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公开(公告)号：KR101466127B1
公开(公告)日：2014-11-28
申请号：KR1020120141027
申请日：2012-12-06
Applicant: (주)화백엔지니어링
IPC: H01L21/66 , H01L21/3065 , H05H1/46
Abstract: 본 발명에 따른 플라즈마 모니터링 장치는, 반도체 웨이퍼에 대한 플라즈마 공정을 수행하는 공정챔버에 설치되어 플라즈마를 모니터링하기 위한 장치로서, 공정챔버에 설치되어 플라즈마에서 발생되는 광을 감지하기 위한 광감지센서부와, 상기 광감지센서부로부터의 신호를 전달받아 연산처리하기 위한 신호처리부와, 플라즈마 공정의 단계별 기준데이터를 저장하기 위한 데이터저장부와, 상기 신호처리부에서 처리된 결과를 디스플레이하기 위한 디스플레이부를 포함하며, 상기 신호처리부는 미리 지정된 시간주기마다 측정된 신호의 평균값과 변화율(기울기)를 계산하여 플라즈마 공정의 단계를 판단하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의해, 플라즈마 에칭 공정 수행 중에 수행되는 공정의 종류를 정확히 판별하여 각 공정 별 이상 여부 및 아크의 발생을 모니터링할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020120119632A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：KR1020110037722
申请日：2011-04-22
Applicant: (주)화백엔지니어링
IPC: C25D21/14 , H01L21/288 , G01N21/84 , C25D21/00
Abstract: PURPOSE: A device for controlling a plating solution with a RGB sensing unit and a hydrogen ion sensor is provided to reduce the cost for manufacturing a semiconductor by detecting error generated in a process in advance. CONSTITUTION: A device for controlling a plating solution comprises a RGB sensing unit(10), a hydrogen ion sensor(20), and a control unit(30). The RGB sensing unit is installed in a plating process, and detects the color information of the plating solution. The RGB sensing unit comprises a housing, a glass tube, a color sensor, and a light emitting unit. The color sensor senses the color information of the plating solution. The plating solution flows through the glass tube. The hydrogen ion sensor detects the hydrogen ion exponent of the plating solution. The control unit receives a signal from the hydrogen ion sensor and RGB sensing unit.
Abstract translation: 目的：提供一种用于控制具有RGB感测单元和氢离子传感器的电镀溶液的装置，以通过预先检测在工艺中产生的误差来降低制造半导体的成本。 构成：用于控制电镀溶液的装置包括RGB感测单元（10），氢离子传感器（20）和控制单元（30）。 RGB感测单元安装在电镀工艺中，并检测镀液的颜色信息。 RGB感测单元包括壳体，玻璃管，颜色传感器和发光单元。 颜色传感器感测电镀液的颜色信息。 电镀液流过玻璃管。 氢离子传感器检测镀液的氢离子指数。 控制单元接收来自氢离子传感器和RGB感测单元的信号。
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公开(公告)号：KR101050777B1
公开(公告)日：2011-07-21
申请号：KR1020080081519
申请日：2008-08-20
Applicant: (주)화백엔지니어링
Inventor： 이강
Abstract: 본 발명은 원하는 부위로 빛이 통과하도록 슬릿이 형성된 원통형 금속마스크, 상기 금속 마스크와 결합하며 발광램프가 부착된 덮개 및 빛이 새어나가는 것을 차단하는 셔터를 포함하는 노광 수단 및 용액공급 수단 및 용액배출 수단을 이용하여 마찰곡면상에 미세한 형상의 오일포켓을 형성하는 장치 및 그 방법에 관한 것이다
마찰곡면, 오일포켓, 에칭, 노광수단, 용액공급수단, 용액배출수단Abstract translation: 本发明是一种曝光装置和溶液供给装置和液体排出，其包括快门，以阻挡狭缝与形成圆筒状的金属掩模相结合，所述金属掩模，并从泄漏发光灯通过一盖子封闭，并且光的光传递到所需的部分 用于在摩擦曲面上形成精细形状的油袋的设备和方法
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公开(公告)号：KR101017122B1
公开(公告)日：2011-02-25
申请号：KR1020080085881
申请日：2008-09-01
Applicant: (주)화백엔지니어링
Inventor： 이강
Abstract: 본 발명은 곡면용 필름부착 장치 및 이를 이용한 필름부착 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 본 발명의 필름부착 장치는 필름공급 장치, 필름이송 장치, 필름권취 장치 및 필름절단 장치를 포함하며, 원통형 내주면에 얇은 두께의 필름을 자동으로 구김이나 기포 없이 손쉽게 부착하고 권취되는 필름의 길이 조절을 통하여 원통형 내주면의 직경변화에도 대응할 수 있는 효과가 있다.
필름부착 장치, 필름권취 장치, 원통형 내주면, 압착 롤러, 가압 롤러, 이송 롤러-
公开(公告)号：KR100921919B1
公开(公告)日：2009-10-16
申请号：KR1020070117201
申请日：2007-11-16
Applicant: (주)화백엔지니어링
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L24/11 , H01L24/13 , H01L2224/0361 , H01L2224/03912 , H01L2224/0401 , H01L2224/05568 , H01L2224/05647 , H01L2224/1147 , H01L2224/11825 , H01L2224/11831 , H01L2224/119 , H01L2224/13099 , H01L2224/13147 , H01L2224/13562 , H01L2224/1357 , H01L2224/13611 , H01L2224/16 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/30105 , H01L2924/00014
Abstract: 본 발명에 따른 구리기둥-주석범프는 반도체 칩 상에 형성되는 구리기둥-주석범프로서, 상기 구리기둥-주석범프는 칩 상에 형성되는 구리층과, 본 구리층의 상부와 측부를 전체적으로 감싸는 주석층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 구리기둥-주석범프의 형성방법은, 반도체 칩 상에 구리기둥-주석범프를 형성하는 방법으로서, 상기 칩 상에 제 1 구리층을 형성하는 단계와, 상기 제 1 구리층 상에 포토레지스트를 도포하는 단계와, 본 포토레지스트 내에서 구리기둥이 형성될 부분을 노광하고 현상하는 단계와, 본 현상된 포토레지스트 부분에 구리기둥을 형성하는 단계와, 본 구리기둥 상부에 주석층을 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트를 제거하는 단계와, 상기 구리기둥의 외부, 및 본 구리기둥이 위치하는 영역 이외의 영역으로부터 상기 제 1 구리층을 제거하는 단계와, 상기 구리기둥의 외부에 주석층을 형성하는 단계를 포함한다.
이에 의해, 포토레지스트의 노광을 통해 제작되는 미세 패턴에 의해 구리기둥-주석범프의 피치를 감소시키고, 또한 단 한번의 포토레지스트 패터닝 공정만을 이용하는 단순한 공정으로써, 고밀도 패키징을 가능하게 할 수 있다.
그리고, 낮은 전기저항성으로 인해 기생저항성분을 감소시킴으로써, 기생저항에 의한 신호지연을 감소시킬 수 있으며, 기계적인 스트레스 흡수층을 구성하기 위한 언더필(Underfill)이 보다 용이하게 스며들 수 있도록 구성할 수 있다.
구리, 기둥, 주석, 범프Abstract translation: 半导体芯片上的铜柱锡凸块包括由芯片构成的铜层和完全包裹所述铜层整个外表面的锡层。 在半导体芯片上形成铜柱锡凸块的方法包括：在所述芯片上形成第一铜层; 对所述第一铜层施加光致抗蚀剂，曝光和显影所述光致抗蚀剂的一部分，构成光致抗蚀剂显影部分处的铜柱层，构成上锡层，去除所述光致抗蚀剂，除去所述第一铜层，除了铜的放置位置 柱层，组成侧锡层。 微型图案使得可以通过减小铜柱锡凸块的间距来形成高密度封装。 信号延迟可以通过低电阻降低，底部填充可以容易地浸泡。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100749152B1
公开(公告)日：2007-08-14
申请号：KR1020060041550
申请日：2006-05-09
Applicant: (주)화백엔지니어링
Abstract: A film rewinding device is provided to keep the linear velocity of a film constant although a diameter of a supply film roll is reduced, by sensing the rotational speed of a supply roller with a sensor during rewinding the protective film. A film rewinding device(100) is composed of: a supply roller(110) having a protective film and a coating film and feeding the supplied film wound in a roll state; an idle roller(120) separating the film fed from the supply roller, into the protective film and the coating film; a droop sensing roller(180) sensing drooping of the protective film separated from the idle roller; a sensing unit positioned at the side of the idle roller to detect RPM(Revolution Per Minute) of the idle roller; a rewinding roller(140) positioned at the upper side of the supply roller and vertically moved to rewind the protective film according to the RPM of the idle roller with keeping predetermined tension; a driving unit(150) disposed at the side of the rewinding roller to generate power and to apply rotating power to the rewinding roller; and a bracket(160) supporting both ends of the supply roller, the idle roller, and the rewinding roller.
Abstract translation: 通过在退绕保护膜期间利用传感器检测供给辊的旋转速度来提供膜倒卷装置，以通过减小供给膜卷的直径来保持膜的线速度恒定。 一种薄膜卷绕装置（100）包括：供给辊（110），其具有保护膜和涂膜，并且将供给的卷绕成卷状态的薄膜供给; 将从供给辊供给的膜分离为保护膜和涂膜的空转辊（120） 下垂检测辊（180），其感测与惰辊分离的保护膜的下垂; 位于惰辊一侧以检测惰辊转速（每分钟转数）的感测单元; 一个位于供应辊上侧并沿竖直方向移动的重绕辊（140），以保持预定的张力根据惰辊的RPM重绕保护膜; 驱动单元（150），所述驱动单元（150）设置在所述重绕辊侧以产生动力并向所述重绕辊施加旋转动力; 和支撑供应辊，惰辊和重绕辊的两端的托架（160）。
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公开(公告)号：KR100536096B1
公开(公告)日：2005-12-12
申请号：KR1020030028607
申请日：2003-05-06
Applicant: (주)화백엔지니어링
Inventor： 이강
IPC: C25D21/16
Abstract: 본 발명은 ＲＧＢ 컬러 센서를 이용한 도금용액 및 표면 산화용액의 측정 재생 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히, 도금이나 표면 산화처리를 위한 용액을 공급하는 도금용액 저장탱크; 배관라인을 통해 순환되는 도금용액에 RGB의 특정한 빛을 주사하여 빛의 산란을 통해 RGB 광 데이터를 감지하는 제1RGB 컬러 센서; 해당 첨가용액을 선택적으로 공급하는 첨가용액 공급부; 첨가용액을 공급받아 배관라인을 통해 순환되는 도금용액과 혼합시키는 믹싱부; 혼합되어 순환되는 도금용액에 RGB의 특정한 빛을 주사하여 빛의 산란을 통해 RGB 광 데이터를 감지하는 제2RGB 컬러 센서; 및 제1RGB 컬러 센서로부터 감지된 RGB 광 데이터를 입력받아 기설정되어 있는 컬러 패턴 데이터와 비교 분석한 후 그에 상응한 도금용액의 재생을 위한 용액공급 제어신호를 출력하는 한편, 제1 및 제2컬러 센서로부터 측정된 RGB 광 데이터를 각각 입력받아 비교 분석한 후 도금용액의 재생여부를 판단하는 컨트롤 보드로 구성된 것을 특징으로 하며, 이러한 본 발명은 약품 성분을 일정하게 유지 관리할 수 있을 뿐만 아니라, 그로인한 작업성과 경제성 및 환경 친화성을 높이고 고품질 제품의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR100355459B1
公开(公告)日：2002-10-11
申请号：KR1020000029056
申请日：2000-05-29
Applicant: (주)화백엔지니어링
Inventor： 이강
IPC: C23F1/46
Abstract: 본 발명은 금속화합물을 포함한 부식용액의 재생장치 및 방법, 특히, 부식용액의 부식능력 변화를 칼라 센서에 의해 모니터하여 부식능력이 일정 임계치 이하로 떨어진 경우 부식용액을 재산화(reoxidize)할 수 있는 첨가용액을 첨가함으로써 부식용액의 부식능력을 일정하게 유지하고 부식용액을 폐기하지 않고 단위 장치내에서 반영구적으로 재활용함으로써 경제성을 향상시키고 환경오염을 감소시킬 수 있는 금속화합물을 포함하는 부식용액의 재생장치 및 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1020010109543A
公开(公告)日：2001-12-12
申请号：KR1020000029056
申请日：2000-05-29
Applicant: (주)화백엔지니어링
Inventor： 이강
IPC: C23F1/46
CPC classification number: G05D21/02 , C23F1/46 , Y10T137/0329 , Y10T137/2509 , Y10T137/3185 , Y10T137/4673
Abstract: 본 발명은 금속화합물을 포함한 부식용액의 재생장치 및 방법, 특히, 부식용액의 부식능력 변화를 칼라 센서에 의해 모니터하여 부식능력이 일정 임계치 이하로 떨어진 경우 부식용액을 재산화(reoxidize)할 수 있는 첨가용액을 첨가함으로써 부식용액의 부식능력을 일정하게 유지하고 부식용액을 폐기하지 않고 단위 장치내에서 반영구적으로 재활용함으로써 경제성을 향상시키고 환경오염을 감소시킬 수 있는 금속화합물을 포함하는 부식용액의 재생장치 및 방법에 관한 것이다.
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