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公开(公告)号：KR101028406B1
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：KR1020090074463
申请日：2009-08-12
Applicant: (주)화백엔지니어링
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J3/51 , G01J3/02 , G01J3/0264 , G01J3/443 , G01J3/513 , H01J37/32935
Abstract: 본 발명은 반도체 또는 LCD 제조에 이용되는 플라즈마 처리공정을 수행하는 챔버의 내부에 발생되는 아크(Arc)를 검출하기 위한 아크 검출장치에 관한 것으로서, 상기 아크를 측정하는 센서모듈과; 상기 센서모듈에서 측정된 데이터를 처리하기 위한 프로세서모듈;을 포함하며, 상기 센서모듈은 상기 챔버의 내부에 발생된 아크에 대한 데이터를 측정하는 RGB 컬러센서부를 포함하되, 상기 RGB 컬러센서부는 상기 아크에 대해 적색 또는 녹색 또는 청색 중의 하나 이상의 가시적 영역을 감지하는 센서로 마련됨으로써, 상기 아크 검출장치는 발생된 아크의 색상 데이터 및 채도 데이터 및 밝기 데이터를 측정하여 아크를 검출하는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 플라즈마 처리 공정을 수행하는 공정 챔버 내부에 발생하는 아크를 RGB 컬러센서부를 이용하여 측정함으로써, 상기 아크에 대한 색상 데이터를 고속으로 취득할 수 있으며, RGB 컬러센서부에서 측정된 아날로그 데이터를 디지털 데이터로 변환시키는 복수의 AD 컨버터를 이용함으로써, 각 색상 데이터의 변환을 병렬적으로 처리하여 데이터의 변환 및 처리가 빠르고 용이하게 구현될 수 있다.
또한, 변환 및 처리된 아크 데이터를 바탕으로 아크의 전조 현상을 탐지하여 발생될 수 있는 문제를 조기 처리 및 대응할 수 있다.
아크, 플라즈마, 검출, RGB 센서-
公开(公告)号：KR1020100022832A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：KR1020080081521
申请日：2008-08-20
Applicant: (주)화백엔지니어링
Inventor： 이강
CPC classification number: F16J9/22 , F16J9/203 , F16J9/26 , Y10S277/908 , Y10S277/909
Abstract: PURPOSE: A piston compression ring is provided to improve lubricating performance and maintain air-tightness with the inside wall of a cylinder by forming a minute oil pocket on the outer circumference of a pressure ring. CONSTITUTION: A piston compression ring comprises an oil pocket(12). The oil pocket keeps engine oil stay on the outer circumference(11) of a pressure ring. The oil pocket is composed of the minute groove. The oil pocket is made by overlapping successive grooves along the outer circumference. The oil pocket is formed in the outer circumference in the oblique direction. An etching process comprises a wet process in a photolithographic method. The etching process comprises a dry process using O2 plasma in the photolithographic method.
Abstract translation: 目的：提供活塞压缩环，通过在压力环的外圆周上形成一个微小的油袋，提高润滑性能并保持气缸内壁的气密性。 构成：活塞压缩环包括油口（12）。 油口袋将发动机油保持在压力环的外圆周（11）上。 油袋由微小凹槽组成。 油袋通过沿着外圆周重叠连续的凹槽制成。 油袋沿倾斜方向形成在外周。 蚀刻工艺包括光刻法中的湿法。 蚀刻工艺包括在光刻方法中使用O 2等离子体的干法。
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公开(公告)号：KR1020100022819A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：KR1020080081507
申请日：2008-08-20
Applicant: (주)화백엔지니어링
Inventor： 이강
IPC: C23F1/02
Abstract: PURPOSE: A method of forming a micro-structured oil pocket on a friction surface is provided to form an oil pocket on the outer circumference of a curved surface using an adhesive spread film and plural holes on the friction surface. CONSTITUTION: A method of forming a micro-structured oil pocket on a friction surface comprises the following steps: puncturing plural holes on a metal surface to be corresponded with the shape of an oil pocket; preparing an adhesive spread film(300); attaching the adhesive spread film on the surface of the metal with plural pores; and selectively etching the exposed surface of the metal through the plural holes of the adhesive spread film.
Abstract translation: 目的：提供一种在摩擦表面上形成微结构油袋的方法，以使用粘合剂涂膜和摩擦表面上的多个孔在弯曲表面的外周上形成油袋。 构成：在摩擦表面上形成微结构油袋的方法包括以下步骤：在金属表面上刺穿与油袋形状对应的多个孔; 制备粘合剂涂膜（300）; 将粘合剂扩散膜附着在具有多个孔的金属表面上; 并且通过粘合剂涂膜的多个孔选择性地蚀刻金属的暴露表面。
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公开(公告)号：KR1020090001161A
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：KR1020070065342
申请日：2007-06-29
Applicant: (주)화백엔지니어링 , 제이에스씨 다이아몬드 센터
Inventor： 이강 , 달마도프발레리유리예비치 , 블루카트갈리나콘스탄티노바 , 오를로바옐레나알렉산드로브나
Abstract: A tin-nanodiamond composite electroless plating solution and a plated film using the same are provided to completely prevent or considerably reduce the generation of whisker due to tin plating by dispersing nanodiamond in a tin plating electrolyte. A tin-nanodiamond composite electroless plating solution comprises nanodiamond dispersed in a tin electroless plating electrolyte. The nanodiamond is dispersed to a concentration of 0.001 to 99 g/L in the tin electroless plating electrolyte. The nanodiamond is one or more selected from the group consisting of detonation synthesized nanodiamond, natural nanodiamond, general synthesized nanodiamond, and hydrostatic synthesized nanodiamond.
Abstract translation: 提供锡 - 纳米金刚石复合化学镀溶液和使用其的镀膜，以通过在纳米金刚石中分散在镀锡电解质中来完全防止或显着地减少由镀锡引起的晶须的产生。 锡 - 纳米金刚石复合无电镀溶液包含分散在锡化学镀电解液中的纳米金刚石。 在锡化学镀电镀液中，将纳米金刚石分散至0.001〜99g / L的浓度。 纳米金刚石是选自爆炸合成纳米金刚石，天然纳米金刚石，一般合成纳米金刚石和静水压合成纳米金刚石中的一种或多种。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060092477A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：KR1020050013371
申请日：2005-02-18
Applicant: (주)화백엔지니어링
IPC: C02F1/66 , C02F11/14 , C02F1/70 , C02F103/34
CPC classification number: C02F1/66 , C02F1/705 , C02F11/14 , C02F2103/346 , C02F2303/16
Abstract: 본 발명은 에칭 폐액의 재활용 처리 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 물이 채워진 반응조에 에칭 폐액과 NaOH를 투입하는 단계; 상기 반응조를 교반하면서 중화 반응시키는 단계; 및 상기 중화 반응 종료 후의 침전물을 회수하여 탈수 및 건조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 에칭 폐액 처리 방법 및 이에 이용되는 장치에 관한 것으로 본 발명의 방법 및 장치를 이용하면 에칭 폐액을 간단한 중화 반응을 통해 효율적으로 처리하고 재활용할 수 있다.
에칭 폐액, 수산화구리, 염화구리 폐액, 염화철 폐액-
公开(公告)号：KR1020160117844A
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：KR1020150045652
申请日：2015-03-31
Applicant: (주)화백엔지니어링
Abstract: 본발명에따른피시비기판솔더처리장치는오일을저장하기위한오일탱크부재와, 상기오일탱크부재로부터오일을공급받아피시비기판의표면에오일을분사하기위한피시비기판오일처리부재와, 상기피시비기판오일처리부재내외부로피시비기판을투입및 배출하기위한피시비기판이송부재와, 상기오일탱크부재와피시비기판오일처리부재사이로오일을순환시키기위한오일순환부재를포함하며, 상기오일탱크부재는저장되는오일을미리지정된온도로가열하도록구성되며, 상기피시비기판오일처리부재는상기오일탱크부재로부터공급된오일을미리지정된온도로유지하도록구성되며, 상기피시비기판오일처리부재내부에는상기오일탱크부재로부터공급된오일이미리지정된높이로저장되며, 상기피시비기판오일처리부재내부로투입되는피시비기판표면으로오일을분사하기위한노즐이설치되는것을특징으로한다. 본발명에의해, 피시비기판의표면에형성된무연솔더의평탄도가일정하게되도록처리할수 있다. 또한, 요구되는사양에따라깎여지는무연솔더의두께를자유롭게조절할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020150144452A
公开(公告)日：2015-12-28
申请号：KR1020140073135
申请日：2014-06-16
Applicant: (주)화백엔지니어링
IPC: C01G3/02
Abstract: 본발명에따른염화동폐액을이용한산화동분말제조방법은미리지정된유속으로산소를투입하는산소투입단계와, 미리지정된유속으로염화동폐액을투입하는염화동투입단계와, 상기산소투입단계와염화동투입단계에의해투입된산소와염화동을혼합하면서미리지정된온도로가열하는혼합가열단계와, 상기혼합가열단계에의해가열된산소와염화동가열혼합물을미리지정된제 1 온도로냉각시키는냉각단계와, 상기가열혼합물로부터산화동을포집하는단계와, 상기가열혼합물을미리지정된제 2 온도로냉각시키는단계와, 냉각된상기가열혼합물로부터염산을분리하는염산분리단계를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의해, 입도분포가균일한고순도의산화동분말을생산할수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的使用废氯化铜溶液制造氧化铜粉末的方法包括以下步骤：氧气输入步骤，以预设流速输入氧气; 氯化铜输入步骤，以预设流速输入废氯化铜溶液; 通过氧气输入步骤和氯化铜输入步骤输入的氧和氯化铜的混合和加热步骤，同时在预定温度下加热; 冷却步骤，在预先设定的第一温度下，将通过混合加热步骤加热的氧和氯化铜的混合物冷却; 从加热的混合物中收集氧化铜的收集步骤; 在预设的第二温度下冷却加热的混合物的冷却步骤; 以及从冷却的混合物中分离盐酸的盐酸分离步骤。 根据本发明，可以制造具有均匀粒度分布的高纯度氧化铜粉末。
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公开(公告)号：KR101545245B1
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：KR1020130056253
申请日：2013-05-20
Applicant: (주)화백엔지니어링
CPC classification number: Y02P10/236
Abstract: 본발명에따른알지비컬러센서와오알피센서를이용한에칭액재생및 구리회수장치는구리가함유된에칭액을전기분해로재생함과동시에구리를회수하기위한에칭액재생및 구리회수장치로서, 에칭공정이수행되는에칭조와, 상기에칭조에서생성된폐 에칭액을재생시키기위한재생조와, 상기재생조에서석출된구리를회수하기위한회수조와, 상기에칭조와재생조와회수조를제어하기위한제어부를포함하며, 상기재생조는알지비컬러센서와오알피센서(ORP Sensor)를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의해, 에칭조에서에칭이진행됨에따라노화되는폐 에칭액을재생조로이송시키고, 이를전기분해방식으로실시간재생시킴으로써, 폐에칭액이발생되는것을방지할수 있다. 또한, 에칭공정의진행과동시에구리를실시간으로회수시킴으로써, 에칭공정을정지시키거나별도의작업을행하는다운타임이없도록하여에칭공정의가동율을높임과동시에구리의생산성을높일수 있다. 또한, 음극실에수용된음극실액의색상정보를통해음극실액의구리농도를조절함으로써, 최적의구리회수효율을구현할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020140136552A
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：KR1020130056253
申请日：2013-05-20
Applicant: (주)화백엔지니어링
CPC classification number: Y02P10/236 , C23F1/46 , C25C1/12
Abstract: 본 발명에 따른 알지비 컬러센서와 오알피 센서를 이용한 에칭액 재생 및 구리 회수장치는 구리가 함유된 에칭액을 전기분해로 재생함과 동시에 구리를 회수하기 위한 에칭액 재생 및 구리 회수 장치로서, 에칭공정이 수행되는 에칭조와, 상기 에칭조에서 생성된 폐 에칭액을 재생시키기 위한 재생조와, 상기 재생조에서 석출된 구리를 회수하기 위한 회수조와, 상기 에칭조와 재생조와 회수조를 제어하기 위한 제어부를 포함하며, 상기 재생조는 알지비 컬러센서와 오알피 센서(ORP Sensor)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의해, 에칭조에서 에칭이 진행됨에 따라 노화되는 폐 에칭액을 재생조로 이송시키고, 이를 전기분해 방식으로 실시간 재생시킴으로써, 폐 에칭액이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 에칭 공정의 진행과 동시에 구리를 실시간으로 회수시킴으로써, 에칭 공정을 정지시키거나 별도의 작업을 행하는 다운타임이 없도록하여 에칭 공정의 가동율을 높임과 동시에 구리의 생산성을 높일 수 있다.
또한, 음극실에 수용된 음극실액의 색상 정보를 통해 음극실액의 구리농도를 조절함으로써, 최적의 구리회수 효율을 구현할 수 있다.Abstract translation: 根据本发明的使用RGB颜色传感器和ORP传感器再生蚀刻溶液和回收铜的装置通过电解再生包含铜的蚀刻溶液并同时收集铜。 本发明包括进行蚀刻处理的蚀刻槽; 用于再生在蚀刻槽中产生的废蚀刻溶液的再生槽; 用于收集沉积在再生罐中的铜的收集罐; 以及用于控制蚀刻槽，再生槽和收集槽的控制单元。 本发明的特征在于再生槽包括RGB颜色传感器和ORP传感器。 本发明可以通过将用于蚀刻槽中的蚀刻的废蚀刻溶液转移到再生槽来防止产生废蚀刻溶液，并通过电解实时地再生废蚀刻溶液。 此外，本发明可以提高铜的生产率，同时在执行蚀刻工艺的同时，通过在实时的基础上收集铜来提高蚀刻过程的效率而不停机地停止蚀刻工艺或执行另一任务。 此外，本发明可以通过基于溶液的颜色信息控制在阴极室中接收的溶液中包含的铜的浓度来获得铜的最佳效率。
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