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公开(公告)号：KR101362074B1
公开(公告)日：2014-02-25
申请号：KR1020130075162
申请日：2013-06-28
Applicant: (주)코리아스타텍
IPC: H01L21/683 , C04B35/00 , H02N13/00 , G09F9/00
CPC classification number: H01L21/68757 , G02F2001/133322 , H01L21/6831 , H02N13/00
Abstract: The present invention relates to a basic material having a connection structure and a method for manufacturing a large electrostatic chuck for a display board by using the same and more specifically, a basic material with a connection structure including a plurality of support members and a plurality of connection members formed by being connected to each other to adsorb adsorption materials such as a large display used for various flat panels. The support members and the connection members are connected to be prevented from being separated from each other by a connection unit.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有连接结构的基本材料和用于制造用于显示板的大型静电卡盘的方法，更具体地说，涉及具有包括多个支撑构件的连接结构的基材， 连接构件通过彼此连接而形成，以吸附用于各种平板的大型显示器等吸附材料。 支撑构件和连接构件被连接以防止通过连接单元彼此分离。
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公开(公告)号：KR1020130136833A
公开(公告)日：2013-12-13
申请号：KR1020120060541
申请日：2012-06-05
Applicant: 재단법인 구미전자정보기술원 , (주)코리아스타텍
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/041 , G06F2203/04103 , H01B5/14
Abstract: Disclosed are a window-integrated touch screen and a manufacturing method thereof, capable of reducing the thickness of a touch screen by using a transparent substrate of a touch screen as a window and accordingly reducing the thickness of a display device where the touch screen is applied. The window-integrated touch screen includes a transparent substrate; a plurality of first electrode patterns which are formed along a first direction by a direct contact with the rear side of the transparent substrate; a transparent insulation layer which is formed to directly come in contact with the rear sides of the first electrode patterns and the transparent substrate to cover the first electrode patterns; a plurality of second electrode patterns which are formed along a second direction which is perpendicular with respect to the first direction to directly come in contact with the rear side of the transparent insulation layer; and a transparent adhesive layer which is formed to directly come in contact with the rear sides of the second electrode patterns and the transparent insulation layer to cover the second electrode patterns. [Reference numerals] (AA) Display panel
Abstract translation: 公开了一种窗口集成式触摸屏及其制造方法，其能够通过使用触摸屏的透明基板作为窗口来减小触摸屏的厚度，并且因此减小了应用触摸屏的显示装置的厚度 。 窗户一体式触摸屏包括透明基板; 多个第一电极图案，其通过与所述透明基板的后侧直接接触而沿着第一方向形成; 形成为与第一电极图案和透明基板的后侧直接接触以覆盖第一电极图案的透明绝缘层; 多个第二电极图案，沿着相对于第一方向垂直的第二方向形成，以直接与透明绝缘层的后侧接触; 以及形成为与第二电极图案和透明绝缘层的后侧直接接触以覆盖第二电极图案的透明粘合剂层。 （附图标记）（AA）显示面板
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公开(公告)号：KR100908227B1
公开(公告)日：2009-07-20
申请号：KR1020080008323
申请日：2008-01-28
Applicant: (주)코리아스타텍
Inventor： 김부일
IPC: G02F1/136
CPC classification number: G02F1/1343 , G02F1/13452 , G02F1/1368 , G02F2201/506 , H01L29/786
Abstract: An electrode substrate reproducing method of a thin film transistor manufacturing equipment reproducing protrusion on the electrode plate is provided to perform maintenance and repair without replacing a body although the embossing projection of the electrode plate is damaged. The corrosion and deformation of a surface of an electrode plate body stocked for the regeneration, and the luminance and spraying thickness are measured. The upper side of the electrode plate body is processed with the blast. A plane processing operation is performed. The base material and spraying thickness of the electrode plate body are tested. An embossing jig in which a plurality of punched holes is formed is installed. The thermal spray of the electrode plate body is performed.
Abstract translation: 设置电极板上的薄膜晶体管制造设备再生突起的电极基板再生方法，虽然电极板的压花突起被损坏，但不进行维修而进行维护和修理。 测量用于再生的电极板体的表面的腐蚀和变形以及亮度和喷射厚度。 用鼓风处理电极板体的上侧。 执行平面处理操作。 测试电极板体的基材和喷涂厚度。 安装有形成有多个冲孔的压花夹具。 进行电极板体的热喷涂。
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公开(公告)号：KR1020150124501A
公开(公告)日：2015-11-06
申请号：KR1020140050679
申请日：2014-04-28
Applicant: (주)코리아스타텍
IPC: H01L21/687 , H02N13/00 , B23Q3/15
CPC classification number: H01L21/6833 , G02F2001/133322 , H01L21/68757 , H02N13/00
Abstract: 본발명은결합구조의모재를갖는디스플레이기판용대면적정전척에관한것으로사각기둥형상의육면체로형성되며, 상부면이평탄하게형성되는베이스부재와, 상기베이스부재상부에적층구비되며, 다수개가구비되고, 각각은상호간에수평결합되어베이스부재상부에나열되는평판형의모재와, 상기모재의상부에세라믹재의용사코팅용분말로용사코팅형성되는절연층과, 상기절연층의상부에일정한패턴으로형성되며, 금속재용사코팅용분말로용사코팅형성되는전극층과, 상기전극층과연결구비되며, 하부로연장형성되어전극층에전류를공급하는전극과, 상기절연층의상부에전극층을감싸도록형성되며, 세라믹재용사코팅용분말로용사코팅형성되는유전층으로이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及具有组合结构的基材的显示基板用的大面积静电卡盘，其特征在于，包括：形成为棱柱形状的六面体并具有平坦的上表面的基体; 多个板状基材堆叠在基部构件的顶部上，彼此水平地组合并且布置在基部构件的顶部上; 绝缘层，其通过喷涂在陶瓷粉末上涂覆在基材上; 在绝缘层顶部形成一定图案的电极层，并通过喷涂涂覆金属粉末; 连接到电极层并向下延伸以供应电流至电极层的电极; 以及形成在绝缘层的顶部上以包围电极层并通过喷涂涂覆有陶瓷粉末的电介质层。
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公开(公告)号：KR101558146B1
公开(公告)日：2015-10-12
申请号：KR1020150052119
申请日：2015-04-14
Applicant: (주)코리아스타텍
Abstract: 본발명은피드스루의제조방법에관한것으로세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로이루어진군에서 1종또는 2종이상이각각혼합형성되어이루어지며, 원통형으로형성되는베이스가구비되는제1단계와, 상기베이스의외주면에도전성재질인텅스텐, 몰리브덴, 티탄, 구리, 은으로이루어진군에서어느 1종또는 2종이상이각각혼합되어용사코팅방식, 실크스크린인쇄방식또는잉크젯인쇄방식중 어느선택된하나의방식으로방사상으로서로이격된다수개의전극을형성함과아울러상기전극각각의양측에는도전성재질인텅스텐, 몰리브덴, 티탄, 구리, 은으로이루어진군에서어느 1종또는 2종이상이각각혼합되어형성되는원판형의접지부가절연층의내측에인입되어구비되며, 각각의접지부및 전극양측에는접지부를관통함과아울러전극의양내측으로인입되는결속공을형성하는제2단계와, 상기베이스및 다수개의전극외주면을감싸도록비정질상의세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로이루어진군에서 1종또는 2종이상이각각혼합되어용사코팅방식, 실크스크린인쇄방식또는잉크젯인쇄방식중 어느선택된하나의방식으로절연층을형성하는제3단계와, 상기절연층의외측에서이격된내측에전방에서후방으로관통된다수개의결합공을형성하는제4단계와, 상기절연층의전방에다수개의전극외측으로이격되어원형으로내입되는안착홈을형성함과아울러안착홈의내측에는진공챔버또는고압챔버내부의압력이외부로새어나가지않도록하는오링이구비되는제5단계로이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造馈通的方法。 本发明包括通过混合来自一组Al 2 O 3，Y 2 O 3，Al 2 O 3 / Y 2 O 3，ZrO 2，AlC，TiN，AlN，TiC，MgO，CaO，CeO 2，TiO 2，BN，SiO 2，SiC的元素来形成圆筒形基底的第一止动件 ，YAG，莫来石和AlF3，形成组合孔的第二停止部，形成绝缘层的第三步骤，形成多个组合孔的第四步骤，以及形成接收槽和O- 在接收槽的内侧环形，以防止真空室或高压室的压力泄漏到外部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101553816B1
公开(公告)日：2015-09-18
申请号：KR1020150052115
申请日：2015-04-14
Applicant: (주)코리아스타텍
IPC: G02F1/13 , G02F1/1333 , C04B35/00
CPC classification number: G02F1/1303 , C04B35/00 , G02F1/1333
Abstract: 본 발명은 디스플레이 기판용 대면적 정전척의 제조방법에 관한 것으로 세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BxCy, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합 형성되어 이루어지며, 사각형상의 판형으로 형성되는 모재가 구비되는 제1단계와, 상기 모재의 외부면에 0.1~1㎜의 두께로 세라믹재의 용사 코팅용 분말을 용사 코팅하고, 모재의 상부면 평탄도를 5~30㎛ 이내로 가공하여 구비하는 제2단계와, 상기 모재에 전압를 공급하는 커넥터를 연결하여 구비하는 제3단계와, 상기 모재의 상부에 0.1~1㎜의 두께로 세라믹재의 용사 코팅용 분발을 용사 코팅하여 절연층을 형성하는 제4단계와, 상기 절연층의 상부에 설정된 패턴에 따라 인쇄층을 형성하는 제5단계와, 상기 절연층 및 인쇄층의 상부에 � ��연층의 상부 및 인쇄층을 감싸도록 금속재의 용사 코팅용 분말을 용사 코팅하여 도전성 재질의 전극층을 형성하는 제6단계와, 상기 인쇄층과 인쇄층 상부에 형성된 전극층을 제거하는 제7단계와, 상기 절연층의 상부에 전극층을 감싸도록 형성하고, 전극층으로부터 0.1~1㎜의 두께로 세라믹재의 용사 코팅용 분말을 용사 코팅하며, 상부면의 평탄도를 5~30㎛ 이내로 가공하여 유전층을 형성하는 제8단계로 이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及用于显示基板的大面积静电卡盘的制造方法。 该方法包括：制备基材的第一步骤，其形成为矩形板，并且通过混合选自包括诸如Al_2O_3，Y_2O_3，Al_2O_3 / Y_2O_3，ZrO_2，AlC的陶瓷材料的组中的一种或多种陶瓷材料 ，TiN，AlN，TiC，MgO，CaO，CeO_2，TiO_2，BxCy，BN，SiO_2，SiC，YAG，莫来石和AlF_3; 进行热喷涂操作的第二步骤，将陶瓷热涂层粉末以0.1-1mm的厚度喷涂到基材的外表面上，并处理基材的上部以使平坦度处于范围内 5-30微米; 将连接器连接到基底材料以向基底材料提供电压; 进行热涂覆操作以将厚度为0.1-1mm的陶瓷热涂层粉末涂覆在基材顶部上以形成绝缘层的第四步骤; 根据设置在绝缘层顶部上的图案形成印刷层的第五步骤; 进行热涂覆操作以在印刷层的上部和绝缘层上涂覆金属热涂层粉末以包围印刷层的上部和绝缘层以形成导电电极层的第六步骤; 除去形成在印刷层和印刷层上的电极层的第七步骤; 以及在绝缘层的顶部上形成电极层以包围绝缘层的第八步骤，进行热涂覆操作，以0.1-1mm的厚度涂覆电极层上的陶瓷热涂层粉末，并加工上部 使平坦度为5-30mm的范围，形成电介质层。
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公开(公告)号：KR101296104B1
公开(公告)日：2013-08-19
申请号：KR1020130030068
申请日：2013-03-21
Applicant: (주)코리아스타텍
Abstract: PURPOSE: A base member for the grinding of a large electrostatic chuck for display substrate is provided to operate a height controlling means that is provided in a support member, thereby precisely and simply maintaining the flatness for the grinding work of the deformed electrostatic chuck. CONSTITUTION: A base member for the grinding of a large electrostatic chuck includes a main base (40), at least two setting members (30), a coupling member (35), at least one support member (20), and an electrostatic chuck fixing means (15). The at least one support member operates a height controlling means (21) that is provided in the support member so as to compensate the error which is measured by the height measurement machine installed at the upper portion of electrostatic chuck (10), and maintains the flatness of upper dielectric layer surface of electrostatic chuck. The electrostatic chuck fixing means stably maintains the flatness by action of pulling the electrostatic chuck by fixing a fixed bar (12), which is inserted in a hook (11), by rotating a control screw (13) that is provided on both sides of main base (40).
Abstract translation: 目的：提供用于研磨用于显示基板的大型静电卡盘的基座构件，以操作设置在支撑构件中的高度控制装置，从而精确且简单地保持变形的静电卡盘的研磨工作的平坦度。 构造：用于研磨大型静电卡盘的基座构件包括主基座（40），至少两个固定构件（30），联接构件（35），至少一个支撑构件（20）和静电卡盘 固定装置（15）。 至少一个支撑构件操作设置在支撑构件中的高度控制装置（21），以便补偿由安装在静电卡盘（10）的上部的高度测量机测量的误差，并且维持 静电卡盘的上介电层表面的平坦度。 静电卡盘固定装置通过使安装在钩子（11）中的固定杆（12）固定在一起，通过旋转一个控制螺钉（13）来拉动静电卡盘，从而稳定地保持平坦度。 主基地（40）。
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公开(公告)号：KR100883205B1
公开(公告)日：2009-02-20
申请号：KR1020070097630
申请日：2007-09-28
Applicant: (주)코리아스타텍
Inventor： 김부일
IPC: H01L21/304 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02041 , H01L21/6704
Abstract: A jig cleaning method and a cleaning device for supporting a material of a pattern process are provided to prevent corrosion of the jig and luster loss by performing the cleaning process through a physical, chemical, and high pressure water cleaning method. A jig for a pattern process is disassembled. The accumulation of a deposition layer(2) on a thermal sprayed coating layer(1) is detected. The disassembled jig is put in the cleaning device. The physical vibration is applied to the deposition layer and the cracking occurs in the deposition layer. The jig is put in a washing chemical storage tank(200). The thermal sprayed coating layer is dissolved by the cleaning agent. A short ball is discharged to a surface of the jig. The unwashed thermal sprayed coating layer and the unwashed deposition layer are removed.
Abstract translation: 提供了用于支撑图案处理材料的夹具清洁方法和清洁装置，以通过物理，化学和高压水清洗方法进行清洁处理来防止夹具腐蚀和光泽损失。 用于图案处理的夹具被拆卸。 检测沉积层（2）在热喷涂涂层（1）上的积聚。 将拆卸的夹具放入清洁装置中。 物理振动被施加到沉积层，并且在沉积层中发生裂纹。 将夹具放入洗涤化学品储存罐（200）中。 热喷涂层被清洗剂溶解。 短球被排出到夹具的表面。 去除未洗涤的热喷涂层和未洗涤的沉积层。
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公开(公告)号：KR1020050080837A
公开(公告)日：2005-08-18
申请号：KR1020040008991
申请日：2004-02-11
Applicant: (주)코리아스타텍
IPC: B23K31/02
Abstract: 본 발명은 반도체 또는 LCD 제조 장비의 실드 박스를 재사용하기 위한 용접 방법에 관한 것으로, 특히 실드 박스의 누설 부위에 용접 가공을 하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 실드 박스를 티타늄 특수 용접 공정을 통해 처리함으로써 실드 박스를 리사이클링 할 수 있도록 하는 장점이 있다. 그 결과, 저비용으로 고가의 반도체 또는 LCD 장비를 재생 사용하는 것을 가능하게 한다.
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公开(公告)号：KR1020050065911A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030097078
申请日：2003-12-26
Applicant: (주)코리아스타텍
IPC: C23C4/06
CPC classification number: C23C4/08
Abstract: 본 발명은 용사재와 이를 이용한 용사 피막 형성 방법에 관한 것으로, 특히 반도체 및/또는 LCD 제조용 박막 증착 공정에 있어서 증착막을 손쉽게 제거하고 모재 부식을 방지할 수 있는 용사막 처리 기술에 관한 것이다.
본 발명은 구리 및 구리합금을 용사재로 사용하여, 플레임 용사 공법, 아크 용사 공법, 또는 플라즈마 용사법을 이용하여 용사함으로써, 용사 피막을 빠른 속도(∼ 0.1mm/min)로 처리할 수 있으며, 피처리체의 치수 제한없이 모재 변형을 주지 않고 용사 형성을 가능하게 하며, 세정 시간을 상당히(2배 이상) 단축하는 장점이 있다.
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