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公开(公告)号：CN106662806B
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN201580046947.9
申请日：2015-09-17
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：第1框体，该第1框体配置有防护膜；第2框体，该第2框体具有厚部和第2面，并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围，所述厚部包含第1面，所述第1面承接与上述第1框体的配置有上述防护膜的面相反侧的面，所述第2面与上述第1面连接并承接上述第1框体的侧面；贯通孔，该贯通孔配置在上述第2框体的上述厚部；以及过滤器，该过滤器配置在与配置有上述防护膜的上述第1框体的面交叉的上述第2框体的外侧的侧面，并覆盖上述贯通孔。
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公开(公告)号：CN107533283B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201680023233.0
申请日：2016-04-11
Abstract: 本发明的课题是抑制在裁剪时产生的异物粒子附着于防护膜组件。本发明涉及的防护膜组件的制造方法是制造包含防护膜和支撑该防护膜周围的防护膜组件框的防护膜组件的方法，所述方法包含如下操作：在基板上形成防护膜(101)，将具有伸缩性且在受到来自外部的刺激时粘着力会降低的粘着片(106，107)粘贴于基板的两面侧，在粘贴有粘着片的部分的基板的内部形成切口，维持粘贴有粘着片的状态，将基板的形成了上述切口的部分的外侧的基板外周部(111)分离从而形成防护膜组件框，对粘着片给予刺激而剥离粘着片。
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公开(公告)号：CN107533283A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680023233.0
申请日：2016-04-11
CPC classification number: G03F1/24 , C09J7/38 , G03F1/54 , G03F1/60 , G03F1/62 , G03F1/64 , G03F1/76 , G03F1/80 , G03F1/82
Abstract: 本发明的课题是抑制在裁剪时产生的异物粒子附着于防护膜组件。本发明涉及的防护膜组件的制造方法是制造包含防护膜和支撑该防护膜周围的防护膜组件框的防护膜组件的方法，所述方法包含如下操作：在基板上形成防护膜(101)，将具有伸缩性且在受到来自外部的刺激时粘着力会降低的粘着片(106，107)粘贴于基板的两面侧，在粘贴有粘着片的部分的基板的内部形成切口，维持粘贴有粘着片的状态，将基板的形成了上述切口的部分的外侧的基板外周部(111)分离从而形成防护膜组件框，对粘着片给予刺激而剥离粘着片。
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公开(公告)号：CN106233201A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201580018782.4
申请日：2015-04-27
Applicant: 三井化学株式会社
CPC classification number: G03F1/64 , G03F1/22 , G03F1/62 , G03F7/2004 , H01L21/67359
Abstract: 本发明提供防护膜组件框，其具备框主体，所述框主体具有：设置在一端面的槽，所述一端面是厚度方向的一端面并且是支撑防护膜侧的一端面；以及贯通外周面与设置在上述一端面的槽的壁面之间的贯通孔。
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公开(公告)号：CN101501560A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780029170.0
申请日：2007-08-02
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G02F1/1339 , C08G59/50
CPC classification number: G02F1/1339 , C08G59/4014 , C08G59/50 , G02F2202/28
Abstract: 本发明涉及一种能够应用于液晶显示面板的液晶密封剂。本发明的液晶密封剂包含：(1)环氧树脂；胺系热潜在性固化剂即(2)熔点为150℃以下的从二酰肼系、咪唑改性系、胺加合物系和聚氨基脲系热潜在性固化剂组成的组中选出的1种以上的热潜在性固化剂；和(3)熔点为180℃以上的从二酰肼系、咪唑改性系和肼系热潜在性固化剂组成的组中选出的1种以上的热潜在性固化剂。该液晶密封剂的固化速度快，并且耐湿性高。另外，由于在包括室温的低温区域的反应性低，因此能够保持粘度稳定性高，因而可使用时间长。所以，如果使用这样的液晶密封剂制造液晶显示面板，则可以在保持生产性高的同时制造高品质的液晶显示面板。
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公开(公告)号：CN1914253A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200580003592.1
申请日：2005-01-20
Applicant: 三井化学株式会社
CPC classification number: C08G65/02 , A61K8/8111 , A61K8/89 , A61Q19/00 , C08F8/00 , C08F8/08 , C08F8/14 , C08F8/18 , C08F8/32 , C08F8/42 , C08F2810/40 , C08G65/34 , C08G69/40 , C08G73/028 , C08G75/02 , C08G77/442 , C08L71/02 , C08L77/00 , C08L79/02 , C08L81/02 , C08L2666/02 , C08F110/02 , C08F210/16
Abstract: 本发明涉及侧链具有聚烯烃链段的聚合物及其用途。本发明的聚合物具有下述式(1)的结构单元。(A为重均分子量400～50万的烯烃聚合物，R为H、烷基或芳烷基，W和Z为O、NH或S，x和y为0或1，至少一方为1)。优选以W＝O、x＝1、y＝0的单元为重复单元的聚合物，还含有聚硅氧烷嵌段。本发明的聚合物可以用于抗静电剂、化妆原料添加剂、调色剂用脱模剂、颜料分散剂、氯乙烯树脂用润滑剂、涂料、粘接剂等。
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公开(公告)号：CN119816782A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202380061968.2
申请日：2023-08-22
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本公开中，异物去除装置具备：产生真空紫外光的真空紫外光产生部；用于对防护膜照射所述真空紫外光的照射容器；以及向所述照射容器供给非活性气体的气体供给部。所述照射容器具有：照射室，其设置有用于供给所述非活性气体的气体供给口和用于排出所述非活性气体的气体排出口；透过部，其位于所述照射室的边界处，使所述真空紫外光透过；和载台，其配置于所述照射室内且用于载置所述防护膜。所述气体供给部与所述气体供给口连接。
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公开(公告)号：CN112088334A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201980017088.9
申请日：2019-03-01
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供抑制了从粘接层产生释气的防护膜组件。防护膜组件(100)具有：防护膜(101)；支撑上述防护膜的支撑框(103)；设置于上述支撑框的突起部(105)；设置于上述突起部的第1粘接层(107)；以及无机物层，上述无机物层与上述第1粘接层相比设置在上述防护膜所处的一侧。上述无机物层可以包含第1无机物层(109)，上述第1无机物层(109)设置于上述第1粘接层中作为与上述防护膜交叉的方向的侧面的、上述防护膜所处一侧的第1侧面(121)。
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公开(公告)号：CN109416505A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780042244.8
申请日：2017-06-30
Abstract: 本发明提供：一种能够有效地抑制因贴附防护膜组件(1)而引起的曝光原版(8)的变形、且不具有复杂形状的防护膜框架(2)；使用该防护膜框架的防护膜组件；以及，能够降低在聚光灯下表面晃眼的缺陷、且为了容易地进行使用前的异物附着检查等而黑色化的防护膜框架的制造方法。一种防护膜框架，其特征在于：在铝合金制框架的表面具有阳极氧化膜，该铝合金制框架由铝合金构成，该铝合金含有5.0～10.0质量％的Ca且剩余部分为铝和不可避免的杂质，该铝合金中作为分散相的Al4Ca相的面积(体积)率为25％以上，该Al4Ca相的一部分的晶体结构是单斜晶，并且，分散于阳极氧化膜的Al4Ca相被阳极氧化，阳极氧化膜被黑色染料染色。
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