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公开(公告)号：KR1020090119353A
公开(公告)日：2009-11-19
申请号：KR1020080045338
申请日：2008-05-16
Applicant: (주)코리아스타텍
Inventor： 김부일
IPC: B05D7/04
Abstract: PURPOSE: A method for producing a pastel-toned surface of plastic foam and a coating layer produced by the same are provided to improve contact texture as well as gloss. CONSTITUTION: A method for producing a pastel-toned surface of plastic foam comprises the following steps of: spraying an abrasive on the surface of plastic foam with high pressure to blast the plastic foam(S1); forming a metal thin film on the surface of the blasted plastic foam with thickness of 10~13μm(S2); and coloring the surface of the metal thin film(S3).
Abstract translation: 目的：提供一种生产塑料泡沫柔性表面的方法及其制造的涂层，以改善接触质地和光泽。 构成：塑料泡沫塑料表面的生产方法，包括以下步骤：在高压塑料泡沫表面上喷涂研磨剂以喷塑塑料泡沫（S1）; 在喷塑泡沫表面形成厚度为10〜13μm（S2）的金属薄膜; 并使金属薄膜的表面着色（S3）。
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公开(公告)号：KR101496175B1
公开(公告)日：2015-02-26
申请号：KR1020130062513
申请日：2013-05-31
Applicant: (주)코리아스타텍
Abstract: 본 발명은 일정한 두께를 가지고 정전척이 위치하는 가장자리를 따라 다수의 체결홈이 형성된 메인 베이스; 상기 메인 베이스의 상부에서 상기 정전척이 안착되는 가장자리를 따라 설치되는 2개 이상의 안착부재; 상기 안착부재를 고정시키기 위해 메인 베이스의 체결홈과 체결하는 체결공이 형성된 체결부재; 상기 안착부재의 경계부위 안쪽으로 이동가능하게 설치되며, 높이조절수단을 갖는 1개 이상의 지지부재; 상기 정전척의 하단 중앙부에 후크를 부착하고, 상기 후크에 고정바아를 삽입한 다음, 메인 베이스 양측에 구비된 조절나사를 회전하여 고정시킴으로써 정전척을 하부로 당기는 작용에 의해 평탄도가 안정되게 유지되는 정전척 고정수단;을 포함하여 이루어져 연마기를 이용하여 디스플레이 기판용 정전척의 표면 연마를 위해 고정하는 대면적 정전척의 연마를 위한 베이스 부재에 있어서, 상기 정전척이 안착부재에 안착 고정시 정밀한 평탄도를 유지할 수 있게 안착부재의 상단부에 평탄가공되는 사각판체 형태로 세라믹코팅부가 형성되며, 상기 세라믹코팅부는 100 ~ 1000㎛ 두께로 형성되고, 상기 지지부재는 메인 베이스 상에 안착부재의 경계부위 안쪽에 이동가능하게 설치되며, 정전척의 상부에 설치된 높이측정기에 의해 측정된 오차를 지지부재� �� 구비되어 있는 높이조절수단을 작동하여 정전척의 상단 유전층 표면의 평탄도를 일정 수준 이내로 유지시키게 되고, 상기 지지부재는 레벨링 블록(levelling block) 또는 스크류 잭(screw jack) 중에서 어느 1종이 선택되며, 상기 정전척 고정수단은 정전척의 하단 중앙부에 후크를 부착하고 고정바아를 삽입한 다음, 정전척을 메인 베이스 상부의 안착부재에 안착시킨 후, 메인 베이스 양측에 구비된 조절나사로 조절하여 정전척을 고정시키는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020140141826A
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：KR1020130062513
申请日：2013-05-31
Applicant: (주)코리아스타텍
Abstract: 본 발명은 일정한 두께를 가지고 상기 정전척이 위치하는 가장자리를 따라 다수의 체결홈이 형성된 메인 베이스; 상기 메인 베이스의 상부에서 상기 정전척이 안착되는 가장자리를 따라 설치되는 2개 이상의 안착부재; 상기 안착부재를 고정시키기 위해 메인 베이스의 체결홈과 체결하는 체결공이 형성된 체결부재; 상기 안착부재의 경계부위 안쪽으로 이동가능하게 설치되며, 높이조절수단을 갖는 1개 이상의 지지부재; 상기 정전척의 하단 중앙부에 후크를 부착하고, 상기 후크에 고정바아를 삽입한 다음, 메인 베이스 양측에 구비된 조절나사를 회전하여 고정시킴으로써 정전척을 하부로 당기는 작용에 의해 평탄도가 안정되게 유지되는 정전척 고정수단;을 포함하여 이루어져 연마기를 이용하여 디스플레이 기판용 정전척의 표면 연마를 위해 고정하는 대면적 정전척의 연마를 위한 베이스 부재에 있어서, 상기 정전척이 안착부재에 안착 고정시 정밀한 평탄도를 유지할 수 있게 안착부재의 상단부에 평탄가공되는 사각판체 형태로 세라믹코팅부가 되는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于研磨固定用于研磨用于显示基板的静电卡盘的表面的大型静电卡盘的基座部件。 用于研磨大型静电卡盘的基座构件包括：具有预定厚度的主基座，并且沿着静电卡盘位于其上的边缘具有多个紧固槽; 至少两个座位构件沿着安装有静电卡盘的边缘安装在主底座的上部中; 紧固构件，其具有紧固孔，以与主底座的紧固槽紧固以固定座椅构件; 至少一个支撑构件安装在所述座椅构件的边界的内部部分中以可移动并具有高度调节装置; 以及静电卡盘固定装置，其通过在将固定杆插入连接到静电卡盘的下部中心的钩中之后通过旋转并固定两个主基座上的可调节螺钉来将向下拉动静电卡盘的动作稳定地保持平坦度。 此外，在座部件的上端部形成平坦的矩形陶瓷涂层部分，以在静电卡盘就座并固定在座椅部件上时保持精确的平坦度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101566890B1
公开(公告)日：2015-11-09
申请号：KR1020150052127
申请日：2015-04-14
Applicant: (주)코리아스타텍
Abstract: 본발명은피드스루의제조방법에관한것으로세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로이루어진군에서 1종또는 2종이상이각각혼합형성되어이루어지며, 판형으로형성되는베이스가구비되는제1단계와, 상기베이스의상부내측에서로이격되게일정한패턴으로용사코팅방식, 실크스크린인쇄방식또는잉크젯인쇄방식중 어느선택된하나의방식으로형성되며, 도전성재질인텅스텐, 몰리브덴, 티탄, 구리, 은으로이루어진군에서어느 1종또는 2종이상이각각혼합형성되는다수개의전극을형성하는제2단계와, 상기베이스의상부및 전극각각의양측상부를제외하고전극을감싸도록함과아울러상부가평탄하도록용사코팅방식, 실크스크린인쇄방식또는잉크젯인쇄방식중 어느선택된하나의방식으로형성되며, 비정질상의세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로이루어진군에서 1종또는 2종이상이각각혼합되어형성되는절연층을형성하는제3단계와, 상기전극양측상부에하부가각각연결되고, 각각의상부측이절연층의상부와동일한높이를갖도록용사코팅방식, 실크스크린인쇄방식또는잉크젯인쇄방식중 어느선택된하나의방식으로형성되며, 도전성재질인텅스텐, 몰리브덴, 티탄, 구리, 은으로이루어진군에서어느 1종또는 2종이상이각각혼합되어형성되고, 내측에는하부측으로내입되는결속공을갖는접지부를형성하는제4단계와, 상기절연층의상부내측에하부로내입되는안착홈을형성함과아울러안착홈의내측에는진공챔버또는고압챔버내부의압력이외부로새어나가지않도록하는오링을구비하는제5단계로이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造馈通的方法。 根据本发明的实施例的用于制造馈通的方法包括制备基座（10）的第一步骤，在基座的上侧上以预设的方式形成多个电极（20）的第二步骤 形成围绕电极和基底的上侧的绝缘层（30）的第三步骤，形成接地部分（40）的第四步骤，以及形成接收槽（50）和 包括O形环（60）。 本发明容易制造馈通并形成大量的电极。 O形环防止真空室或高压室的压力泄漏到外部。
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公开(公告)号：KR101558148B1
公开(公告)日：2015-10-12
申请号：KR1020150052120
申请日：2015-04-14
Applicant: (주)코리아스타텍
Abstract: 본발명은피드스루의제조방법에관한것으로세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로이루어진군에서 1종또는 2종이상이각각혼합형성되어이루어지며, 원통형으로형성되는베이스가구비되는제1단계와, 상기베이스의외주면에방사상으로서로이격되게내측으로인입된다수개의전극홈을형성하는제2단계와, 상기베이스의외주면에용사코팅하여전극층을형성하는제3단계와, 상기전극층의외주면을원통형으로연마함과아울러전극층의상부가베이스의전극홈상부와동일하도록하여전극홈각각의사이에전극만남도록연마하는제4단계와, 상기베이스및 다수개의전극외주면을감싸도록절연층을형성하는제5단계와, 상기절연층의외측에서이격된내측에전방에서후방으로관통된다수개의결합공을형성하는제6단계와, 상기절연층의전방에다수개의전극외측으로이격되어원형으로내입되는안착홈을형성함과아울러안착홈의내측에는진공챔버또는고압챔버내부의압력이외부로새어나가지않도록하는오링이구비되는제7단계로이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及一种进料的制造方法，包括：制备通过混合由Al_2O_3，Y_2O_3，Al_2O_3 / Y_2O_3，ZrO_2，AlC，TiN，AlN组成的组中的一种或多种而形成的碱的第一步骤 ，TiC，MgO，CaO，CeO_2，TiO_2，BN，SiO_2，SiC，YAG，莫来石和AlF_3，形成为圆柱形; 形成多个电极槽的第二步骤，所述多个电极槽在所述基座的外周面上彼此径向分离; 通过热喷涂在基底的外周面上形成电极层的第三步骤; 对电极层的外周面进行研磨的第四工序，使电极层的上部与基体的电极槽上部相同，进行研磨，使得只有电极残留在电极槽之间。 形成绝缘层以围绕多个电极的基底和外周的第五步骤; 在从绝缘层的外侧隔开的内侧形成从前方向后方贯穿的多个连结孔的第六工序; 以及第七步骤，形成向内圆周形成并且在绝缘层的前侧上从多个电极的外部分离的放置槽，并且制备防止真空室或高压室中的压力泄漏的O形环 在放置槽中。
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公开(公告)号：KR101326727B1
公开(公告)日：2013-11-08
申请号：KR1020130062565
申请日：2013-05-31
Applicant: (주)코리아스타텍
Abstract: The present invention relates to a base member which fixes an electrostatic chuck to grind the surface of the electrostatic chuck for a display substrate by using a grinder, the base member comprising: a main base which has a predetermined thickness and in which a plurality of fastening grooves are formed along an edge where the electrostatic chuck is positioned; two or more support members which are installed on the upper part of the main base along an edge where the electrostatic chuck is mounted; a mounting member which is formed and coupled in a plate form, corresponding to the electrostatic chuck, on the upper part of the support member, and in which each of a first mounting part and a second mounting part is formed inwardly from an upper edge, and also in which one or more coupling holes are formed to vertically pass through the first mounting part from the upper side of the first mounting part; a ceramic coating part which is formed in the top of the first or second mounting part of the mounting member; one or more first support members which are screwed to the coupling hole bottom of the mounting member; one or more second support members which are movably installed inside a boundary region of the mounting member, and have a height adjustment unit; and an electrostatic chuck fixing unit which fixes the electrostatic chuck by attaching a hook to the bottom center of the electrostatic chuck, inserting a fixing bar into the hook, and rotating adjustment screws installed on both sides of the main base, and thus maintains the flatness of the electrostatic chuck by an action of pulling the electrostatic chuck downward.
Abstract translation: 本发明涉及一种固定静电卡盘的基座部件，用于通过使用研磨机来研磨用于显示基板的静电卡盘的表面，该基体部件包括：具有预定厚度的主基体，其中多个紧固 沿着静电卡盘定位的边缘形成凹槽; 两个或多个支撑构件，其沿着安装有静电卡盘的边缘安装在主基座的上部; 安装构件，其在所述支撑构件的上部上以对应于所述静电卡盘的板形式形成并联接，并且其中，第一安装部分和第二安装部分中的每一个从上边缘向内形成， 并且还形成有一个或多个联接孔从第一安装部的上侧垂直穿过第一安装部; 形成在所述安装部件的所述第一或第二安装部的顶部的陶瓷涂布部; 一个或多个第一支撑构件，其被拧到安装构件的联接孔底部; 一个或多个第二支撑构件，其可移动地安装在所述安装构件的边界区域内，并且具有高度调节单元; 以及静电卡盘固定单元，其通过将挂钩附接到静电卡盘的底部中心，将固定杆插入钩中并且旋转安装在主基座两侧的调节螺钉来固定静电卡盘，从而保持平坦度 通过向下拉动静电卡盘的动作来控制静电卡盘。
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公开(公告)号：KR1020170131201A
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：KR1020170013724
申请日：2017-01-31
Applicant: (주)코리아스타텍
IPC: H01L21/683 , H01L21/56 , H02N13/00 , B23Q3/15
Abstract: 세라믹소결체나금속모재를베이스기판(100)으로형성하고, 베이스기판상단면에본드코팅층(200)을형성하며, 본드코팅층(200) 상단면에설정된패턴을갖도록금속전극층(300)을형성하며, 금속전극층(300) 상단면에유전층(400)을형성하는공정에있어서, 용사코팅을페이스트코팅으로대체하는단계를포함하는것을특징으로하는바이폴라타입의정전척 제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 由基底基板100形成陶瓷烧结体或金属基材，在基底基板的上表面形成粘合涂层200，在粘合涂层200的上表面形成金属电极层300， 并且在金属电极层（300）的上表面上形成电介质层（400）的步骤中用浆糊涂层替换热喷涂层。
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公开(公告)号：KR1020150002985A
公开(公告)日：2015-01-08
申请号：KR1020130075192
申请日：2013-06-28
Applicant: (주)코리아스타텍
IPC: H01L21/683 , G09F9/00 , H02N13/00 , C04B35/00
CPC classification number: H01L21/683 , C04B35/00 , H01L21/6831 , H01L21/6833 , H02N13/00
Abstract: 본 발명은 디스플레이 기판용 대면적 정전척의 재가공방법에 관한 것으로 가로 및 세로의 길이가 500~3000㎜ 이내로 형성되는 베이스 부재와, 베이스 부재의 외면에 용사 코팅되어 형성되는 절연층과, 절연층의 상부에 용사 코팅되어 형성되는 전극층과, 전극층과 연결되어 전극층에 전압을 인가하는 커넥터와, 절연층의 상부에 전극층을 감싸도록 용사 코팅되어 형성되는 유전층으로 이루어지는 디스플레이 기판용 대면적 정전척의 재가공방법에 있어서, 상기 대면적 정전척에 전압을 인가하여 대면적 전정척에서 발생되는 절연 저항값 및 누설 전류 값으로 완전재생을 요하는 대면적 정전척을 구분하여 선택하는 제1단계와, 상기 대면적 정전척을 지그에 고정하고, 대면적 정전척의 베이스 부재에 용사 코팅되어 형성된 절연층, 전극층 및 유전층을 제거 하는 제2단계와, 상기 전극층과 연결 구비되어 있던 커넥터를 교체하는 제3단계와, 상기 베이스 부재의 상부면 및 외주면에 0.1~1㎜의 두께로 세라믹재의 용사 코팅용 분발을 용사 코팅하여 절연층을 형성하는 제4단계와, 상기 절연층의 상부면에 설정된 패턴으로 0.03~0.1㎜의 두께로 금속재의 용사 코팅용 분말을 용사 코팅하여 도전성 재질의 전극층을 형성하는 제5단계와, 상기 절연층의 상부면에 전극층을 감싸도록 형성하고, 전극층으로부터 0.1~1㎜의 두께로 세라믹재의 용사 코팅용 분말을 용사 코팅하며, 상부면의 평탄도를 5~30㎛ 이내로 가공하여 유전층을 형성하는 제6단계와, 상기 유전층의 외측에서 내측으로 이격되어진 상부면을 설정된 패턴으로 음각 가공하여 유전층의 상부측 테두리에는 일정한 너비를 갖는 돌출부를 형성하면서 유전층의 내 측 상부면에는 다수의 돌기부를 형성하는 제7단계로 이루어진다.
또한, 본 발명은 다른 일 실시예로 가로 및 세로의 길이가 500~3000㎜ 이내로 형성되는 베이스 부재와, 베이스 부재의 외면에 용사 코팅되어 형성되는 절연층과, 절연층의 상부에 용사 코팅되어 형성되는 전극층과, 전극층과 연결되어 전극층에 전압을 인가하는 커넥터와, 절연층의 상부에 전극층을 감싸도록 용사 코팅되어 형성되는 유전층으로 이루어지는 디스플레이 기판용 대면적 정전척의 재가공방법에 있어서, 상기 대면적 정전척에 전압을 인가하여 대면적 전정척에서 발생되는 절연 저항값 및 누설 전류 값으로 부분재생을 요하는 대면적 정전척을 구분하여 선택하는 제1단계와, 상기 대면적 정전척을 지그에 고정하고, 대면적 정전척의 베이스 부재에 용사 코팅되어 형성된 유전층을 제거하는 제2단계와, 상기 절연층의 상부면에 전극층을 감싸도� �� 형성하고, 전극층으로부터 0.1~1㎜의 두께로 세라믹재의 용사 코팅용 분말을 용사 코팅하며, 상부면의 평탄도를 5~30㎛ 이내로 가공하여 유전층을 형성하는 제3단계와, 상기 유전층의 외측에서 내측으로 이격되어진 상부면을 설정된 패턴으로 음각 가공하여 유전층의 상부측 테두리에는 일정한 너비를 갖는 돌출부를 형성하면서 유전층의 내측 상부면에는 다수의 돌기부를 형성하는 제4단계로 이루어진다.Abstract translation: 本发明涉及一种用于显示板的大尺寸静电卡盘的再处理方法，更具体地，涉及一种用于显示板的大尺寸静电卡盘的再处理方法，其用于恢复异常静电卡盘并重新处理并重新使用恢复的异常 静电吸盘。 用于显示板的大尺寸静电卡盘的再处理方法包括：选择待再加工的大尺寸静电卡盘的第一步骤; 去除形成在大尺寸静电卡盘的基底构件上的绝缘层，电极层和电介质层的第二步骤; 更换连接到电极层的连接器的第三步骤; 在所述基底构件的上表面和外表面上形成绝缘层的第四步骤; 在绝缘层的顶表面上形成电极层的第五步骤; 在绝缘层的顶表面上形成电介质层以包围电极层的第六步骤; 以及在电介质层的顶部边缘上形成突出部分，在电介质层的内表面上形成多个突出部分的第七步骤。
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