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公开(公告)号:CN105884685B
公开(公告)日:2020-03-31
申请号:CN201511020947.X
申请日:2015-12-30
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C07D215/14 , C07C39/12 , C07D311/58 , C07C39/14 , G03F7/16
Abstract: 本发明公开一种单体、包含所述单体的有机层组合物、由所述有机层组合物制成的有机层以及使用所述有机层组合物形成图案的方法。本发明的单体由化学式1表示,化学式1与具体实施方式中所定义的相同。该单体具有改善的耐蚀刻性和溶解性特征,因此适用于旋涂法。
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公开(公告)号:CN106905511A
公开(公告)日:2017-06-30
申请号:CN201610899613.2
申请日:2016-10-14
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C08G61/122 , C08G8/08 , C08G8/20 , C08G14/04 , C08G16/0268 , C08G16/0275 , C08G2261/12 , C08G2261/148 , C08G2261/3424 , C08G2261/344 , G03F7/0752 , G03F7/091 , G03F7/094 , C08G2/18 , C08G8/24 , C08G12/26 , C08G2261/124 , C08G2261/1422 , C08G2261/3242 , C08G2261/334 , G03F7/0035
Abstract: 本发明提供一种聚合物、有机层组成物以及形成图案的方法,其包含由化学式1表示的结构单元的聚合物,和包含所述聚合物的有机层组成物,以及形成图案的方法。化学式1与具体实施方式中所定义的相同。本发明提供的聚合物具有改进的溶解度,同时确保抗蚀刻性;有机层组成物具有机械特征和涂膜特性。
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公开(公告)号:CN106883380A
公开(公告)日:2017-06-23
申请号:CN201611079474.5
申请日:2016-11-30
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C08G61/02 , C08L65/00 , C09D165/00 , G03F7/00 , G03F7/09
Abstract: 本发明涉及一种聚合物、有机层组合物及形成图案的方法。所述聚合物包含由化学式1表示的结构单元:其中Ar1及Ar2独立地为经取代或未经取代的苯环或包含两个至四个稠合的经取代或未经取代的苯环的芳环,A1及A2独立地为经取代或未经取代的芳环,其限制条件是A1及A2中的至少一者经氢可键结官能基取代,且A1的氢可键结官能基的数量与A2的氢可键结官能基的数量的总和大于或等于3,L为二价有机基,且*为连接点。本发明的聚合物具有令人满意的溶解性特征以及优异的机械特征、耐蚀刻性及耐热性。[化学式1]所述化学式1与具体实施方式中所定义的相同。
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公开(公告)号:CN106883380B
公开(公告)日:2019-11-19
申请号:CN201611079474.5
申请日:2016-11-30
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C08G61/02 , C08L65/00 , C09D165/00 , G03F7/00 , G03F7/09
Abstract: 本发明涉及一种聚合物、有机层组合物及形成图案的方法。所述聚合物包含由化学式1表示的结构单元:其中Ar1及Ar2独立地为经取代或未经取代的苯环或包含两个至四个稠合的经取代或未经取代的苯环的芳环,A1及A2独立地为经取代或未经取代的芳环,其限制条件是A1及A2中的至少一者经氢可键结官能基取代,且A1的氢可键结官能基的数量与A2的氢可键结官能基的数量的总和大于或等于3,L为二价有机基,且*为连接点。本发明的聚合物具有令人满意的溶解性特征以及优异的机械特征、耐蚀刻性及耐热性。[化学式1]所述化学式1与具体实施方式中所定义的相同。
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公开(公告)号:CN109952534A
公开(公告)日:2019-06-28
申请号:CN201780069303.0
申请日:2017-06-14
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: G03F7/004 , H01L21/027 , H01L21/3213 , H01L21/02 , G03F7/09
Abstract: 本发明提供一种有机膜组成物、一种有机膜以及一种形成图案的方法。所述有机膜组成物包含芳香族环化合物、在所述结构中包含全氟烷基的添加剂及溶剂,其中以所述添加剂的总重量100%计,以0至30重量%的量包含所述添加剂中所包含的氟(F)基,且根据条件1所测量的所述添加剂的表面张力减小率为0.1%至30%。条件1的定义与在说明书中所定义的相同。
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公开(公告)号:CN106046695B
公开(公告)日:2019-06-11
申请号:CN201510919236.X
申请日:2015-12-11
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C08K5/18 , C08G2261/12 , C08G2261/124 , C08G2261/135 , C08G2261/1424 , C08G2261/3142 , C08G2261/3162 , C08G2261/3424 , C08G2261/344 , C08G2261/76 , C08K5/06 , C08K5/07 , C08K5/13 , C08L65/00 , G03F7/11 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/20 , G03F7/32 , G03F7/36
Abstract: 本发明涉及有机层组合物,所述有机层组合物包含具有经取代或未经取代的芴结构的聚合物、由下述化学式1表示的添加剂、以及溶剂;通过固化所述有机层组合物形成的有机层;以及使用所述有机层组合物形成图案的方法。所述有机层组合物能够改善间隙填充特征和平坦化特征以及耐蚀刻性。化学式1中各符号的定义与实施方式中所定义相同。
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公开(公告)号:CN106046696B
公开(公告)日:2019-04-09
申请号:CN201510919487.8
申请日:2015-12-11
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 一种有机层组合物包含:包含由化学式1表示的部分的聚合物、由化学式2表示的单体以及溶剂,还提供一种由所述有机层组合物制造的有机层,和一种使用所述有机层组合物形成图案的方法。所述有机层组合物可以提供同时确保耐蚀刻性、耐热性以及平坦化特征的有机层。化学式1和化学式2的定义与具体实施方式中相同。[化学式1][化学式2]
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公开(公告)号:CN106046695A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201510919236.X
申请日:2015-12-11
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C08K5/18 , C08G2261/12 , C08G2261/124 , C08G2261/135 , C08G2261/1424 , C08G2261/3142 , C08G2261/3162 , C08G2261/3424 , C08G2261/344 , C08G2261/76 , C08K5/06 , C08K5/07 , C08K5/13 , C08L65/00 , G03F7/11 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/20 , G03F7/32 , G03F7/36 , C08G61/12 , G03F7/0035
Abstract: 本发明涉及有机层组合物,所述有机层组合物包含具有经取代或未经取代的芴结构的聚合物、由下述化学式1表示的添加剂、以及溶剂;通过固化所述有机层组合物形成的有机层;以及使用所述有机层组合物形成图案的方法。所述有机层组合物能够改善间隙填充特征和平坦化特征以及耐蚀刻性。化学式1中各符号的定义与实施方式中所定义相同。
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