한것이다. 본발명에따른일 실시예인코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법은 (a) 코로나방전이오나이저의방전침청소용브러쉬와연동되어있는제 1 모터의턴온시상기제 1 모터가소정횟수좌우로회동하면서상기제 1 모터와연동되는상기브러쉬가상기방전침주변을좌우로회동하도록한 후상기제 1 모터를턴오프시키는단계; 및 (b) 상기코로나방전이오나이저의상기방전침에코로나방전을유도하기위한고전압을인가하는고전압발생기를턴온시키고상기방전침에서의방전에의해발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구동시키는단계로이루어진다. 본발명의따른다른실시예는고전압발생기와상기고전압발생기로부터소정의전압을공급받아코로나방전을발생시키는방전침과상기방전침에의하여발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구비하는송풍형코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법으로서, 상기고전압발생기와상기송풍팬의작동이종료되는경우, 상기방전침을청소하기위한브러쉬를작동시키는모터가턴온되어상기브러쉬가상기방전침주변을수회좌우로회동하도록하는것을특징으로한다. 본발명에서제안하는 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"을사용하는경우브러쉬가방전침에끼이는현상을예방할수 있음은물론주기적으로방전침을청소하는효과가얻을수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法。 用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法包括以下步骤：当与用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的清洁部件相关联的第一电动机接通时，第一电动机旋转预定次数， 与第一马达相关联的清洁部件从一侧到另一侧旋转排出尖端附近; 并且第一马达被关闭，从而防止刷子卡在排出尖端的情况。

公开(公告)号：KR101554509B1

公开(公告)日：2015-09-22

申请号：KR1020140081572

申请日：2014-07-01

Applicant: (주)선재하이테크

Inventor： 이동훈 ,  정용철 ,  이상덕 ,  김희묵 ,  김성훈 ,  권태규

IPC: G01R29/24

CPC classification number: G01R29/24

Abstract: [목적]
본 발명은 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 대전체와 소정 거리 이격되어 있는 도전판을 소정 주기로 개폐하는 도전성 셔터판을 이용하여 도전판에 소정의 전류를 발생시키고 이를 전압으로 변환하여 측정함으로써 대전체에 존재하는 정전하의 양을 감지하고 측정할 수 있는 "대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치"에 관한 것이다.
[구성]
본 발명에서 제안하는 대전체의 정전기를 측정하기 위한 정전하 감지기는 대전체와 상기 대전체의 정전기에 의하여 소정의 전하가 유도되는 도전판 사이에 배치되어 상기 대전체와 대향하는 상기 도전판의 소정 영역을 주기적으로 차폐하면서 회전하는 도전성 차폐판을 구비하며, 상기 도전성 차폐판의 일측에 연결된 도전막대에 부설되어 있는 영구자석의 극성 방향을 전자석을 이용하여 회전시킴으로써 상기 도전막대를 회전시키고 상기 도전막대의 회전에 따라 상기 도전성 차폐판이 회전한다.
[효과]
본 발명에 따른 대전체의 정전하 감지기 및 그 측정 장치를 를 사용하는 경우 대전체에 존재하는 정전하의 양을 실시간으로 감지할 수 있기 때문에 일정 수준 이상의 정전기를 갖는 웨이퍼 또는 디스플레이 등과 같은 대전체에 대하여 즉각적인 조치를 수행할 수 있다는 이점이 있으며, 소형으로 제작 가능하기 때문에 협소한 공간에 간편하게 설치할 수 있는 이점도 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于带电体的静电荷传感器和静电电荷测量装置，更具体地说，涉及一种静电荷传感器和用于带电体的静电电荷测量装置，所述静电荷传感器和静电电荷测量装置使用打开和关闭 导电板以规定的频率从带电体分离规定的距离，以在导电板中产生规定的电流，并将电流转换成电压，以测量电压以感测并测量带电体中存在的静电电荷的量。 根据本发明的用于测量带电体的静电的静电电荷传感器包括设置在带电体和导电板之间的导电屏蔽板，其中通过带电体的静电引起规定的电荷以周期性地旋转并屏蔽 所述导电板的面向所述带电体的规定区域，并且使用电磁体旋转安装在与所述导电屏蔽板的一侧连接的导电棒上的永磁体的极性方向，以旋转所述导电棒并使所述导电屏蔽板 根据传导杆的旋转。 如果使用根据本发明的静电电荷传感器和用于带电体的静电电荷测量装置，由于可以实时检测带电体中存在的静电电荷量，因此可以立即采取充电 主体，例如具有高于或等于一定水平的静电的晶片或显示器。 并且由于静电荷传感器可以制造成小尺寸，所以静电荷传感器可以方便地安装在较小的空间中。