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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101566890B1
公开(公告)日：2015-11-09
申请号：KR1020150052127
申请日：2015-04-14
Applicant: (주)코리아스타텍
Abstract: 본발명은피드스루의제조방법에관한것으로세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로이루어진군에서 1종또는 2종이상이각각혼합형성되어이루어지며, 판형으로형성되는베이스가구비되는제1단계와, 상기베이스의상부내측에서로이격되게일정한패턴으로용사코팅방식, 실크스크린인쇄방식또는잉크젯인쇄방식중 어느선택된하나의방식으로형성되며, 도전성재질인텅스텐, 몰리브덴, 티탄, 구리, 은으로이루어진군에서어느 1종또는 2종이상이각각혼합형성되는다수개의전극을형성하는제2단계와, 상기베이스의상부및 전극각각의양측상부를제외하고전극을감싸도록함과아울러상부가평탄하도록용사코팅방식, 실크스크린인쇄방식또는잉크젯인쇄방식중 어느선택된하나의방식으로형성되며, 비정질상의세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로이루어진군에서 1종또는 2종이상이각각혼합되어형성되는절연층을형성하는제3단계와, 상기전극양측상부에하부가각각연결되고, 각각의상부측이절연층의상부와동일한높이를갖도록용사코팅방식, 실크스크린인쇄방식또는잉크젯인쇄방식중 어느선택된하나의방식으로형성되며, 도전성재질인텅스텐, 몰리브덴, 티탄, 구리, 은으로이루어진군에서어느 1종또는 2종이상이각각혼합되어형성되고, 내측에는하부측으로내입되는결속공을갖는접지부를형성하는제4단계와, 상기절연층의상부내측에하부로내입되는안착홈을형성함과아울러안착홈의내측에는진공챔버또는고압챔버내부의압력이외부로새어나가지않도록하는오링을구비하는제5단계로이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造馈通的方法。 根据本发明的实施例的用于制造馈通的方法包括制备基座（10）的第一步骤，在基座的上侧上以预设的方式形成多个电极（20）的第二步骤 形成围绕电极和基底的上侧的绝缘层（30）的第三步骤，形成接地部分（40）的第四步骤，以及形成接收槽（50）和 包括O形环（60）。 本发明容易制造馈通并形成大量的电极。 O形环防止真空室或高压室的压力泄漏到外部。
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公开(公告)号：KR101558148B1
公开(公告)日：2015-10-12
申请号：KR1020150052120
申请日：2015-04-14
Applicant: (주)코리아스타텍
Abstract: 본발명은피드스루의제조방법에관한것으로세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로이루어진군에서 1종또는 2종이상이각각혼합형성되어이루어지며, 원통형으로형성되는베이스가구비되는제1단계와, 상기베이스의외주면에방사상으로서로이격되게내측으로인입된다수개의전극홈을형성하는제2단계와, 상기베이스의외주면에용사코팅하여전극층을형성하는제3단계와, 상기전극층의외주면을원통형으로연마함과아울러전극층의상부가베이스의전극홈상부와동일하도록하여전극홈각각의사이에전극만남도록연마하는제4단계와, 상기베이스및 다수개의전극외주면을감싸도록절연층을형성하는제5단계와, 상기절연층의외측에서이격된내측에전방에서후방으로관통된다수개의결합공을형성하는제6단계와, 상기절연층의전방에다수개의전극외측으로이격되어원형으로내입되는안착홈을형성함과아울러안착홈의내측에는진공챔버또는고압챔버내부의압력이외부로새어나가지않도록하는오링이구비되는제7단계로이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及一种进料的制造方法，包括：制备通过混合由Al_2O_3，Y_2O_3，Al_2O_3 / Y_2O_3，ZrO_2，AlC，TiN，AlN组成的组中的一种或多种而形成的碱的第一步骤 ，TiC，MgO，CaO，CeO_2，TiO_2，BN，SiO_2，SiC，YAG，莫来石和AlF_3，形成为圆柱形; 形成多个电极槽的第二步骤，所述多个电极槽在所述基座的外周面上彼此径向分离; 通过热喷涂在基底的外周面上形成电极层的第三步骤; 对电极层的外周面进行研磨的第四工序，使电极层的上部与基体的电极槽上部相同，进行研磨，使得只有电极残留在电极槽之间。 形成绝缘层以围绕多个电极的基底和外周的第五步骤; 在从绝缘层的外侧隔开的内侧形成从前方向后方贯穿的多个连结孔的第六工序; 以及第七步骤，形成向内圆周形成并且在绝缘层的前侧上从多个电极的外部分离的放置槽，并且制备防止真空室或高压室中的压力泄漏的O形环 在放置槽中。
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公开(公告)号：KR101362074B1
公开(公告)日：2014-02-25
申请号：KR1020130075162
申请日：2013-06-28
Applicant: (주)코리아스타텍
IPC: H01L21/683 , C04B35/00 , H02N13/00 , G09F9/00
CPC classification number: H01L21/68757 , G02F2001/133322 , H01L21/6831 , H02N13/00
Abstract: The present invention relates to a basic material having a connection structure and a method for manufacturing a large electrostatic chuck for a display board by using the same and more specifically, a basic material with a connection structure including a plurality of support members and a plurality of connection members formed by being connected to each other to adsorb adsorption materials such as a large display used for various flat panels. The support members and the connection members are connected to be prevented from being separated from each other by a connection unit.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有连接结构的基本材料和用于制造用于显示板的大型静电卡盘的方法，更具体地说，涉及具有包括多个支撑构件的连接结构的基材， 连接构件通过彼此连接而形成，以吸附用于各种平板的大型显示器等吸附材料。 支撑构件和连接构件被连接以防止通过连接单元彼此分离。
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公开(公告)号：KR1020150124501A
公开(公告)日：2015-11-06
申请号：KR1020140050679
申请日：2014-04-28
Applicant: (주)코리아스타텍
IPC: H01L21/687 , H02N13/00 , B23Q3/15
CPC classification number: H01L21/6833 , G02F2001/133322 , H01L21/68757 , H02N13/00
Abstract: 본발명은결합구조의모재를갖는디스플레이기판용대면적정전척에관한것으로사각기둥형상의육면체로형성되며, 상부면이평탄하게형성되는베이스부재와, 상기베이스부재상부에적층구비되며, 다수개가구비되고, 각각은상호간에수평결합되어베이스부재상부에나열되는평판형의모재와, 상기모재의상부에세라믹재의용사코팅용분말로용사코팅형성되는절연층과, 상기절연층의상부에일정한패턴으로형성되며, 금속재용사코팅용분말로용사코팅형성되는전극층과, 상기전극층과연결구비되며, 하부로연장형성되어전극층에전류를공급하는전극과, 상기절연층의상부에전극층을감싸도록형성되며, 세라믹재용사코팅용분말로용사코팅형성되는유전층으로이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及具有组合结构的基材的显示基板用的大面积静电卡盘，其特征在于，包括：形成为棱柱形状的六面体并具有平坦的上表面的基体; 多个板状基材堆叠在基部构件的顶部上，彼此水平地组合并且布置在基部构件的顶部上; 绝缘层，其通过喷涂在陶瓷粉末上涂覆在基材上; 在绝缘层顶部形成一定图案的电极层，并通过喷涂涂覆金属粉末; 连接到电极层并向下延伸以供应电流至电极层的电极; 以及形成在绝缘层的顶部上以包围电极层并通过喷涂涂覆有陶瓷粉末的电介质层。
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公开(公告)号：KR101558146B1
公开(公告)日：2015-10-12
申请号：KR1020150052119
申请日：2015-04-14
Applicant: (주)코리아스타텍
Abstract: 본발명은피드스루의제조방법에관한것으로세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로이루어진군에서 1종또는 2종이상이각각혼합형성되어이루어지며, 원통형으로형성되는베이스가구비되는제1단계와, 상기베이스의외주면에도전성재질인텅스텐, 몰리브덴, 티탄, 구리, 은으로이루어진군에서어느 1종또는 2종이상이각각혼합되어용사코팅방식, 실크스크린인쇄방식또는잉크젯인쇄방식중 어느선택된하나의방식으로방사상으로서로이격된다수개의전극을형성함과아울러상기전극각각의양측에는도전성재질인텅스텐, 몰리브덴, 티탄, 구리, 은으로이루어진군에서어느 1종또는 2종이상이각각혼합되어형성되는원판형의접지부가절연층의내측에인입되어구비되며, 각각의접지부및 전극양측에는접지부를관통함과아울러전극의양내측으로인입되는결속공을형성하는제2단계와, 상기베이스및 다수개의전극외주면을감싸도록비정질상의세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로이루어진군에서 1종또는 2종이상이각각혼합되어용사코팅방식, 실크스크린인쇄방식또는잉크젯인쇄방식중 어느선택된하나의방식으로절연층을형성하는제3단계와, 상기절연층의외측에서이격된내측에전방에서후방으로관통된다수개의결합공을형성하는제4단계와, 상기절연층의전방에다수개의전극외측으로이격되어원형으로내입되는안착홈을형성함과아울러안착홈의내측에는진공챔버또는고압챔버내부의압력이외부로새어나가지않도록하는오링이구비되는제5단계로이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造馈通的方法。 本发明包括通过混合来自一组Al 2 O 3，Y 2 O 3，Al 2 O 3 / Y 2 O 3，ZrO 2，AlC，TiN，AlN，TiC，MgO，CaO，CeO 2，TiO 2，BN，SiO 2，SiC的元素来形成圆筒形基底的第一止动件 ，YAG，莫来石和AlF3，形成组合孔的第二停止部，形成绝缘层的第三步骤，形成多个组合孔的第四步骤，以及形成接收槽和O- 在接收槽的内侧环形，以防止真空室或高压室的压力泄漏到外部。
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