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公开(公告)号：KR101496992B1
公开(公告)日：2015-03-02
申请号：KR1020130137036
申请日：2013-11-12
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명에서는 컬러필터 기판과의 합착 공정 전에 어레이 기판을 비접촉 방식으로 검사할 수 있는 어레이 기판 검사장치 및 검사방법이 개시된다.
본 발명에 따르면, 복수의 픽셀영역을 포함하는 어레이 기판을 검사하기 위한 것으로, 상기 어레이 기판의 상부에 상기 각각의 픽셀영역과 대응하도록 배치되고, 상기 어레이 기판과의 전압차로 인해 발생된 전기장을 통해 유도된 전하를 저장하는 복수의 금속전극들로 이루어진 금속전극 어레이와, 상기 어레이 기판과 금속전극 어레이에 전압을 인가하는 전압공급부와, 상기 각각의 금속전극에 저장된 전하량을 전압으로 변환하여 출력하는 컨버터와, 상기 컨버터에서 출력된 전압값을 입력 받아 디지털 신호로 변환하여 출력하는 AD변환기와, 상기 AD변환기에서 출력된 디지털 신호를 기초로 검사 이미지를 만드는 이미지 생성수단을 포함한다.Abstract translation: 在本发明中，公开了一种用于检查阵列基板的装置和方法，该阵列基板在与滤色器基板的接合处理之前可以通过非接触方式检查阵列基板。 根据本发明，用于检查包括多个像素区域的阵列基板的装置包括：金属电极阵列，设置在阵列基板的上部，以对应于每个像素区域，以存储通过 由于与阵列基板的电压差而产生的电场; 电压供应单元，用于向阵列基板和金属电极阵列施加电压; 将存储在每个金属电极中的电荷转换成电压并输出电压的转换器; 用于接收从转换器输出的电压的AD转换器将电压转换成数字信号并输出数字信号; 以及图像生成装置，用于基于从AD转换器输出的数字信号生成检查图像。
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公开(公告)号：KR101436573B1
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：KR1020120126805
申请日：2012-11-09
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 트레이에 기판을 수납한 상태에서, 관측영역(FOV)별로 초점을 조절한 뒤 비전검사가 이루어지도록 하는 기판 검사장치에 관한 것으로, 트레이의 상부에 배치되고, 상기 트레이에 수납된 기판의 영상을 획득하는 촬영유닛과, 상기 트레이의 상부에 배치되고, 상기 트레이에 수납된 기판과의 거리를 측정하는 측정부와, 상기 측정부를 통해 측정된 상기 기판의 거리 정보를 기초로, 상기 촬영유닛의 초점을 조절하는 초점 조절부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101434637B1
公开(公告)日：2014-08-26
申请号：KR1020120078932
申请日：2012-07-19
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 검사가 진행되는 과정에서 중첩되는 이미지 프레임에 각기 다른 조명을 조사하여 검출력을 높여줌에 따라 검사성이 확보된 자동광학 검사장치가 개시된다. 본 발명에 따르면, 검사대상물이 탑재되는 스테이지와, 상기 스테이지에 탑재된 검사대상물을 촬영하는 촬영유닛과, 상기 검사대상물로 광을 조사하는 조명유닛과, 상기 촬영유닛과 상기 검사대상물의 상대위치가 변경되도록 상기 스테이지 또는 촬영유닛을 직선이동시키는 이동유닛을 포함하되, 상기 이동유닛의 이동속도는 상기 촬영유닛에서 획득한 N번째 영상과 N+1번째 영상의 일부가 상호 중첩될 수 있도록 설정된다.
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公开(公告)号：KR101415187B1
公开(公告)日：2014-07-07
申请号：KR1020120129025
申请日：2012-11-14
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 튜너블 유체렌즈를 이용하여 피검사물과의 최적의 초점거리를 파악하고 정밀한 초점 조절이 이루어짐에 따라 검사장치가 피검사물의 결함을 보다 명확하게 인식할 수 있도록 하는 오토 포커싱 장치에 관한 것으로, 검사용 카메라의 자동초점조절을 위해 검사장치에 장착되며, 피검사물에 조명을 출력하는 광원과, 상기 조명에 의해 반사된 피검사물의 이미지를 획득하는 제1 카메라와, 상기 제1 카메라와 피검사물 사이에 배치되는 튜너블 유체렌즈와, 상기 튜너블 유체렌즈에 가해지는 전류값을 조절하여, 튜너블 유체렌즈의 초점거리를 가변하는 제어부와, 상기 튜너블 유체렌즈의 가변 초점거리에 따른 피검사물의 이미지를 분석하여 최적의 초점거리를 산출하는 분석부와, 상기 분석부의 산출 결과에 대응하여 검사용 카메라와 피검사물 사이 간격을 조절하는 거리조절부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101400757B1
公开(公告)日：2014-05-27
申请号：KR1020120078930
申请日：2012-07-19
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 대형화 추세에 있는 디스플레이 패널의 생산 효율을 높이기 위하여 보다 신속한 검사속도를 제공하고, 디스플레이의 전 화면을 균일하면서도 세밀하게 검사할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 면 형태의 이미지를 출력하는 디스플레이 패널 전체 또는 일부를 커버하도록 상기 디스플레이 패널의 상부에 배치되어, 상기 디스플레이 패널에서 출력되는 면 형태의 이미지를 입사하는 렌즈와, 상기 렌즈의 상부에 배치되어 상기 렌즈에서 출력된 면 형태의 이미지를 라인 형태의 이미지로 통과시키는 슬릿과, 상기 슬릿에서 출력된 라인형태 이미지의 스펙트럼을 생성하는 분광기와, 상기 분광기를 통해 생성된 면 형태의 스펙트럼 영상을 획득하는 카메라가 동축상에 배치된 검사유닛을 포함하여, 상기 카메라에서 획득한 스펙트럼 영상으로 파장별 강도를 파악하여 상기 디스플레이 패널의 불량여부를 검출한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020140023791A
公开(公告)日：2014-02-27
申请号：KR1020120090266
申请日：2012-08-17
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/88
Abstract: The present invention relates to an apparatus for inspecting a substrate which is capable of conducting a full inspection of a substrate by adjusting only the angle of a mirror while a camera is fixed. The apparatus for inspecting a substrate includes: a stage where a substrate is mounted; an inspection camera which is arranged on top of the substrate and inspects the substrate by area; a mirror which is arranged in between the stage and the inspection camera to convert the pathway of light emitted from the substrate and deliver the light to the inspection camera; and a control unit which adjusts the inclination of the mirror and changes the imaging area of the substrate which is input to the inspection camera.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于检查基板的装置，该基板能够通过仅调整相机固定时的反射镜的角度来对基板进行全面的检查。 用于检查基板的装置包括：安装基板的台阶; 检查照相机，其设置在基板的顶部，并按面积检查基板; 布置在台架和检查照相机之间的反射镜，以转换从基板发射的光的路径并将光传送到检查照相机; 以及控制单元，其调整反射镜的倾斜度并改变输入到检查照相机的基板的成像区域。
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公开(公告)号：KR1020140013170A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020120078933
申请日：2012-07-19
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: The present invention relates to an inspection device for a display panel to enable precise inspection for defects of a high pixel display panel using the reflectivity difference of visible light and more specifically, to an inspection device for a display panel including a lighting part to emit visible light to the surface of a display panel; an image obtaining part for photographing the visible light which is emitted by the lighting part and reflected on the display panel; and a control part which detects defective areas on the display panel by measuring the temperature profile of the display panel using an image photographed by the image obtaining part based on the fact that the reflectance of visible light changes when the temperature of the display panel changes.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于显示面板的检查装置，其能够使用可见光的反射率差来精确地检查高像素显示面板的缺陷，更具体地，涉及一种用于显示面板的检查装置，该显示面板包括照明部分以发出可见光 光到显示面板的表面; 图像获取部分，用于拍摄由照明部分发射并在显示面板上反射的可见光; 以及控制部，其基于当显示面板的温度变化时可见光的反射率发生变化的事实，通过使用由图像获取部拍摄的图像来测量显示面板的温度分布来检测显示面板上的缺陷区域。
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公开(公告)号：KR1020130029682A
公开(公告)日：2013-03-25
申请号：KR1020110093102
申请日：2011-09-15
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/956 , G01B11/30 , G02F1/13
CPC classification number: G06T7/0004 , G01N21/95 , G01N2021/9513 , G02F1/1309 , G06T2207/30121 , H04N7/18
Abstract: PURPOSE: A flat panel inspection method is provided to accurately determine the fault of target measuring objects by using an image having the best visibility among multiple images. CONSTITUTION: A flat panel inspection method is as follows; a step for arranging a camera at a position where a flat panel(10) is measured by horizontally moving at least one of the flat panel and a camera(20); a step for automatically bringing the camera into a focus on a target measuring object of the flat panel; a step for obtaining multiple images of the target measuring object while the camera vertically moves in a set range in a state of bringing the camera into a focus; and a step for determining the fault of the target measuring object by processing an image which has the best visibility among the obtained images. [Reference numerals] (40) Control unit
Abstract translation: 目的：提供一种平板检查方法，通过使用多个图像中具有最佳可见度的图像来准确地确定目标测量对象的故障。 规定：平板检查方法如下： 通过水平移动平板和相机（20）中的至少一个来测量在平板（10）的位置处布置相机的步骤; 自动将相机对准平板的目标测量对象的步骤; 在使相机进行聚焦的状态下，在照相机在设定范围内垂直移动的同时获得目标测量对象的多个图像的步骤; 以及通过处理所获得的图像中具有最佳可见度的图像来确定目标测量对象的故障的步骤。 （附图标记）（40）控制单元
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公开(公告)号：KR100862637B1
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：KR1020060048886
申请日：2006-05-30
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/88 , G01N21/898
Abstract: 본 발명은 단차가 형성된 검사 대상물의 정반사면에서의 영상 정확도가 떨어지는 문제점을 해결하기 위하여 정반사면의 정반사도를 낮춘 영상과 주변의 격자면이 잘보이는 영상을 각각 획득하여 이를 이용함으로써, 검사 영상의 정확도를 향상시킬 수 있는 광학식 검사 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 광학식 검사 방법은 입체 형상이 형성된 검사 대상에 격자무늬를 투영시키고 그 측정물 형상에 따라 변형된 광을 기준 패턴과 비교하여 검사 대상의 결함 유무를 검사하는 광학식 검사 방법에 있어서, 상기 검사 대상의 입체면의 정반사도가 낮아지도록 조명 값을 조절하여 제 1 영상을 획득하는 단계와(S100), 상기 검사 대상의 입체면 주변 영역에 격자무늬가 뚜렷하게 나타나도록 조명 값을 조절하여 제 2 영상을 획득하는 단계와(S200), 상기 제 1 영상과 제 2 영상을 합성하는 단계(S300), 및 상기 합성 영상 분석을 통해 검사 대상의 불량 유무를 판단하는 단계(S400)를 포함한다.
패키지, 볼, 라운딩면, 바닥면, 정반사, 합성-
公开(公告)号：KR100862636B1
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：KR1020060048881
申请日：2006-05-30
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/88 , G01N21/898
Abstract: 본 발명은 반사에 의해 조명 포화가 발생하는 검사면에 대하여 격자 영상이 잘 나타나는 영상을 획득하여 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있도록 하는 광학식 검사 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 광학식 검사 방법은, 검사 대상의 외관 영상을 촬영하고 촬영 영상을 분석하여 검사 대상의 결함 유무를 판단하는 검사 방법에 있어서, 다수의 백색광에 서로 다른 밴드 패스 필터를 각각 장착하고 각 백색광의 밝기 조절을 통해 검사 대상의 포화 영역을 줄여 격자 영상이 잘 나타나는 파장대가 되도록 검사면에 조명광을 조사하고(S10), 상기 검사면 표면을 촬영하여 컬러 영상을 획득하고(S20), 상기 획득된 컬러 영상을 다수의 파장으로 각각 분류하여 각각의 위상을 계산하고(S30), 상기 계산된 각각의 위상을 합쳐서 단일 위상으로 계산하고 계산된 단일 위상을 분석하여 결함 유무를 판단(S40)한다.
또, 이를 위한 본 발명의 광학식 검사 방법은, 검사 대상의 외관 영상을 촬영하고 촬영 영상을 분석하여 검사 대상의 결함 유무를 판단하는 검사 방법에 있어서, 검사면에 백색광을 조사하고(S100), 컬러 카메라의 다수의 파장대의 이득을 조절을 통해 상기 검사면의 포화 영역을 줄여 상기 검사면의 표면을 촬영하여 컬러 영상을 획득하고(S200), 상기 획득된 컬러 영상을 다수의 파장대로 각각 분류하여 각각의 위상을 계산하고(S300), 상기 계산된 각각의 위상을 합쳐서 단일 위상으로 계산하고 계산된 단일 위상을 분석하여 결함 유무를 판단(S400)한다.
특정 파장대, 파장대, 정반사면, 조명 포화, 위상
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